Kusanthula kwa Kuchotsa Zophimba mu Njira Zochotsera Zotsukira

Kuchotsa ma sheet (kulephera kumatira) ndi vuto lodziwika bwino paukadaulo woyika vacuum, zomwe zimakhudza mwachindunji kudalirika kwa chinthu, kulimba, ndi magwiridwe antchito. Nkhaniyi ikuwunika mwadongosolo zomwe zimayambitsa kugawanika kwa zinthu kuchokera ku malingaliro okhudzana ndi kumamatirana kwa zinthu, magawo a njira, katundu wa zinthu, ndi zinthu zachilengedwe, pomwe ikupereka njira zofananira zowongolera.

1. Kusakwanira kwa Kulumikizana kwa Interfacial
Mphamvu yomatira pakati pa chophimba ndi substrate ndi yofunika kwambiri popewa kugawanika kwa denga. Zoipitsa pamwamba (monga mafuta, ma oxide, kapena chinyezi chonyowa) kapena kusakwanira kuyeretsa pamwamba (monga kuyeretsa plasma, kuphulika kwa ma ion) kungachepetse mphamvu yolumikizirana, zomwe zimapangitsa kuti chophimbacho chikhale chosiyana kapena chokwanira. Kuphatikiza apo, kusagwirizana kwa coefficient of thermal expansion (CTE) pakati pa substrate ndi chophimbacho kumabweretsa kupsinjika kwamkati panthawi ya kutentha, zomwe zimapangitsa kuti kuphatikizika kukhale kovuta.

2. Kulamulira Kosayenera kwa Ma Parameters a Njira

Mlingo Wosakwanira wa Vacuum: Mamolekyu a mpweya wotsalira (monga, O₂, H₂O) omwe amaphatikizidwa panthawi yoyika zinthu zobowola kapena magawo odetsedwa, zomwe zimachepetsa kuchulukana kwa zokutira.

Kuchuluka kwa Kutaya kwa Magazi: Kukula mwachangu kwa utoto kumabweretsa zolakwika (monga ma pores, mapangidwe a columnar), zomwe zimapangitsa kuti munthu azivutika kwambiri.

Kutentha Kosayenera kwa Substrate: Kutentha kochepa kumachepetsa kuyenda kwa atomu, kulepheretsa kuchulukana kwa zinthu; kutentha kwambiri kungayambitse kufalikira kwa nkhope kapena kusintha kwa gawo, ndikupanga zigawo zofooka.

Mphamvu Yopanda Kuipa Kwambiri kapena Mphamvu ya Plasma: Kuphulika kwa ma ion osakwanira kungayambitse kuwonongeka kwa interfacial kapena kupsinjika kwambiri.

3. Kusankha Zinthu ndi Zolakwika pa Kapangidwe

Kapangidwe Koyipa ka Makina Ophikira: Kusakhala ndi zigawo zosinthira kapena zigawo zofanana kumabweretsa kupsinjika kwadzidzidzi kwa interfacial.

Kulimba/Kulimba kwa Substrate Kosafanana: Malo osalala kwambiri amachepetsa kulumikizana kwa makina, pomwe kulimba kwambiri kungayambitse kuphimba kapena kupindika kosagwirizana.

4. Zinthu Zokhudza Zachilengedwe ndi Pambuyo pa Chithandizo
Kukhudzidwa ndi kutentha, kugwedezeka kwa makina, kapena dzimbiri la mankhwala kungayambitse kusokonekera kwa mpweya chifukwa cha kutopa kapena kufalikira kwa madzi. Kusagwiritsidwa ntchito bwino pambuyo pa chithandizo (monga momwe zilili zolakwika) kungayambitsenso kupsinjika kwina.

Mayankho Ovomerezeka

Konzani bwino njira zoyeretsera ndi kuyambitsa zinthu, monga kuyeretsa kwa Ar⁺ sputter kapena kuchiza zinthu zisanayambike.

Yang'anirani bwino kuchuluka kwa malo osungiramo zinthu, kutentha kwa substrate, ndi mphamvu ya bias, kuphatikizapo kuyang'anira mkati mwa malo.

Konzani kapangidwe ka zokutira pogwiritsa ntchito kuyerekezera, kuphatikiza zigawo zosungira nkhawa (monga Cr kapena Ti transition layers).

Khazikitsani njira zowunikira bwino khalidwe, kuphatikizapo njira zowunikira kumatirira monga mayeso okanda ndi mayeso opumira.

Pomaliza, kugawanika kwa pulasitiki kumachitika chifukwa cha kuyanjana kwa zinthu zambiri. Njira yophatikizira kukonzanso njira ndi kupanga zinthu zatsopano ndikofunikira kuti zinthu zophimbidwa zigwire bwino ntchito.

—Nkhaniyi yafalitsidwa ndizida zophikira zotsukira wopanga Zhenhua Vacuum