ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ ટેકનોલોજી કંપની લિમિટેડમાં આપનું સ્વાગત છે.
સિંગલ_બેનર

વેક્યુમ કોટિંગ સાધનોના અપગ્રેડમાં મોટાભાગે અવગણવામાં આવતા મુખ્ય ટેકનિકલ મુદ્દાઓ

લેખ સ્ત્રોત:ઝેનહુઆ વેક્યુમ
વાંચો: ૧૦
પ્રકાશિત: 26-04-09

વેક્યુમ કોટિંગ ઉદ્યોગમાં, સાધનોના અપગ્રેડિંગને ઘણીવાર વધુ કેથોડ્સ ઉમેરવા, પાવર ક્ષમતા વધારવા, ચેમ્બરને મોટું કરવા અથવા ઓટોમેશનના સ્તરમાં સુધારો કરવા તરીકે સમજવામાં આવે છે. આ અપગ્રેડ ખરેખર ઉત્પાદન ક્ષમતામાં સુધારો કરી શકે છે. જો કે, વાસ્તવિક ઉત્પાદન પ્રોજેક્ટ્સમાં, સાધનોના અપગ્રેડની સફળતા ઘણીવાર સ્પષ્ટીકરણ શીટ પરના સૌથી દૃશ્યમાન પરિમાણો દ્વારા નહીં, પરંતુ અંતર્ગત તકનીકી વિગતો દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે જે સરળતાથી અવગણવામાં આવે છે.

PVD, CVD, PECVD, મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ, બાષ્પીભવન કોટિંગ અને કેથોડિક આર્ક આયન પ્લેટિંગ સિસ્ટમ્સ માટે, અપગ્રેડ એ ફક્ત હાર્ડવેર ઉમેરવાની બાબત નથી. તે વેક્યુમ સિસ્ટમ, પ્લાઝ્મા નિયંત્રણ, ફિલ્મ માળખું, પ્રક્રિયા સ્થિરતા અને મોટા પાયે ઉત્પાદન સુસંગતતાનું વ્યવસ્થિત પુનર્નિર્માણ છે. જો એકંદર પ્રક્રિયા મેચિંગને અવગણવામાં આવે ત્યારે ફક્ત વ્યક્તિગત પ્રદર્શન પરિમાણોમાં સુધારો કરવામાં આવે, તો અપગ્રેડ ફિલ્મ જાડાઈમાં વધઘટ, નબળી સંલગ્નતા, કણ ખામીઓમાં વધારો અને અસ્થિર ઉપજ તરફ દોરી શકે છે.

1. વેક્યુમ સિસ્ટમ મેચિંગ, ફક્ત ઉચ્ચ પમ્પિંગ ગતિ જ નહીં

વેક્યુમ કોટિંગ સાધનોને અપગ્રેડ કરતી વખતે, ઘણા ઉત્પાદકો પહેલા પમ્પિંગ સિસ્ટમ પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરે છે, જેમ કે પમ્પિંગ ગતિ વધારવા માટે ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ, રૂટ્સ પંપ અથવા ડ્રાય પંપ ઉમેરવા. જો કે, વેક્યુમ સિસ્ટમની ચાવી માત્ર તે કેટલી ઝડપથી પમ્પ કરી શકે છે તે જ નથી, પરંતુ પમ્પિંગ વળાંક, અંતિમ વેક્યુમ, કાર્યકારી દબાણ સ્થિરતા અને ચેમ્બરની અંદર ગેસ પ્રવાહ વિતરણ પણ છે.

મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ અને રિએક્ટિવ સ્પટરિંગ પ્રક્રિયાઓ માટે, સ્થિર કાર્યકારી દબાણ પ્લાઝ્મા ઘનતા, સ્પટરિંગ દર અને ફિલ્મ રચનાને સીધી અસર કરે છે. PECVD અથવા રિએક્ટિવ કોટિંગ પ્રક્રિયાઓ માટે, ગેસ રહેઠાણ સમય, રિએક્ટિવ ગેસ વિતરણ અને એક્ઝોસ્ટ કાર્યક્ષમતા આ બધું ફિલ્મ ઘનતા, રીફ્રેક્ટિવ ઇન્ડેક્સ, આંતરિક તાણ અને સંલગ્નતાને પ્રભાવિત કરે છે.

જો અપગ્રેડ દરમિયાન ચેમ્બર વોલ્યુમ વધારવામાં આવે છે જ્યારે ગેસ ઇનલેટ ડિઝાઇન, પમ્પિંગ પોર્ટ પોઝિશન અને બેફલ સ્ટ્રક્ચરને તે મુજબ ઑપ્ટિમાઇઝ કરવામાં આવતું નથી, તો અસમાન સ્થાનિક દબાણ, બિન-સમાન પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસ વપરાશ, રંગ ભિન્નતા અને ફિલ્મ જાડાઈ વિચલન જેવી સમસ્યાઓ આવી શકે છે. તેથી, વેક્યુમ સિસ્ટમ અપગ્રેડિંગ ફક્ત ઉચ્ચ પમ્પિંગ ગતિને અનુસરવાને બદલે, એકંદર ચેમ્બર ફ્લો ફિલ્ડ ડિઝાઇન, ગેસ વિતરણ અને પ્રક્રિયા વિન્ડો આવશ્યકતાઓ પર આધારિત હોવું જોઈએ.

2. પ્લાઝ્મા સ્થિરતા એ કોટિંગ ગુણવત્તાનો મુખ્ય પાયો છે

પીવીડી કોટિંગ સાધનોમાં, ટાર્ગેટ પાવર, આર્ક સોર્સ કરંટ, બાયસ પાવર સપ્લાય અને આયન સોર્સ કન્ફિગરેશન ઘણીવાર સાધનોના અપગ્રેડનું કેન્દ્રબિંદુ હોય છે. જો કે, કોટિંગની ગુણવત્તા ખરેખર જે નક્કી કરે છે તે એ છે કે લાંબા ગાળાના ઉત્પાદન દરમિયાન પ્લાઝ્મા સ્થિર રહી શકે છે કે નહીં.

મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગને ઉદાહરણ તરીકે લઈએ તો, પાવર વધારવાથી ડિપોઝિશન રેટમાં સુધારો થઈ શકે છે. જો કે, જો ચુંબકીય ક્ષેત્ર ડિઝાઇન, લક્ષ્ય-થી-સબસ્ટ્રેટ અંતર, ઠંડક પ્રણાલી અને પાવર સપ્લાય મેચિંગ અપૂરતા હોય, તો તે અસમાન લક્ષ્ય ધોવાણ, અસામાન્ય સ્રાવ, ફિલ્મ તણાવમાં વધારો, આર્સિંગ અને કણો ખામીઓનું કારણ બની શકે છે.

કેથોડિક આર્ક આયન પ્લેટિંગ સિસ્ટમ્સ માટે, આર્ક સ્પોટ મોશન કંટ્રોલ, મેક્રોપાર્ટિકલ ફિલ્ટરેશન, આયનીકરણ દર અને સબસ્ટ્રેટ બાયસ મેચિંગ સીધા કોટિંગ ઘનતા, સપાટીની ખરબચડી અને વસ્ત્રો પ્રતિકાર નક્કી કરે છે.

તેથી, સાધનોના અપગ્રેડિંગમાં ફક્ત મહત્તમ શક્તિ પર ધ્યાન કેન્દ્રિત કરવું જોઈએ નહીં. તેમાં બેચ ઉત્પાદન દરમિયાન ડિસ્ચાર્જ સ્થિરતા, પ્લાઝ્મા વિતરણ એકરૂપતા, લક્ષ્ય ઉપયોગ દર અને પ્રક્રિયા પુનરાવર્તિતતાનું પણ મૂલ્યાંકન કરવું જોઈએ.

3. ફિક્સર અને વર્કપીસ મોશન સિસ્ટમ્સ સીધી રીતે ફિલ્મની જાડાઈ એકરૂપતા નક્કી કરે છે

ફિક્સ્ચર સિસ્ટમ એ કોટિંગ સાધનોના અપગ્રેડના સૌથી સામાન્ય રીતે ઓછો અંદાજિત ભાગોમાંનો એક છે. ઘણા ઉત્પાદકો ચેમ્બર, લક્ષ્યો અને પાવર સપ્લાય પર વધુ ધ્યાન આપે છે, જ્યારે લોડિંગ પદ્ધતિઓ, પરિભ્રમણ પદ્ધતિઓ, ગ્રહોના ફિક્સ્ચર અને શિલ્ડિંગ ડિઝાઇનની ફિલ્મ એકરૂપતા પરની અસરને અવગણે છે.

વાસ્તવિક ઉત્પાદનમાં, ફિલ્મની જાડાઈની એકરૂપતા ફક્ત ડિપોઝિશન સ્ત્રોત પર જ નહીં, પણ વર્કપીસ અને કોટિંગ સ્ત્રોત વચ્ચેના અવકાશી સંબંધ પર પણ આધાર રાખે છે. ઓટોમોટિવ આંતરિક ભાગો, ઓપ્ટિકલ ગ્લાસ, સિરામિક સબસ્ટ્રેટ્સ, માઇક્રો ડ્રીલ્સ, કટીંગ ટૂલ્સ, પ્લાસ્ટિક સુશોભન ભાગો અને અન્ય ઉત્પાદનો માટે, વર્કપીસ ભૂમિતિ, કદ, ક્લેમ્પિંગ એંગલ અને પરિભ્રમણ માર્ગ નોંધપાત્ર રીતે બદલાય છે.

જો ફિક્સ્ચર ડિઝાઇન ગેરવાજબી હોય, તો ઉચ્ચ-રૂપરેખાંકન કોટિંગ સિસ્ટમ પણ વધુ પડતી સ્થાનિક ફિલ્મ જાડાઈ, અપૂરતી ધાર કવરેજ, સ્પષ્ટ પડછાયા અસરો અથવા નબળી બેચ-ટુ-બેચ સુસંગતતા પેદા કરી શકે છે.

ખાસ કરીને મોટા-ક્ષેત્રના ઓપ્ટિકલ કોટિંગ, જટિલ ત્રિ-પરિમાણીય ઘટક કોટિંગ અને સૂક્ષ્મ-ચોકસાઇ વર્કપીસ કોટિંગમાં, ફિક્સ્ચર ડિઝાઇન હવે ફક્ત સહાયક માળખું નથી. તે પ્રક્રિયા સિસ્ટમનો એક મહત્વપૂર્ણ ભાગ બની ગયું છે. સાધનોના અપગ્રેડિંગ દરમિયાન, ફિક્સ્ચર સિસ્ટમને કોટિંગ પ્રક્રિયા સાથે વિકસાવવામાં આવવી જોઈએ, સાધન પૂર્ણ થયા પછી તેને અનુકૂલિત કરવાને બદલે.

4. તાપમાન નિયંત્રણ અને થર્મલ લોડ મેનેજમેન્ટ સંલગ્નતા અને ફિલ્મ તણાવને અસર કરે છે

હાઇ-પાવર સ્પટરિંગ, ઇલેક્ટ્રોન બીમ બાષ્પીભવન, CVD અને PECVD પ્રક્રિયાઓમાં, થર્મલ લોડ મેનેજમેન્ટ એ કોટિંગ કામગીરીને અસર કરતું એક મહત્વપૂર્ણ પરિબળ છે. ઘણી કોટિંગ ખામીઓ ડિપોઝિશન સ્ત્રોતમાંથી જ ઉદ્ભવતી નથી, પરંતુ સબસ્ટ્રેટ તાપમાનમાં વધઘટ, અસમાન થર્મલ ક્ષેત્ર વિતરણ અથવા અપૂરતી ઠંડક કાર્યક્ષમતામાંથી ઉદ્ભવે છે.

સબસ્ટ્રેટ તાપમાન ફિલ્મ સ્ફટિકીયતા, આંતરિક તાણ, સંલગ્નતા અને ઘનતાને સીધી અસર કરે છે. પ્લાસ્ટિકના ભાગો, લવચીક ફિલ્મો અને ઓટોમોટિવ આંતરિક ઘટકો જેવા ગરમી-સંવેદનશીલ સબસ્ટ્રેટ માટે, વધુ પડતું તાપમાન વિકૃતિ, આઉટગેસિંગ, ફિલ્મ ક્રેકીંગ અથવા નબળી સંલગ્નતાનું કારણ બની શકે છે. સખત કોટિંગ્સ, ઓપ્ટિકલ ફિલ્મો અને કાર્યાત્મક ફિલ્મો માટે, અપૂરતું તાપમાન ફિલ્મની રચના અને લાંબા ગાળાની કામગીરી સ્થિરતાને અસર કરી શકે છે.

તેથી, સાધનોના અપગ્રેડિંગ દરમિયાન, કૂલિંગ વોટર સર્કિટ, ટાર્ગેટ કૂલિંગ કાર્યક્ષમતા, ચેમ્બર થર્મલ બેલેન્સ, સબસ્ટ્રેટ હીટિંગ સિસ્ટમ અને તાપમાન દેખરેખની ચોકસાઈનું મૂલ્યાંકન કરવું જરૂરી છે. ફક્ત સ્થિર થર્મલ ક્ષેત્ર સાથે જ કોટિંગ કામગીરી સતત પુનઃઉત્પાદિત કરી શકાય છે.

૫. પ્રક્રિયા નિયંત્રણ પ્રણાલીઓ ઓટોમેશન કરતાં વધુ છે

સાધનોના અપગ્રેડિંગમાં ઓટોમેશન એક સામાન્ય જરૂરિયાત છે. જોકે, ખરેખર મૂલ્યવાન ઓટોમેશન ફક્ત મેન્યુઅલ ઓપરેશનને બદલે નથી. તે ચોક્કસ પ્રક્રિયા નિયંત્રણ, ડેટા રેકોર્ડિંગ અને પ્રક્રિયા ટ્રેસેબિલિટીને સક્ષમ બનાવશે.

હાઇ-એન્ડ કોટિંગ ઉત્પાદનમાં, ફિલ્મ ગુણવત્તા સામાન્ય રીતે બહુવિધ મુખ્ય પરિમાણો દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે, જેમાં વેક્યુમ સ્તર, ગેસ ફ્લો રેટ, સ્પટરિંગ પાવર, આર્ક સોર્સ કરંટ, બાયસ વોલ્ટેજ, વોલ્ટેજ વેવફોર્મ, તાપમાન, ડિપોઝિશન સમય, વર્કપીસ રોટેશન સ્પીડ અને ફિલ્મ જાડાઈ મોનિટરિંગ ડેટાનો સમાવેશ થાય છે. આમાંના કોઈપણ પરિમાણોમાં વધઘટ અંતિમ ઉત્પાદન પ્રદર્શનને અસર કરી શકે છે.

તેથી, કંટ્રોલ સિસ્ટમને અપગ્રેડ કરતી વખતે, MFC ગેસ ફ્લો કંટ્રોલ, ક્લોઝ્ડ-લૂપ પ્રેશર કંટ્રોલ, ફિલ્મ જાડાઈ મોનિટરિંગ, રેસીપી મેનેજમેન્ટ, અસામાન્ય એલાર્મ ફંક્શન્સ, ડેટા એક્વિઝિશન અને MES સિસ્ટમ ઇન્ટિગ્રેશન પર ધ્યાન આપવું જોઈએ. ખાસ કરીને સતત કોટિંગ પ્રોડક્શન લાઇન અને મોટા પાયે માસ-પ્રોડક્શન સિસ્ટમ્સમાં, ડેટા ટ્રેસેબિલિટી ગુણવત્તા વ્યવસ્થાપન માટે એક મહત્વપૂર્ણ પાયો બની ગઈ છે.

6. પ્રક્રિયા વિન્ડો માન્યતા એ સાધન પરિમાણો કરતાં વધુ મહત્વપૂર્ણ છે

સાધનોના અપગ્રેડિંગનો અંતિમ હેતુ મોટા પાયે ઉત્પાદન છે, માત્ર નમૂના માન્યતા જ નહીં. ઘણા અપગ્રેડ પ્રોજેક્ટ્સ ટ્રાયલ તબક્કા દરમિયાન આદર્શ કોટિંગ્સ ઉત્પન્ન કરી શકે છે, પરંતુ બેચ ઉત્પાદનમાં પ્રવેશ્યા પછી, ફિલ્મ જાડાઈ ડ્રિફ્ટ, રંગ ભિન્નતા, સંલગ્નતા વધઘટ અથવા ઉપજ નુકશાન જેવી સમસ્યાઓ આવી શકે છે. મૂળભૂત કારણ સંપૂર્ણ પ્રક્રિયા વિન્ડો માન્યતાનો અભાવ છે.

પરિપક્વ સાધનોના અપગ્રેડમાં સામગ્રી સુસંગતતા મૂલ્યાંકન, લક્ષ્ય જીવનકાળ મૂલ્યાંકન, ચેમ્બર સફાઈ ચક્ર ચકાસણી, લોડિંગ ક્ષમતા વિવિધતા પરીક્ષણ, સતત કામગીરી સ્થિરતા મૂલ્યાંકન, કોટિંગ પ્રદર્શન પરીક્ષણ અને બેચ-ટુ-બેચ પુનરાવર્તિતતા ચકાસણીનો સમાવેશ થવો જોઈએ. જ્યારે સાધનો વિવિધ બેચ, વિવિધ લોડિંગ પરિસ્થિતિઓ અને લાંબા ગાળાના સંચાલન હેઠળ સ્થિર રહી શકે ત્યારે જ અપગ્રેડ ખરેખર મોટા પાયે ઉત્પાદન જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરી શકે છે.

નિષ્કર્ષ

વેક્યુમ કોટિંગ સાધનોનું અપગ્રેડિંગ ફક્ત ઉચ્ચ રૂપરેખાંકનો મેળવવા વિશે નથી. તે કોટિંગ કામગીરી, પ્રક્રિયા સ્થિરતા અને મોટા પાયે ઉત્પાદન ઉપજ પર કેન્દ્રિત એક વ્યવસ્થિત ઑપ્ટિમાઇઝેશન પ્રક્રિયા છે. વેક્યુમ સિસ્ટમ ડિઝાઇન, પ્લાઝ્મા સ્થિરતા, ફિક્સ્ચર ગતિ, થર્મલ મેનેજમેન્ટ, ઓટોમેશન નિયંત્રણ અને પ્રક્રિયા વિન્ડો માન્યતા એ બધા મુખ્ય તકનીકી પરિબળો છે જે અપગ્રેડની સફળતા નક્કી કરે છે.

ઉત્પાદકો માટે, ખરેખર મૂલ્યવાન કોટિંગ સાધનોના અપગ્રેડથી માત્ર ઉત્પાદન ક્ષમતામાં વધારો થવો જોઈએ નહીં, પરંતુ ફિલ્મની સુસંગતતામાં પણ સુધારો થવો જોઈએ, ખામી દર ઘટાડવો જોઈએ, કમિશનિંગ ચક્ર ટૂંકા કરવા જોઈએ અને લાંબા ગાળાની પ્રક્રિયા નિયંત્રણક્ષમતા વધારવી જોઈએ. અપગ્રેડ યોજનામાં આ વારંવાર અવગણવામાં આવતી તકનીકી વિગતોનો સમાવેશ કરીને જ સાધનોના અપગ્રેડિંગને મજબૂત ઉત્પાદન સ્પર્ધાત્મકતા અને ઉચ્ચ ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતામાં પરિવર્તિત કરી શકાય છે.

-આ લેખ પ્રકાશિત થયો હતોવેક્યુમ કોટિંગ સાધનો ઉત્પાદકઝેન્હુઆ વેક્યુમ


પોસ્ટ સમય: એપ્રિલ-૦૯-૨૦૨૬