Nzira dzeUinjiniya dzeKushanda Kwakanyanya uye Kugadzikana kweMaitiro
In maitiro ekugadzira magnetron,Mwero wekushandiswa kwechinangwa chiratidzo chakakosha chinokanganisa zvakananga mutengo wekugadzira, kushanda zvakanaka kwemidziyo, uye kuchengetedzeka kwemaitiro.
Kushandiswa zvishoma kwechinangwa hakungowedzeri marara chete asiwo kunotungamira mukutsiviwa kwechinangwa kakawanda, mamiriro ekuisa zvinhu asina kugadzikana, uye nguva yakawanda yekushanda.
Kubva pamaonero ekugadzira zvinhu mumaindasitiri, kuvandudza kushandiswa kwezvinhu zvinotarisirwa hakusi kugadzirisa zvinhu zvine parameter imwe chete, asi kugadzirisa hurongwa hwehurongwa hunosanganisira dhizaini yemagineti, geometry yezvinotarisirwa, gadziriro yemagetsi, uye kutonga kwemaitiro.
Chinyorwa chino chinokurukura nzira dzinoshanda dzeinjiniya dzekuvandudza mashandisirwo echinangwa mumasisitimu e magnetron sputtering.
1. Kunzwisisa Kushandiswa Kwakanangana muMagnetron Sputtering
Kushandiswa kwechinangwa kunoreva huwandu hwezvinhu zvakashandiswa zvinosviba uye zvakaiswa panzvimbo yacho zvichienzaniswa nehuwandu hwese hwechinhu chinoshandiswa.
Mukushandiswa kwemagnetron nenzira dzemazuva ese, kukanganiswa kwevhu kunowanzo sangana munzvimbo yakamanikana yemujaho, zvichikonzera: Kukanganiswa kwevhu kusina kuenzana; Nzvimbo dzakakura dzisina kushandiswa; Kutsiviwa kwevhu nguva isati yakwana pasinei nechinhu chasara. Kukanganiswa uku kunoita kuti magnetic field optimization ive chinhu chikuru chekuvandudza kushandiswa.
2. Kugadzira Magnetic Field: Chinhu Chinokosha
2.1 Kugadzirisa Kuparadzirwa Kwemagineti
Simba remagineti rinoona kuvharirwa kweplasma uye kugoverwa kwemaion bombardment panzvimbo yakanangwa.
Nekugadzirisa: Simba remagineti uye polarity; Nzvimbo yemagineti uye geometry; Magnetic field gradient pamusoro penzvimbo yakatarwa
Zvinokwanisika: Kuwedzera nzvimbo yekumhanya yekukura kwevhu; Kuderedza kuwanda kwevhu munzvimbo; Kuwana kushandiswa kwakafanana; Magadzirirwo epamusoro emagnetron anoshandisa magadzirirwo esimba remagineti anoshanduka kana asina kuenzana kuti awedzere kufukidzwa kweplasma kupfuura nzvimbo yekumhanya yemazuva ano.
2.2 Masisitimu eMagineti Anotenderera uye Anofamba
Kushandisa magungano emagineti anotenderera kana kufamba kweminda yemagineti kunobvumira:
Kugoverwazve kwenzvimbo dzinokanganiswa nevhu nguva dzose
Kudzivirira nzira dzakagadzika dzekukukurwa kwevhu
Kuvandudzika kukuru mukushandiswa kwezvinangwa zvose
Maitiro aya anoshandiswa zvakanyanya mumaindasitiri makuru anoburitsa mvura yakawanda munzvimbo dzakakura.
3. Kugadzirisa Magadzirirwo Ezvinhu Nechinangwa Chekuita Nekugadzira Zvivakwa
3.1 Kuwedzera Kukobvu Kwechinangwa Chinobudirira
Nekugadzira zvinangwa zvine: Mapurofayiro eukobvu hwakagadziriswa; Nzvimbo dzakasimbiswa dzekukukurwa kwevhu; Kubatanidzwa kweplate yekumashure kwakagadzirirwa maitiro ekukukurwa kwevhu
Vagadziri vanogona kuwedzera hupenyu hwechinhu chavanoda kushandisa pasina kukanganisa kugadzikana kwekupisa kana kuvimbika kwekubatana.
3.2 Zvinangwa zveCylindrical uye zvinotenderera
Zvichienzaniswa nezvinangwa zvakarongwa, zvinangwa zvecylindrical zvinotenderera zvinopa:
Kukukurwa kwevhu kwakafanana pamusoro pe360°
Mwero wekushandiswa kwezvinangwa unodarika 80–90%
Kugadziriswa kwekupisa kwakavandudzwa nekuda kwekupararira kwekupisa kunotenderera
Zvinangwa izvi zvinonyanya kukodzera mitsetse yekugadzira inoenderera mberi uye kushandiswa kwekuputira munzvimbo huru.
4. Kugadziriswa kweMagetsi uye Kudzora Kubuda Kwemagetsi
4.1 Kugadzirisa Kuwanda Kwesimba
Kuwanda kwesimba remunzvimbo imwe chete kunokurumidza kukukura kwenzvimbo dzemujaho.
Ne: Kugadzirisa kugoverwa kwesimba remagetsi; Kudzivirira nzvimbo dzinoburitsa zvinhu zvakawanda; Kusashanda zvakanaka kwechinhu chinogona kuitwa kuti chive chakafanana, zvichiita kuti huwandu hwechinhu chinoshandiswa huve nani.
4.2 Simba remagetsi rinoshandisa simba reDC neMid-Frequency
Kushandisa magetsi emagetsi eDC kana mid-frequency (MF) kunobatsira: Kuderedza zviitiko zve arcing; Kudzikamisa kupararira kweplasma; Kuchengetedza masputter akafanana pamusoro penzvimbo yaunoda
Mamiriro ekubuda kwemvura akagadzikana anoshandura zvakananga kuita mapurofayiri ekukura kwevhu anogoneka.
5. Maitiro Ekugadzirisa uye Kutarisira Gasi
5.1 Kudzora Kumanikidzwa Kwekushanda
Zvinokanganisa kumanikidzwa kwekushanda: Simba reIon; Maitiro ekupararira kweplasma; Kufanana kwemapombi; Mahwindo ekumanikidzwa akagadziridzwa anobatsira kudzivirira kukanganiswa kwakanyanya ukuwo achichengetedza kushanda zvakanaka kwekuisa mapombi.
5.2 Kufanana kweKuyerera kweGasi Rinopindura
Mukuita kwe reactive sputtering processes, kugoverwa kwegasi kusina kuenzana kunogona kukonzera:
Kuchetura chepfu munzvimbo dziri pedyo
Mwero wekukukurwa kwevhu usingafanani
Kudzora kuyerera kwegasi nemazvo uye dhizaini yekamuri zvakakosha kuti pave nekushandiswa kwakaringana kwegasi.
6. Kubatanidzwa Kwemidziyo Yepamusoro uye Kugadzikana Kwenguva Refu
Kuvandudzwa kwechokwadi mukushandiswa kwezvinangwa kunoda kubatanidzwa kwemidziyo, kusanganisira:
Masisitimu ekutonhodza akasimba kudzivirira kukanganiswa kwekupisa
Zvivako zvekuisa chinangwa zvine simba guru
Magadzirirwo emagineti nemagetsi anodzokororwa
Kana dhizaini yemagineti, kuendeswa kwesimba remagetsi, uye manejimendi yekupisa zvanyatsobatanidzwa ndipo chete panogona kushandiswa zvakanyanya uye kugadzikana kwenguva refu kwemaitiro.
7. Mhedziso: Kushandiswa Kwakanangana Ndiwo Mugumisiro Weinjiniya Yesisitimu
Mukushandiswa kwemagnetron sputtering, kushandiswa kwechinangwa hakugone kugadziriswa nekuchinja kamwe chete.
Izvi zvinokonzerwa ne: Magnetic field engineering; Target structural design; Power supply optimization; Process parameter control
Kune vagadziri vari kutsvaga mutengo wakaderera wekuvhara, nguva yakawanda yekushanda, uye kugadzirwa kwakasimba kwehuwandu, kuvandudza kushandiswa kwezvinangwa kunofanirwa kutorwa sechinangwa chikuru chekugadzira michina uye maitiro, kwete sechimwe chinhu chinobatsira.
–Chinyorwa ichi chakabudiswa namidziyo yekunamira ye vacuum mugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Ndira-05-2026