Ho qhaqha ha sekoahelo (ho hloleha ha ho khomarela) ke bothata bo tloaelehileng ba boleng hotheknoloji ea ho boloka vacuum, e amang ka ho toba ts'epo ea sehlahisoa, ho tšoarella le ts'ebetso. Sengoloa sena se sekaseka ka mokhoa o hlophisehileng lisosa tsa motheo tsa karohano ho tsoa ponong ea ho khomarelana ha lifahleho, liparamente tsa ts'ebetso, thepa ea thepa le lintlha tsa tikoloho, ha ka nako e ts'oanang ho sisinngoa maano a ntlafatso a tsamaellanang.
1. Ho Khomarela ho sa Lekaneng ha Interfacial
Matla a ho khomarela pakeng tsa ho roala le substrate a bohlokoa ho thibela ho arohana ha lintho. Litšila tsa bokaholimo (mohlala, oli, li-oxide, kapa mongobo o monyelitsoeng) kapa phekolo e sa lekaneng ea bokaholimo pele (mohlala, ho hloekisa plasma, ho phatloha ha li-ion) li ka fokotsa matla a ho kopana, e leng se lebisang ho karohano ea sebaka kapa e felletseng ea ho roala. Ho phaella moo, ho se lumellane ha coefficient ea katoloso ea mocheso (CTE) pakeng tsa substrate le ho roala ho baka khatello ea ka hare nakong ea potoloho ea mocheso, e leng se behang ho khomarela kotsing e kholo.
2. Taolo e sa Lokang ea Liparamitha tsa Ts'ebetso
Boemo ba Vacuum bo sa Lekaneng: Limolek'hule tsa khase tse setseng (mohlala, O₂, H₂O) tse kenyellelitsoeng nakong ea ho kenngoa ha meaho e nang le masoba kapa mekhahlelo ea ho se hloeke, e leng se fokotsang bongata ba ho koahela.
Sekhahla se Feteletseng sa ho Hlahisoa: Khōlo e potlakileng ea ho koahela e hlahisa liphoso (mohlala, li-pores, mehaho ea likholomo), e eketsang khatello ea maikutlo.
Mocheso o sa Lokelang wa Substrate: Mocheso o tlase o fokotsa ho tsamaya ha athomo, o sitisa ho tiea ha di-athomo; mocheso o feteletseng o ka baka ho hasana ha di-interfacial kapa diphetoho tsa mekhahlelo, mme wa etsa dikarolo tse robehang habonolo.
Motlakase o sa Tloaelehang oa Khethollo kapa Matla a Plasma: Ho phatloha ha li-ion tse sa leka-lekanang ho ka baka tšenyo ea interfacial kapa khatello e feteletseng ea maikutlo.
3. Khetho ea Thepa le Liphoso tsa Moralo
Moralo o Fosahetseng oa Sistimi ea ho Koahela: Ho ba sieo ha mekhahlelo ea phetoho kapa mekhahlelo e tsamaellanang ho lebisa khatellong e potlakileng ea interfacial.
Ho Tiea/Ho se be le Meharo e sa Tsamaellaneng: Libaka tse boreleli haholo li fokotsa ho hokahana ha mechini, athe ho se be le meharo e phahameng ho ka baka ho se lekane ha ho koahela kapa ho kobeha.
4. Lintlha tsa Tikoloho le tsa Kamora Kalafo
Ho pepesehela mocheso ka mor'a ho omella, ho tšoha ha mechine, kapa ho bola ha lik'hemik'hale ho ka baka ho arohana ha mocheso ka lebaka la khatello ea mokhathala kapa ho hasana ho senyang. Ho se sebetse hantle ka mor'a kalafo (mohlala, liparamente tse fosahetseng tsa annealing) le hona ho ka baka khatello e eketsehileng.
Litharollo tse Khothaletsoang
Ntlafatsa mekhoa ea ho hloekisa substrate le ho e kenya tšebetsong, joalo ka ho hloekisa Ar⁺ sputter kapa kalafo ea pele ho karabelo.
Laola ka nepo sekhahla sa ho beoa ha thepa, mocheso oa substrate, le matla a leeme, ho kenyeletsoa le tlhokomelo ea kahare.
Ntlafatsa meralo ea ho koahela ka ho etsisa, ho kenyelletsa mekhahlelo ea khatello ea maikutlo (mohlala, mekhahlelo ea phetoho ea Cr kapa Ti).
Theha mekhoa e tiileng ea tlhahlobo ea boleng, ho kenyeletsoa le mekhoa ea tlhahlobo ea ho khomarela joalo ka liteko tsa ho ngoapa le liteko tsa ho hula.
Qetellong, karohano ea ho koahela e bakoa ke likamano tsa mefuta e mengata. Mokhoa o akaretsang o kopanyang ntlafatso ea ts'ebetso le boqapi ba thepa ke oa bohlokoa ho ntlafatsa ts'ebetso ea likarolo tse koahetsoeng ts'ebetsong.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe kelisebelisoa tsa ho roala ka vacuum moetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Pulungoana-12-2025