Warshadaha dahaarka faakuumka, casriyeynta qalabka waxaa badanaa loo fahmaa inay tahay ku darista katoosyo badan, kordhinta awoodda korontada, ballaarinta qolka, ama hagaajinta heerka otomaatiga ah. Casriyeyntaani runtii waxay horumarin kartaa awoodda wax soo saarka. Si kastaba ha ahaatee, mashaariicda wax soo saarka dhabta ah, guusha casriyeynta qalabka badanaa waxaa lagu go'aamiyaa ma aha xuduudaha ugu muuqda ee ku yaal xaashida qeexitaanka, laakiin faahfaahinta farsamada ee hoose ee si fudud loo iska indho tiri karo.
Nidaamyada PVD, CVD, PECVD, magnetron sputtering, uumi-baxa dahaarka, iyo nidaamyada dahaarka ion-ka ee cathodic arc, casriyeyntu maaha oo keliya arrin ku saabsan ku darista qalabka. Waa dib-u-habayn nidaamsan oo lagu sameeyo nidaamka faakuumka, xakamaynta balaasmaha, qaab-dhismeedka filimka, xasilloonida habka, iyo isku-dheellitirka wax-soo-saarka tirada. Haddii kaliya la hagaajiyo xuduudaha waxqabadka shaqsiga ah halka la iska indho tiro isku-dhafka guud ee habka, casriyeyntu waxay horseedi kartaa isbeddel dhumucda filimka, isku-dhejin liidata, cillado badan oo walxaha ah, iyo wax-soo-saar aan degganayn.
1. Iswaafajinta Nidaamka Faakuumka, Ma aha oo kaliya Xawaaraha Bamka Sare
Marka la casriyeynayo qalabka dahaarka faakuumka, soosaarayaal badan ayaa marka hore diiradda saara nidaamka bamgareynta, sida ku darista bambooyinka turbomolecular, bambooyinka Roots, ama bambooyinka qalalan si loo kordhiyo xawaaraha bamgareynta. Si kastaba ha ahaatee, furaha nidaamka faakuumka ma aha oo kaliya sida ugu dhakhsaha badan ee uu hoos ugu soo dejin karo, laakiin sidoo kale qalooca bamgareynta, faakuumka ugu dambeeya, xasilloonida cadaadiska shaqada, iyo qaybinta socodka gaaska gudaha qolka.
Hababka faafinta magnetron iyo kuwa faafinta falcelinta leh, cadaadiska shaqada ee deggan wuxuu si toos ah u saameeyaa cufnaanta balaasmaha, heerka faafinta, iyo halabuurka filimka. Hababka dahaarka falcelinta leh ee PECVD ama kuwa falcelinta leh, waqtiga gaaska la dego, qaybinta gaaska falcelinta leh, iyo hufnaanta qiiqa dhammaantood waxay saameeyaan cufnaanta filimka, tusmada refractive, walbahaarka gudaha, iyo isku-xidhka.
Haddii mugga qolka la kordhiyo inta lagu jiro casriyeynta halka naqshadda gelitaanka gaaska, booska dekedda bamgareynta, iyo qaab-dhismeedka baallaha aan si waafaqsan loo hagaajin, dhibaatooyin sida cadaadiska maxalliga ah ee aan sinnayn, isticmaalka gaaska aan isku mid ahayn ee falcelinta leh, kala duwanaanshaha midabka, iyo leexashada dhumucda filimka ayaa dhici karta. Sidaa darteed, casriyeynta nidaamka faakuumka waa inay ku salaysnaataa naqshadeynta guud ee goobta socodka qolka, qaybinta gaaska, iyo shuruudaha daaqadda habka, halkii si fudud loo raaci lahaa xawaaraha bamgareynta oo sareeya.
2. Xasilloonida Balaasmaha waa Aasaaska Aasaasiga ah ee Tayada Dahaarka
Qalabka dahaarka PVD, awoodda bartilmaameedka, qulqulka isha arc, korontada eexashada, iyo qaabeynta isha ion ayaa inta badan diiradda saaraya casriyeynta qalabka. Si kastaba ha ahaatee, waxa dhabta ah ee go'aamiya tayada dahaarka ayaa ah in balaasmadu ay xasilloonaan karto inta lagu jiro wax soo saarka muddada dheer.
Tusaale ahaan, isticmaalka magnetron sputtering, kordhinta awoodda waxay hagaajin kartaa heerka dhigista. Si kastaba ha ahaatee, haddii naqshadda goobta birlabta, masaafada bartilmaameedka-ilaa-substrate, nidaamka qaboojinta, iyo isku-xidhka sahayda korontada aysan ku filnayn, waxay sababi kartaa nabaad-guur aan sinnayn oo bartilmaameed ah, dheecaan aan caadi ahayn, cadaadiska filimka oo kordha, qalooca, iyo cilladaha walxaha.
Nidaamyada dahaadhka ion-ka ee cathodic arc, xakamaynta dhaqdhaqaaqa arc spot, shaandhaynta macroparticle, heerka ionization, iyo isbarbardhigga eexda substrate-ka ayaa si toos ah u go'aamiya cufnaanta dahaarka, qallafsanaanta dusha sare, iyo iska caabbinta xirashada.
Sidaa darteed, casriyeynta qalabka waa inaysan diiradda saarin oo keliya awoodda ugu badan. Sidoo kale waa inay qiimeeysaa xasilloonida sii deynta, isku mid ahaanshaha qaybinta balaasmaha, heerka isticmaalka bartilmaameedka, iyo ku celcelinta habka inta lagu jiro wax soo saarka dufcadda.
3. Nidaamyada Dhaqdhaqaaqa Qalabka iyo Qalabka Shaqada ayaa si toos ah u go'aamiya Dhumucda Filimka
Nidaamka qalabka lagu rakibayo waa mid ka mid ah qaybaha ugu badan ee aan la dhayalsan karin ee casriyeynta qalabka dahaarka. Soo-saareyaal badan ayaa fiiro gaar ah u leh qolka, bartilmaameedyada, iyo sahayda korontada, iyagoo iska indha tiraya saameynta hababka rarista, farsamooyinka wareegga, qalabka meeraha, iyo naqshadeynta gaashaanka ee ku aaddan isku mid ahaanshaha filimka.
Wax soo saarka dhabta ah, isku-midnimada dhumucda filimku kuma xirna oo keliya isha dhigista lafteeda, laakiin sidoo kale xiriirka booska ee u dhexeeya shaqada iyo isha dahaarka. Qaybaha gudaha ee baabuurta, galaaska indhaha, substrate-ka dhoobada, qodista yar yar, qalabka jarista, qaybaha qurxinta balaastikada ah, iyo alaabada kale, joomatari-ga shaqada, cabbirka, xagasha isku-xidhka, iyo jihada wareegga ayaa si weyn u kala duwan.
Haddii naqshadda qalabka aan macquul ahayn, xitaa nidaamka dahaarka qaabaynta sare leh wuxuu soo saari karaa dhumuc filim maxalli ah oo xad dhaaf ah, daboolid aan ku filnayn oo gees ah, saameyn hadh cad, ama isku dheelitirnaan la'aan dufcad ilaa dufcad ah.
Gaar ahaan dahaarka indhaha ee aagga weyn, dahaarka qaybaha saddex-geesoodka ah ee adag, iyo dahaarka shaqada ee saxda ah ee yar, naqshadeynta qalabka hadda ma aha oo kaliya qaab-dhismeed kaabayaal ah. Waxay noqotay qayb muhiim ah oo ka mid ah nidaamka geeddi-socodka. Inta lagu jiro casriyeynta qalabka, nidaamka qalabka waa in lala sameeyaa habka dahaarka, halkii laga beddeli lahaa ka dib marka qalabka la dhammeeyo.
4. Xakamaynta Heerkulka iyo Maareynta Culayska Kulaylka waxay Saameeyaan Ku dhegganaanta iyo Cadaadiska Filimada
Hawlaha faafinta awoodda sare leh, uumi-baxa shucaaca elektarooniga ah, CVD, iyo PECVD, maaraynta culayska kulaylka waa arrin muhiim ah oo saameysa waxqabadka dahaarka. Cilladaha badan ee dahaarka kama yimaadaan isha dhigista lafteeda, laakiin waxay ka yimaadaan isbeddelka heerkulka substrate-ka, qaybinta goobta kulaylka oo aan sinnayn, ama hufnaanta qaboojinta oo aan ku filnayn.
Heerkulka substrate-ka si toos ah ayuu u saameeyaa kristantalka filimka, cadaadiska gudaha, dhegdheg, iyo cufnaanta. Substrate-yada xasaasiga u ah kulaylka sida qaybaha balaastikada ah, filimada dabacsan, iyo qaybaha gudaha ee baabuurta, heerkulka xad-dhaafka ah wuxuu sababi karaa isbeddel, gaas ka baxsan, dildilaac filim, ama dhegdheg xumo. Dahaarka adag, filimada indhaha, iyo filimada shaqeynaya, heerkul aan ku filnayn ayaa saameyn kara qaab-dhismeedka filimka iyo xasilloonida waxqabadka muddada-dheer.
Sidaa darteed, inta lagu jiro casriyeynta qalabka, waxaa lagama maarmaan ah in la qiimeeyo wareegga biyaha qaboojinta, hufnaanta qaboojinta bartilmaameedka, dheelitirka kulaylka qolka, nidaamka kuleylinta substrate-ka, iyo saxnaanta la socodka heerkulka. Kaliya marka la helo goob kuleyl oo deggan ayaa waxqabadka dahaarka si joogto ah loo soo saari karaa.
5. Nidaamyada Xakamaynta Habka Waxay Ka Badan Yihiin Otomaatig
Otomaatiggu waa shuruud caadi ah oo ku saabsan casriyeynta qalabka. Si kastaba ha ahaatee, otomaatigga runtii qiimaha leh maaha oo kaliya beddelidda hawlgalka gacanta. Waa inay suurtogelisaa xakamaynta saxda ah ee habka, duubista xogta, iyo raad-raaca habka.
Soo saarista dahaarka heerka sare ah, tayada filimka waxaa badanaa lagu go'aamiyaa dhowr qodob oo muhiim ah, oo ay ku jiraan heerka faakuumka, heerka socodka gaaska, awoodda sputtering, hadda isha arc, danabka eexda, qaabka hirarka danabka, heerkulka, waqtiga dhigista, xawaaraha wareegga shaqada, iyo xogta la socodka dhumucda filimka. Isbeddelka mid ka mid ah cabbirradan ayaa saameyn kara waxqabadka badeecada ugu dambeysa.
Sidaa darteed, marka la horumarinayo nidaamka xakamaynta, waa in fiiro gaar ah la siiyaa xakamaynta socodka gaaska MFC, xakamaynta cadaadiska wareegsan, la socodka dhumucda filimka, maaraynta cuntada, hawlaha digniinta aan caadiga ahayn, helitaanka xogta, iyo isdhexgalka nidaamka MES. Gaar ahaan khadadka wax soo saarka ee dahaarka joogtada ah iyo nidaamyada wax soo saarka tirada badan, raad-raaca xogtu wuxuu noqday aasaas muhiim u ah maaraynta tayada.
6. Xaqiijinta Daaqadda Habka ayaa ka Muhiimsan Cabbiraadaha Qalabka
Ujeedada ugu dambeysa ee casriyeynta qalabka waa wax soo saar ballaaran, ma aha oo kaliya xaqiijinta muunadda. Mashruucyo badan oo casriyeyn ah ayaa soo saari kara dahaadh ku habboon marxaladda tijaabada, laakiin ka dib marka la galo wax soo saarka dufcadda, dhibaatooyin sida qulqulka dhumucda filimka, kala duwanaanshaha midabka, isbeddelka isku dhejinta, ama luminta wax soo saarka ayaa dhici kara. Sababta aasaasiga ah waa la'aanta xaqiijinta daaqadda hawsha oo dhammaystiran.
Cusboonaysiinta qalabka bisil waa inay ku jirtaa qiimaynta iswaafajinta agabka, qiimaynta cimriga bartilmaameedka, xaqiijinta wareegga nadiifinta qolka, tijaabinta kala duwanaanshaha awoodda rarista, qiimaynta xasilloonida hawlgalka joogtada ah, tijaabinta waxqabadka dahaarka, iyo xaqiijinta ku celcelinta dufcad ilaa dufcad. Kaliya marka qalabku uu xasilloonaan karo dufcaddo kala duwan, xaalado rarid oo kala duwan, iyo hawlgal muddo dheer ah ayaa casriyeyntu si dhab ah u buuxin kartaa shuruudaha wax soo saarka tirada badan.
Gunaanad
Cusboonaysiinta qalabka dahaarka faakuumka kuma saabsana oo keliya raadinta qaab-dhismeedyo sare. Waa hab-socod habaysan oo ku salaysan waxqabadka dahaarka, xasilloonida habka, iyo wax-soo-saarka tirada badan. Naqshadaynta nidaamka faakuumka, xasilloonida balaasmaha, dhaqdhaqaaqa qalabka, maaraynta kulaylka, xakamaynta otomaatiga ah, iyo xaqiijinta daaqadda habka ayaa dhammaantood ah arrimo farsamo oo muhiim ah oo go'aamiya guusha casriyeynta.
Soosaarayaasha, casriyeynta qalabka dahaarka ee qiimaha leh waa inaysan kaliya kordhin awoodda wax soo saarka, laakiin sidoo kale waa inay hagaajisaa joogtaynta filimka, yareysaa heerarka cilladaha, gaabin wareegyada hawlgalka, iyo kor u qaadida xakamaynta habka muddada dheer. Kaliya iyadoo lagu darayo faahfaahintan farsamo ee inta badan la iska indho tiro qorshaha casriyeynta ayaa casriyeynta qalabka loo rogi karaa tartan xooggan oo wax soo saar iyo hufnaan wax soo saar oo sare.
-Maqaalkan waxaa daabacaySoo saaraha qalabka dahaarka faakuumkaFaakiyuum Zhenhua
Waqtiga boostada: Abriil-09-2026