Delaminasyona pêçanê (têkçûna pêvekirinê) pirsgirêkek kalîteyê ya hevpar e liteknolojiya danîna valahiyê, rasterast bandorê li pêbawerî, domdarî û fonksiyonelîteya hilberê dike. Ev gotar bi awayekî sîstematîk sedemên bingehîn ên veqetandinê ji perspektîfên girêdana rûyî, parametreyên pêvajoyê, taybetmendiyên materyalan û faktorên hawîrdorê analîz dike, di heman demê de stratejiyên başkirinê yên têkildar pêşniyar dike.
1. Pêveka Navrûyî ya Têrker
Hêza pêvekirinê ya di navbera pêçandin û binzemînê de ji bo pêşîgirtina li veqetandina madeyan pir girîng e. Gemarên rûberê (mînak, rûn, oksîd, an şilbûna adsorbekirî) an jî pêşdermankirina rûberê ya nebaş (mînak, paqijkirina plazmayê, bombebarana îyonan) dikarin enerjiya navrûyê kêm bikin, ku bibe sedema veqetandina pêçê ya herêmî an tevahî. Wekî din, nelihevhatinek di katsayiya berfirehbûna germî (CTE) de di navbera binzemîn û pêçê de di dema çerxên germî de stresa navxweyî çêdike, ku pêvekirinê bêtir dixe xeterê.
2. Kontrola Nerast a Parametreyên Pêvajoyê
Asta Valahiya Têrê Nake: Molekulên gaza mayî (mînak, O₂, H₂O) yên ku di dema danînê de kom dibin, avahiyên poroz an qonaxên nepakiyê çêdikin, û dendika pêçanê kêm dikin.
Rêjeya Zêde ya Çêkirinê: Mezinbûna bilez a pêçanê kêmasiyan derdixe holê (mînak, kun, avahiyên stûnî), û kombûna stresê zêde dike.
Germahiya Bingehê Ne Guncaw: Germahiya nizm tevgera atomî sînordar dike, rê li ber tîrbûnê digire; germahiya zêde dikare belavbûna navrû an veguherînên qonaxê çêbike, û tebeqeyên şikestî çêbike.
Voltaja Meyldariya Anormal an Hêza Plazmayê: Bombebarana iyonê ya nehevseng dikare bibe sedema zirara rûyî an jî streseke zêde.
3. Hilbijartina Materyalan û Xeletiyên Sêwiranê
Sêwirana Sîstema Pêçandinê ya Xirab: Nebûna tebeqeyên veguhêz an tebeqeyên hevber dibe sedema streseke ji nişka ve ya rûvî.
Hişkî/Xurtîya Bingehê ya Nehevseng: Rûyên pir lûs girêdana mekanîkî kêm dikin, lê xavîya bilind dikare bibe sedema rûbera neyeksan an jî kevanek çêkirinê.
4. Faktorên Jîngeh û Piştî Dermankirinê
Piştî danînê, rûbirûbûna bi çerxên germî, şoka mekanîkî, an korozyona kîmyewî dikare ji ber stresa westandinê an belavbûna korozyonê bibe sedema veqetandina parçeyan. Dermankirina nerast a piştî danînê (mînak, parametreyên şaş ên germkirinê) jî dikare streseke zêde çêbike.
Çareseriyên Pêşniyarkirî
Pêvajoyên paqijkirin û aktîvkirina substratê, wek paqijkirina bi sputterê ya Ar⁺ an pêşdermankirina reaktîf, çêtirîn bikin.
Rêjeya danîna avê, germahiya substratê, û hêza meylê bi rastî kontrol bike, bi tevî çavdêriya di cîh de.
Bi rêya simulasyonê, bi tevlîkirina tebeqeyên tamponê yên stresê (mînak, tebeqeyên veguhêz ên Cr an Ti), mîmariya pêçanê baştir bikin.
Protokolên kontrolkirina kalîteyê yên hişk saz bikin, di nav de rêbazên nirxandina zeliqandinê yên wekî ceribandinên xêzkirinê û ceribandinên kişandinê.
Di encamê de, veqetandina pêçanê ji têkiliyên pirfaktorî çêdibe. Nêzîkatiyek holîstîk ku rafinandina pêvajoyê û nûjeniya materyalê bi hev re entegre dike, ji bo baştirkirina performansa pêkhateyên pêçayî di xizmetê de girîng e.
— Ev gotar ji hêlaalavên boyaxkirina valahiyê hilberîner Zhenhua Vacuum
Dema weşandinê: 12ê Mijdarê-2025