Бүрхүүлийн хальслалт (наалдац алдагдах) нь чанарын нийтлэг асуудал юмвакуум тунадасжуулалтын технологи, бүтээгдэхүүний найдвартай байдал, бат бөх чанар, үйл ажиллагаанд шууд нөлөөлдөг. Энэхүү нийтлэлд гадаргуугийн наалдац, процессын параметрүүд, материалын шинж чанар, хүрээлэн буй орчны хүчин зүйлсийн үүднээс ялзралын үндсэн шалтгааныг системтэйгээр шинжилж, холбогдох сайжруулалтын стратегиудыг санал болгож байна.
1. Гадаргуугийн хоорондын наалдац хангалтгүй
Бүрхүүл болон суурь материалын хоорондох наалдацын бат бэх нь хальслахаас урьдчилан сэргийлэхэд чухал үүрэгтэй. Гадаргуугийн бохирдуулагч (жишээлбэл, тос, исэл, эсвэл шингээгдсэн чийг) эсвэл гадаргуугийн урьдчилсан боловсруулалт хангалтгүй байх (жишээлбэл, плазмын цэвэрлэгээ, ионы бөмбөгдөлт) нь гадаргуугийн гадаргуугийн энергийг бууруулж, бүрхүүлийн орон нутгийн эсвэл бүрэн салахад хүргэдэг. Нэмж дурдахад, суурь болон бүрхүүлийн хоорондох дулааны тэлэлтийн коэффициент (CTE)-ийн зөрүү нь дулааны мөчлөгийн үед дотоод стресс үүсгэж, наалдацыг улам бүр бууруулдаг.
2. Процессийн параметрүүдийг буруу хянах
Вакуум түвшин хангалтгүй: Тунадасны явцад орсон үлдэгдэл хийн молекулууд (жишээ нь, O₂, H₂O) нь сүвэрхэг бүтэц эсвэл хольцын үе шатыг үүсгэж, бүрхүүлийн нягтралыг бууруулдаг.
Хэт их тунадасжилтын хурд: Бүрхүүлийн хурдацтай өсөлт нь согог (жишээ нь, нүх сүв, багана хэлбэртэй бүтэц)-ийг бий болгож, стрессийн концентрацийг нэмэгдүүлдэг.
Тохиромжгүй субстратын температур: Бага температур нь атомын хөдөлгөөнийг хязгаарлаж, нягтралд саад учруулдаг; хэт их температур нь гадаргуугийн диффуз эсвэл фазын шилжилтийг өдөөж, хэврэг давхарга үүсгэдэг.
Хэвийн бус хазайлтын хүчдэл эсвэл плазмын чадал: Тэнцвэргүй ионы бөмбөгдөлт нь гадаргуугийн гэмтэл эсвэл хэт их стресс үүсгэж болзошгүй.
3. Материалын сонголт ба дизайны алдаа
Буруу бүрхүүлийн системийн дизайн: Шилжилтийн давхарга эсвэл тохирох давхарга байхгүй нь гадаргуугийн огцом стресс үүсгэдэг.
Тохиромжгүй суурь хатуулаг/барзгар байдал: Хэт гөлгөр гадаргуу нь механик холболтыг бууруулдаг бол өндөр барзгар байдал нь жигд бус бүрхүүл эсвэл нум үүсэхэд хүргэдэг.
4. Байгаль орчин ба эмчилгээний дараах хүчин зүйлс
Тунадасны дараа дулааны мөчлөг, механик цочрол эсвэл химийн зэврэлтэд өртөх нь ядрах стресс эсвэл зэврэлтийн диффузийн улмаас хальслахад хүргэдэг. Буруу боловсруулалтын дараах (жишээлбэл, буруу ариутгалын параметрүүд) нь нэмэлт стресс үүсгэж болзошгүй.
Санал болгож буй шийдлүүд
Ар⁺ шүршигч цэвэрлэх эсвэл урвалд орох урьдчилан боловсруулалт гэх мэт суурь цэвэрлэх болон идэвхжүүлэх процессыг оновчтой болгох.
Суурилуулалтын хурд, суурь температур, хазайлтын хүчийг нарийн хянаж, газар дээр нь хяналт хийнэ.
Стресс буфер давхаргыг (жишээ нь, Cr эсвэл Ti шилжилтийн давхаргууд) нэгтгэн симуляциар бүрэх архитектурыг оновчтой болгох.
Зурах туршилт болон татах туршилт зэрэг наалдацын үнэлгээний аргуудыг багтаасан чанарын хяналтын нарийн протоколуудыг бий болгох.
Эцэст нь хэлэхэд, бүрхүүлийн хальслалт нь олон хүчин зүйлийн харилцан үйлчлэлийн үр дүнд үүсдэг. Үйл явцын сайжруулалт болон материалын шинэчлэлийг нэгтгэсэн цогц арга барил нь үйлчилж буй бүрхүүлтэй эд ангиудын гүйцэтгэлийг сайжруулахад чухал үүрэгтэй.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 11-р сарын 12