Kubvisa machira (kukundikana kunamira) idambudziko rinowanzoitika mumhando yepamusorotekinoroji yekubvisa vacuum, zvichikanganisa zvakananga kuvimbika kwechigadzirwa, kugara kwenguva refu, uye mashandiro acho. Chinyorwa chino chinoongorora zvakarongeka zvikonzero zvekupatsanurwa kubva pamaonero ekunamatira pakati pechiso, ma process parameters, hunhu hwezvinhu, uye zvinhu zvakatipoteredza, ukuwo vachipa mazano ekuvandudza anoenderana.
1. Kusanyatsobatana kweInterfacial
Simba rekunamatira pakati pejira nejira repasi pevhu rakakosha kudzivirira kupatsanurwa. Zvinhu zvinosvibisa pamusoro (semuenzaniso, mafuta, maokisi, kana hunyoro hwakanyungudutswa) kana kusakwana kwekugadzirisa pamusoro (semuenzaniso, kuchenesa plasma, ion bombardment) zvinogona kuderedza simba rekubatanidza, zvichikonzera kupatsanurwa kwejira repasi pevhu kana kuti rakazara. Pamusoro pezvo, kusawirirana mu coefficient of thermal expansion (CTE) pakati pejira repasi pevhu nejira repasi kunokonzera kushushikana kwemukati panguva yekupisa, zvichikonzera kunamatira kwakanyanya.
2. Kudzora Zvisina Kufanira MaParamita Emaitiro
Kusakwana kweVacuum Level: Mamorekuru egasi akasara (semuenzaniso, O₂, H₂O) anosanganiswa panguva yekuiswa kwezvimiro zvine maburi kana zvikamu zvekusachena, zvichideredza huwandu hwemachira.
Kuwanda Kwekudonha Kwemavara: Kukura nekukurumidza kwemavara kunounza zvikanganiso (semuenzaniso, maburi, magadzirirwo emakona), zvichiwedzera kushushikana.
Kupisa Kusina Kufanira kweSubstrate: Kupisa kwakaderera kunoderedza kufamba kwemaatomu, zvichikanganisa kusimba kwemuviri; kupisa kwakanyanya kunogona kukonzera kupararira kwemukati meganda kana kuchinja kwechikamu, zvichiita kuti pave nezvikamu zvinoputsika.
Simba reKusarura Zvisina Kunaka kana Simba rePlasma: Kuputika kwemaion kusina kuenzana kunogona kukonzera kukuvara kweinterfacial kana kushushikana zvakanyanya.
3. Kusarudzwa kwezvinhu uye Zvikanganiso zvekugadzira
Kugadzirwa Kwakashata Kwemachira: Kusavapo kwemachira ekuchinja kana machira akafanana kunotungamira mukumanikidzwa kamwe kamwe kweinterfacial.
Kuoma/Kuoma kweSubstrate Isina Kuenzana: Nzvimbo dzakapfava zvakanyanya dzinoderedza kubatana kwemuchina, nepo kuomarara kwakanyanya kunogona kukonzera kufukidza kusina kuenzana kana kutenderera.
4. Zvinhu Zvinokonzera Kurapwa Kwenharaunda Nekunge Zvaitika
Kusangana nekupisa kunokonzerwa nekupisa, kuvhunduka kwemuchina, kana ngura yemakemikari mushure mekudonha kunogona kukonzera kupatsanurwa kwemvura nekuda kwekuneta kana kupararira kwemvura. Kusashanda zvakanaka mushure mekugadziriswa (semuenzaniso, miganhu yekupinza mvura isina kunaka) kunogonawo kukonzera kushushikana kwakanyanya.
Mhinduro Dzinokurudzirwa
Gadzirisa maitiro ekuchenesa substrate uye ekugadzirisa, akadai sekuchenesa Ar⁺ sputter kana reactive pretreatment.
Dzora nemazvo mwero wekuisa zvinhu, tembiricha ye substrate, uye simba rekusarudza, uchisanganisira kutarisa kwemukati mechinhu.
Gadzirisa magadzirirwo ekupenda nekushandisa simulation, uchishandisa stress buffer layers (semuenzaniso, Cr kana Ti transition layers).
Gadzira nzira dzakasimba dzekuongorora mhando, kusanganisira nzira dzekuongorora kunamira kwakabatana dzakadai sekuyedza kukwenya uye bvunzo dze pull-off.
Mukupedzisa, kucheka machira kunobva mukudyidzana kwezvinhu zvakawanda. Nzira yakazara inosanganisira kunatsiridza maitiro uye kuvandudza zvinhu zvakakosha kuti zvinhu zvakaputirwa zvishande zvakanaka.
—Nyaya iyi yakaburitswa namidziyo yekunamira ye vacuum mugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Mbudzi-12-2025