Indastering ea ho koahela ka vacuum, ntlafatso ea lisebelisoa hangata e utloisisoa e le ho eketsa li-cathode tse ling, ho eketsa bokhoni ba matla, ho holisa kamore, kapa ho ntlafatsa boemo ba boiketsetso. Lintlafatso tsena li ka ntlafatsa bokhoni ba tlhahiso. Leha ho le joalo, mererong ea tlhahiso ea 'nete, katleho ea ntlafatso ea lisebelisoa hangata ha e laoloe ke liparamente tse bonahalang ka ho fetisisa leqepheng la litlhaloso, empa ke lintlha tsa motheo tsa tekheniki tse hlokomolohuoang habonolo.
Bakeng sa PVD, CVD, PECVD, magnetron sputtering, evaporation coating, le cathodic arc ion plating systems, ntlafatso ha se taba feela ea ho eketsa hardware. Ke kaho bocha e hlophisitsoeng ea sistimi ea vacuum, taolo ea plasma, sebopeho sa filimi, botsitso ba ts'ebetso, le botsitso ba tlhahiso ea bongata. Haeba feela liparamente tsa ts'ebetso ea motho ka mong li ntlafalitsoe ha ho bapisoa ha ts'ebetso ka kakaretso ho hlokomolohuoa, ntlafatso e ka lebisa ho feto-fetoha ha botenya ba filimi, ho khomarela ho fokolang, ho eketseha ha liphoso tsa likaroloana, le chai e sa tsitsang.
1. Ho bapisa Sistimi ea Vacuum, Eseng Feela Lebelo le Phahameng la ho Pompa
Ha ho ntlafatsoa disebediswa tsa ho kwahela ka vacuum, bahlahisi ba bangata ba qala ka ho tsepamisa maikutlo tsamaisong ya ho pompa, jwalo ka ho eketsa dipompo tsa turbomolecular, dipompo tsa Roots, kapa dipompo tse ommeng ho eketsa lebelo la ho pompa. Leha ho le jwalo, senotlolo sa sistimi ya vacuum ha se feela hore na e ka pompa ka lebelo le lekae, empa hape le moedi wa ho pompa, vacuum ya ho qetela, botsitso ba kgatello ya mosebetsi, le kabo ya phallo ya kgase ka hare ho kamore.
Bakeng sa lits'ebetso tsa ho phunya ha magnetron le tsa ho phunya ha karabelo, khatello e tsitsitseng ea ts'ebetso e ama ka ho toba bongata ba plasma, sekhahla sa ho phunya, le sebopeho sa filimi. Bakeng sa lits'ebetso tsa PECVD kapa tsa ho roala tse arabelang, nako ea bolulo ba khase, kabo ea khase e arabelang, le katleho ea mosi kaofela li susumetsa bongata ba filimi, index ea refractive, khatello ea ka hare le ho khomarela.
Haeba bophahamo ba kamore bo eketseha nakong ea ntlafatso ha moralo oa ho kena ha khase, boemo ba kou ea ho pompa, le sebopeho sa baffle li sa ntlafatsoa ka nepo, mathata a kang khatello e sa lekanang ea sebaka, tšebeliso ea khase e sa arabeleng ka mokhoa o ts'oanang, phapang ea 'mala, le ho kheloha ha botenya ba filimi ho ka etsahala. Ka hona, ntlafatso ea sistimi ea vacuum e lokela ho ipapisa le moralo oa tšimo ea phallo ea kamore ka kakaretso, kabo ea khase, le litlhoko tsa fensetere ea ts'ebetso, ho e-na le ho phehella lebelo le phahameng la ho pompa feela.
2. Ho Tsitsisa Plasma ke Motheo oa Bohlokoa oa Boleng ba ho Koahela
Lisebelisoang tsa ho koahela tsa PVD, matla a shebiloeng, hona joale ha mohloli oa arc, phepelo ea motlakase ea bias, le tlhophiso ea mohloli oa ion hangata ke tsona tse ka sehloohong tsa ntlafatso ea lisebelisoa. Leha ho le joalo, se etsang qeto ea boleng ba ho koahela ke hore na plasma e ka lula e tsitsitse nakong ea tlhahiso ea nako e telele.
Ha re nka ho sputtering ea magnetron e le mohlala, ho eketsa matla ho ka ntlafatsa sekhahla sa ho beoa. Leha ho le joalo, haeba moralo oa matla a makenete, sebaka sa sepheo ho isa ho substrate, sistimi ea ho pholisa, le ho bapisa phepelo ea motlakase li sa lekana, ho ka baka khoholeho e sa lekanang ea sepheo, ho tsoa ha motlakase ho sa tloaelehang, khatello e eketsehileng ea filimi, ho thekesela le liphoso tsa likaroloana.
Bakeng sa litsamaiso tsa ho betla li-ion tsa arc tsa cathodic, taolo ea motsamao oa arc spot, ho sefa li-macroparticle, sekhahla sa ionization, le ho bapisa leeme la substrate li khetholla ka ho toba ho teteana ha ho koahela, ho teteana ha bokaholimo, le ho hanyetsa ho tsofala.
Ka hona, ntlafatso ea lisebelisoa ha ea lokela ho shebana feela le matla a phahameng ka ho fetisisa. E lokela hape ho lekola botsitso ba ho ntša metsi, ho tšoana ha kabo ea plasma, sekhahla sa tšebeliso ea sepheo, le ho pheta-pheta ha ts'ebetso nakong ea tlhahiso ea sehlopha.
3. Lisebelisoa le Litsamaiso tsa Motsamao oa Mosebetsi li Hlalosa ka ho toba Botenya ba Filimi bo Tšoanang
Sistimi ea ho kenya ke e 'ngoe ea likarolo tse atisang ho nyenyefatsoa haholo tsa ntlafatso ea lisebelisoa tsa ho roala. Bahlahisi ba bangata ba ela hloko haholoanyane kamore, lipheo le phepelo ea motlakase, ha ba ntse ba hlokomoloha tšusumetso ea mekhoa ea ho kenya, mekhoa ea ho potoloha, lisebelisoa tsa lipolanete le moralo oa tšireletso ho ts'oanang ha filimi.
Tlhahisong ea 'nete, ho tšoana ha botenya ba filimi ho itšetlehile eseng feela ka mohloli oa ho beha lintho ka bohona, empa hape le ka kamano ea sebaka pakeng tsa mosebetsi le mohloli oa ho roala. Bakeng sa likarolo tsa kahare tsa likoloi, khalase ea optical, li-substrate tsa ceramic, li-drill tse nyane, lisebelisoa tsa ho seha, likarolo tsa mekhabiso ea polasetiki, le lihlahisoa tse ling, jiometri ea mosebetsi, boholo, sekhutlo sa ho khomarela, le tsela ea ho potoloha li fapana haholo.
Haeba moralo oa sesebelisoa o sa utloahale, esita le sistimi ea ho roala e nang le sebopeho se phahameng e ka hlahisa botenya bo feteletseng ba filimi ea lehae, ho se koahele ka ho lekaneng moeli, litlamorao tse totobetseng tsa moriti, kapa botsitso bo bobe ba sehlopha ho ea sehlopheng.
Haholo-holo ho koahelo ea mahlo ea sebaka se seholo, koahelo e rarahaneng ea likarolo tse tharo, le koahelo ea mosebetsi e nepahetseng hanyane, moralo oa koahelo ha e sa le sebopeho se thusang feela. E se e le karolo ea bohlokoa ea sistimi ea ts'ebetso. Nakong ea ntlafatso ea lisebelisoa, sistimi ea koahelo e lokela ho ntlafatsoa hammoho le ts'ebetso ea koahelo, ho e-na le ho fetoloa kamora hore lisebelisoa li phethoe.
4. Taolo ea Mocheso le Taolo ea Moroalo oa Thermal li Ama Ho Khomarela le Khatello ea Filimi
Mekhoeng ea ho phunya ka matla a phahameng, ho fetoha ha mouoane ha mahlaseli a elektrone, CVD, le PECVD, taolo ea mojaro oa mocheso ke ntlha ea bohlokoa e amang ts'ebetso ea ho koahela. Liphoso tse ngata tsa ho koahela ha li tsoe mohloling oa ho boloka mocheso ka bohona, empa li tsoa ho feto-fetoha ha mocheso oa substrate, kabo e sa lekanang ea tšimo ea mocheso, kapa katleho e sa lekaneng ea ho pholisa.
Mocheso oa substrate o ama ka ho toba kristale ea filimi, khatello ea ka hare, ho khomarela le ho teteana. Bakeng sa li-substrate tse amehang mochesong tse kang likarolo tsa polasetiki, lifilimi tse tenyetsehang, le likarolo tsa kahare tsa likoloi, mocheso o feteletseng o ka baka ho fetoha ha sebopeho, ho tsoa khase, ho petsoha ha filimi, kapa ho khomarela ho fokolang. Bakeng sa lipente tse thata, lifilimi tsa optical, le lifilimi tse sebetsang, mocheso o sa lekaneng o ka ama sebopeho sa filimi le botsitso ba ts'ebetso ea nako e telele.
Ka hona, nakong ea ntlafatso ea lisebelisoa, ho hlokahala ho lekola potoloho ea metsi a pholileng, katleho ea ho pholisa e reretsoeng, ho leka-lekana ha mocheso oa kamore, sistimi ea ho futhumatsa ea substrate, le ho nepahala ha ho lekola mocheso. Ke feela ka tšimo e tsitsitseng ea mocheso moo ts'ebetso ea ho roala e ka hlahisoang hape ka mokhoa o tsitsitseng.
5. Mekhoa ea Taolo ea Ts'ebetso e Feta ho Iketsa
Ho iketsetsa ke tlhoko e tloaelehileng ntlafatsong ea lisebelisoa. Leha ho le joalo, ho iketsetsa ha bohlokoa ha se feela ho nkela ts'ebetso ea letsoho sebaka. E lokela ho nolofalletsa taolo e nepahetseng ea ts'ebetso, ho rekota data le ho latela ts'ebetso.
Tlhahisong ea ho roala ea maemo a holimo, boleng ba filimi hangata bo khethoa ke liparamente tse ngata tsa bohlokoa, ho kenyeletsoa boemo ba vacuum, sekhahla sa phallo ea khase, matla a ho phunya, hona joale ha mohloli oa arc, motlakase oa leeme, sebopeho sa maqhubu a motlakase, mocheso, nako ea ho beha, lebelo la ho potoloha ha workpiece, le data ea ho lekola botenya ba filimi. Ho feto-fetoha ha e 'ngoe ea liparamente tsena ho ka ama ts'ebetso ea sehlahisoa sa ho qetela.
Ka hona, ha ho ntlafatsoa sistimi ea taolo, tlhokomelo e lokela ho lefshoa taolong ea phallo ea khase ea MFC, taolo ea khatello e koetsoeng, tlhokomelo ea botenya ba filimi, tsamaiso ea diresepe, mesebetsi e sa tloaelehang ea alamo, ho bokella data, le kopanyo ea sistimi ea MES. Haholo-holo meleng ea tlhahiso e tsoelang pele ea ho koahela le litsamaisong tse kholo tsa tlhahiso ea bongata, ho latela data ho fetohile motheo oa bohlokoa bakeng sa tsamaiso ea boleng.
6. Netefatso ea Fensetere ea Ts'ebetso e Bohlokoa ho Feta Liparamitha tsa Lisebelisoa
Morero oa ho qetela oa ntlafatso ea lisebelisoa ke tlhahiso e kholo, eseng feela netefatso ea sampole. Merero e mengata ea ntlafatso e ka hlahisa lipente tse ntle nakong ea mohato oa teko, empa kamora ho kena tlhahisong ea sehlopha, mathata a kang ho kheloha ha botenya ba filimi, phapang ea 'mala, phetoho ea ho khomarela, kapa tahlehelo ea chai a ka hlaha. Lebaka la mantlha ke ho hloka netefatso e felletseng ea fensetere ea ts'ebetso.
Ntlafatso ea lisebelisoa tse hōlileng tsebong e lokela ho kenyelletsa tlhahlobo ea ho lumellana ha thepa, tlhahlobo ea bophelo bohle ba sepheo, netefatso ea potoloho ea ho hloekisa kamore, teko ea phapang ea bokhoni ba ho kenya, tlhahlobo e tsoelang pele ea botsitso ba ts'ebetso, tlhahlobo ea ts'ebetso ea ho koahela, le netefatso ea ho pheta-pheta ha sehlopha ho ea ho sehlopha. Ke feela ha lisebelisoa li ka lula li tsitsitse tlas'a lihlopha tse fapaneng, maemo a fapaneng a ho kenya, le ts'ebetso ea nako e telele moo ntlafatso e ka fihlelang litlhoko tsa tlhahiso ea bongata.
Qetello
Ho ntlafatsa lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum ha se taba ea ho phehella litlhophiso tse phahameng feela. Ke ts'ebetso ea ntlafatso e hlophisitsoeng e shebaneng le ts'ebetso ea ho koahela, botsitso ba ts'ebetso, le tlhahiso ea tlhahiso e ngata. Moralo oa sistimi ea vacuum, botsitso ba plasma, motsamao oa sesebelisoa, taolo ea mocheso, taolo ea othomathike, le netefatso ea fensetere ea ts'ebetso kaofela ke lintlha tsa bohlokoa tsa tekheniki tse khethollang katleho ea ntlafatso.
Bakeng sa bahlahisi, ntlafatso ea lisebelisoa tsa ho koahela ea bohlokoa e le kannete ha ea lokela ho eketsa bokhoni ba tlhahiso feela, empa hape e ntlafatse botsitso ba filimi, e fokotse sekhahla sa liphoso, e khutsufatse lipotoloho tsa ho laela, le ho ntlafatsa taolo ea ts'ebetso ea nako e telele. Ke ka ho kenyelletsa lintlha tsena tsa tekheniki tse hlokomolohuoang hangata morerong oa ntlafatso feela moo ntlafatso ea lisebelisoa e ka fetoloang tlholisano e matla ea sehlahisoa le katleho e phahameng ea tlhahiso.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe kemoetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuumLetsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Mmesa-09-2026