பூச்சுப் பிரிதல் (ஒட்டுதல் செயலிழப்பு) என்பது ஒரு பொதுவான தரப் பிரச்சனையாகும்.வெற்றிடப் படிவு தொழில்நுட்பம்இது தயாரிப்பின் நம்பகத்தன்மை, நீடித்துழைக்கும் தன்மை மற்றும் செயல்பாட்டை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. இந்தக் கட்டுரை, இடைமுக ஒட்டுதல், செயல்முறை அளவுருக்கள், பொருள் பண்புகள் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் காரணிகள் ஆகிய கண்ணோட்டங்களில் இருந்து அடுக்குப்பிரிதலுக்கான மூலக் காரணங்களை முறையாகப் பகுப்பாய்வு செய்வதோடு, அதற்கேற்ற மேம்பாட்டு உத்திகளையும் முன்மொழிகிறது.
1. போதுமான இடைமுகப் பிணைப்பு இல்லாமை
பூச்சுக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான ஒட்டுதல் வலிமையானது, பூச்சுப் பிரிதலைத் தடுப்பதற்கு மிகவும் இன்றியமையாதது. மேற்பரப்பு மாசுகள் (எ.கா., எண்ணெய்கள், ஆக்சைடுகள் அல்லது உறிஞ்சப்பட்ட ஈரப்பதம்) அல்லது போதுமான அளவு இல்லாத மேற்பரப்பு முன்சிகிச்சை (எ.கா., பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்தல், அயனித் தாக்குதல்) ஆகியவை இடைமுக ஆற்றலைக் குறைத்து, பூச்சுப் பகுதியளவு அல்லது முழுமையாகப் பிரிதலுக்கு வழிவகுக்கும். மேலும், அடி மூலக்கூறுக்கும் பூச்சுக்கும் இடையிலான வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தில் (CTE) உள்ள பொருத்தமின்மையானது, வெப்பச் சுழற்சிகளின் போது உள் அழுத்தத்தை உருவாக்கி, ஒட்டுதலை மேலும் பலவீனப்படுத்துகிறது.
2. செயல்முறை அளவுருக்களின் முறையற்ற கட்டுப்பாடு
போதுமான வெற்றிட நிலை இல்லாமை: படிதலின் போது உள்ளிணைக்கப்படும் எஞ்சிய வாயு மூலக்கூறுகள் (எ.கா., O₂, H₂O) நுண்துளை அமைப்புகளையோ அல்லது மாசுக் கட்டங்களையோ உருவாக்கி, பூச்சின் அடர்த்தியைக் குறைக்கின்றன.
அதிகப்படியான படிவு விகிதம்: பூச்சின் விரைவான வளர்ச்சி, குறைபாடுகளை (எ.கா., துளைகள், தூண் போன்ற கட்டமைப்புகள்) ஏற்படுத்தி, அழுத்தக் குவிப்பை அதிகரிக்கிறது.
பொருத்தமற்ற அடித்தள வெப்பநிலை: குறைந்த வெப்பநிலை அணுக்களின் இயக்கத்தைக் கட்டுப்படுத்தி, அடர்த்தியாவதைத் தடுக்கிறது; அதிகப்படியான வெப்பநிலை இடைமுகப் பரவல் அல்லது கட்ட மாற்றங்களைத் தூண்டி, உடையக்கூடிய அடுக்குகளை உருவாக்கக்கூடும்.
இயல்புக்கு மாறான சார்பு மின்னழுத்தம் அல்லது பிளாஸ்மா ஆற்றல்: சமநிலையற்ற அயனித் தாக்குதலானது இடைமுகச் சேதத்தையோ அல்லது அதிகப்படியான அழுத்தத்தையோ ஏற்படுத்தக்கூடும்.
3. மூலப்பொருள் தேர்வு மற்றும் வடிவமைப்பு குறைபாடுகள்
மோசமான பூச்சு அமைப்பு வடிவமைப்பு: இடைநிலை அடுக்குகள் அல்லது பொருத்தமான அடுக்குகள் இல்லாதது, திடீர் இடைமுக அழுத்தத்திற்கு வழிவகுக்கிறது.
பொருந்தாத அடித்தளத்தின் கடினத்தன்மை/சொரசொரப்பு: அதிகப்படியான வழவழப்பான மேற்பரப்புகள் இயந்திரப் பிணைப்பைக் குறைக்கின்றன, அதே சமயம் அதிக சொரசொரப்பு சீரற்ற பூச்சு அல்லது மின்வில் பாய்வை ஏற்படுத்தக்கூடும்.
4. சுற்றுச்சூழல் மற்றும் சிகிச்சைக்குப் பிந்தைய காரணிகள்
படியவைப்பிற்குப் பிறகு வெப்பச் சுழற்சி, இயந்திர அதிர்ச்சி அல்லது இரசாயன அரிப்பு ஆகியவற்றிற்கு உட்படுவது, சோர்வு அழுத்தம் அல்லது அரிப்புப் பரவல் காரணமாக அடுக்குப்பிரிதலைத் தூண்டக்கூடும். முறையற்ற பிந்தைய பதப்படுத்துதலும் (எ.கா., தவறான பதப்படுத்தும் அளவுருக்கள்) கூடுதல் அழுத்தத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும்.
பரிந்துரைக்கப்பட்ட தீர்வுகள்
Ar⁺ ஸ்பட்டர் கிளீனிங் அல்லது ரியாக்டிவ் ப்ரீட்ரீட்மென்ட் போன்ற அடி மூலக்கூறு சுத்திகரிப்பு மற்றும் செயல்படுத்தும் செயல்முறைகளை மேம்படுத்துங்கள்.
நிகழ்விடக் கண்காணிப்பை ஒருங்கிணைத்து, படிவு வீதம், அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை மற்றும் சார்பு ஆற்றல் ஆகியவற்றைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துங்கள்.
உருவகப்படுத்துதல் மூலம் பூச்சுக் கட்டமைப்பை உகந்ததாக்கி, அழுத்தத் தாங்கல் அடுக்குகளை (எ.கா., Cr அல்லது Ti இடைநிலை அடுக்குகள்) இணைக்கவும்.
கீறல் சோதனைகள் மற்றும் இழுத்துப் பிரித்தல் சோதனைகள் போன்ற ஒட்டுதல் மதிப்பீட்டு முறைகள் உட்பட, கடுமையான தர ஆய்வு நெறிமுறைகளை நிறுவுங்கள்.
முடிவாக, பூச்சுப் பிரிதல் என்பது பல காரணிகளின் இடைவினைகளால் ஏற்படுகிறது. பயன்பாட்டில் உள்ள பூசப்பட்ட பாகங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கு, செயல்முறைச் செம்மைப்படுத்தல் மற்றும் மூலப்பொருள் புத்தாக்கம் ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைக்கும் ஒரு முழுமையான அணுகுமுறை அவசியமாகும்.
—இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள் உற்பத்தியாளர் ஜென்ஹுவா வேக்யூம்
பதிவிட்ட நேரம்: நவம்பர் 12, 2025