ຍິນດີຕ້ອນຮັບສູ່ບໍລິສັດ Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
ປ້າຍໂຄສະນາດ່ຽວ

ວິທີການປັບປຸງການນໍາໃຊ້ເປົ້າຫມາຍໃນ Magnetron Sputtering

ທີ່ມາຂອງບົດຄວາມ: ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua
ອ່ານ: 10
ເຜີຍແຜ່: 26-01-05

ວິທີການວິສະວະກຳເພື່ອປະສິດທິພາບທີ່ສູງຂຶ້ນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ

In ຂະບວນການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ,ອັດຕາການນຳໃຊ້ເປົ້າໝາຍແມ່ນຕົວຊີ້ວັດທີ່ສຳຄັນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຕົ້ນທຶນການຜະລິດ, ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ, ແລະ ຄວາມຍືນຍົງຂອງຂະບວນການ.
ການນໍາໃຊ້ເປົ້າໝາຍຕໍ່າບໍ່ພຽງແຕ່ເພີ່ມສິ່ງເສດເຫຼືອວັດສະດຸເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງນໍາໄປສູ່ການທົດແທນເປົ້າໝາຍເລື້ອຍໆ, ສະພາບການວາງຊັ້ນດິນທີ່ບໍ່ໝັ້ນຄົງ, ແລະ ເວລາຢຸດເຮັດວຽກທີ່ສູງຂຶ້ນ.

ຈາກທັດສະນະຂອງການຜະລິດອຸດສາຫະກໍາ, ການປັບປຸງການນໍາໃຊ້ເປົ້າຫມາຍບໍ່ແມ່ນການປັບຕົວພາລາມິເຕີດຽວ, ແຕ່ເປັນການເພີ່ມປະສິດທິພາບໃນລະດັບລະບົບທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການອອກແບບສະໜາມແມ່ເຫຼັກ, ຮູບຮ່າງຂອງເປົ້າຫມາຍ, ການຕັ້ງຄ່າການສະໜອງພະລັງງານ, ແລະການຄວບຄຸມຂະບວນການ.

ບົດຄວາມນີ້ສົນທະນາກ່ຽວກັບວິທີການວິສະວະກຳຕົວຈິງເພື່ອປັບປຸງການນຳໃຊ້ເປົ້າໝາຍໃນລະບົບການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ.

1. ເຂົ້າໃຈການນຳໃຊ້ເປົ້າໝາຍໃນການສະເປຣດເຕີຣິງແມກເນຕຣອນ

ການນໍາໃຊ້ເປົ້າໝາຍໝາຍເຖິງອັດຕາສ່ວນຂອງວັດສະດຸເປົ້າໝາຍທີ່ຖືກສີດພົ່ນ ແລະ ຝາກໄວ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບທຽບກັບປະລິມານເປົ້າໝາຍທີ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້ທັງໝົດ.

ໃນການສະເປຣດແມ່ເຫຼັກແບບຮາບພຽງແບບທຳມະດາ, ການກັດເຊາະມັກຈະສຸມຢູ່ໃນພື້ນທີ່ສະໜາມແຂ່ງທີ່ແຄບ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້: ການກັດເຊາະເປົ້າໝາຍບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ; ພື້ນທີ່ເປົ້າໝາຍທີ່ບໍ່ໄດ້ໃຊ້ຂະໜາດໃຫຍ່; ການທົດແທນເປົ້າໝາຍກ່ອນໄວອັນຄວນເຖິງວ່າຈະມີວັດສະດຸທີ່ຍັງເຫຼືອຢູ່. ຮູບແບບການກັດເຊາະໂດຍທຳມະຊາດນີ້ເຮັດໃຫ້ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງສະໜາມແມ່ເຫຼັກເປັນຕົວກະຕຸ້ນຫຼັກໃນການປັບປຸງການນຳໃຊ້.

2. ການອອກແບບສະໜາມແມ່ເຫຼັກ: ປັດໄຈຫຼັກ
2.1 ການເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຈກຢາຍສະໜາມແມ່ເຫຼັກ

ສະໜາມແມ່ເຫຼັກກຳນົດການກັກຂັງຂອງ plasma ແລະ ການແຈກຢາຍການຖິ້ມລະເບີດຂອງໄອອອນຢູ່ເທິງໜ້າດິນເປົ້າໝາຍ.

ໂດຍການເພີ່ມປະສິດທິພາບ: ຄວາມແຮງ ແລະ ຂົ້ວແມ່ເຫຼັກ; ໄລຍະຫ່າງ ແລະ ຮູບຮ່າງຂອງແມ່ເຫຼັກ; ການປ່ຽນແປງຂອງສະໜາມແມ່ເຫຼັກທົ່ວໜ້າດິນເປົ້າໝາຍ

ມັນເປັນໄປໄດ້ທີ່ຈະ: ຂະຫຍາຍເສັ້ນທາງແຂ່ງມ້າທີ່ມີການກັດເຊາະ; ຫຼຸດຜ່ອນການກັດເຊາະເກີນໄປໃນທ້ອງຖິ່ນ; ບັນລຸການບໍລິໂພກເປົ້າໝາຍທີ່ເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນ; ການອອກແບບແມກນີຕຣອນທີ່ກ້າວໜ້າໃຊ້ການຕັ້ງຄ່າສະໜາມແມ່ເຫຼັກແບບໄດນາມິກ ຫຼື ບໍ່ສົມດຸນເພື່ອຂະຫຍາຍການຄອບຄຸມຂອງພລາສມານອກເໜືອໄປຈາກເສັ້ນທາງແຂ່ງມ້າແບບດັ້ງເດີມ.

2.2 ລະບົບແມ່ເຫຼັກໝູນວຽນ ແລະ ເຄື່ອນທີ່

ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດການປະກອບແມ່ເຫຼັກໝູນວຽນ ຫຼື ການເຄື່ອນຍ້າຍສະໜາມແມ່ເຫຼັກຊ່ວຍໃຫ້:

ການແຈກຢາຍຄືນໃໝ່ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງເຂດການກັດເຊາະ

ການຫຼີກລ່ຽງຮ່ອງຮອຍການເຊາະເຈື່ອນຄົງທີ່

ການປັບປຸງທີ່ສຳຄັນໃນການນຳໃຊ້ເປົ້າໝາຍໂດຍລວມ

ວິທີການນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນລະບົບອຸດສາຫະກໍາການສີດພົ່ນພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່ ແລະ ລະບົບອຸດສາຫະກໍາທີ່ມີຜົນຜະລິດສູງ.

3. ເລຂາຄະນິດເປົ້າໝາຍ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບໂຄງສ້າງ
3.1 ການເພີ່ມຄວາມໜາຂອງເປົ້າໝາຍທີ່ມີປະສິດທິພາບ

ໂດຍການອອກແບບເປົ້າໝາຍດ້ວຍ: ໂປຣໄຟລ໌ຄວາມໜາທີ່ດີທີ່ສຸດ; ເຂດການກັດເຊາະທີ່ເສີມແຮງ; ການເຊື່ອມໂຍງແຜ່ນຮອງທີ່ປັບຕົວເຂົ້າກັບຮູບແບບການກັດເຊາະ

ຜູ້ຜະລິດສາມາດຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງເປົ້າໝາຍໄດ້ຢ່າງປອດໄພໂດຍບໍ່ມີການທຳລາຍສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ຄວາມສົມບູນຂອງການຍຶດຕິດ.

3.2 ເປົ້າໝາຍຮູບຊົງກະບອກ ແລະ ເປົ້າໝາຍໝຸນໄດ້

ເມື່ອປຽບທຽບກັບເປົ້າໝາຍແບບຮາບພຽງ, ເປົ້າໝາຍຮູບຊົງກະບອກທີ່ສາມາດໝຸນໄດ້ສະເໜີ:

ການກັດເຊາະເກືອບສະໝໍ່າສະເໝີໃນໄລຍະ 360°

ອັດຕາການນຳໃຊ້ເປົ້າໝາຍເກີນ 80–90%

ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີຂຶ້ນຍ້ອນການກະຈາຍຄວາມຮ້ອນແບບໝູນວຽນ

ເປົ້າໝາຍເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນເໝາະສົມໂດຍສະເພາະສຳລັບສາຍການຜະລິດຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ ແລະ ການນຳໃຊ້ການເຄືອບພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່.

4. ການຕັ້ງຄ່າການສະໜອງພະລັງງານ ແລະ ການຄວບຄຸມການປ່ອຍພະລັງງານ
4.1 ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານ

ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານທ້ອງຖິ່ນທີ່ຫຼາຍເກີນໄປເຮັດໃຫ້ການກັດເຊາະຂອງສະໜາມແຂ່ງເລັ່ງຂຶ້ນ.

ໂດຍ: ການເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຈກຢາຍຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພະລັງງານ; ຫຼີກລ່ຽງພາກພື້ນການປ່ອຍທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນເກີນໄປ; ການສວມໃສ່ຂອງເປົ້າໝາຍສາມາດເຮັດໃຫ້ເປັນເອກະພາບຫຼາຍຂຶ້ນ, ປັບປຸງປະລິມານເປົ້າໝາຍທີ່ໃຊ້ໄດ້.

4.2 ການສະໜອງພະລັງງານ DC ແບບກະພິບ ແລະ ຄວາມຖີ່ກາງ

ການໃຊ້ແຫຼ່ງພະລັງງານ DC ແບບກະພິບ ຫຼື ແຫຼ່ງພະລັງງານຄວາມຖີ່ກາງ (MF) ຊ່ວຍໃນການຫຼຸດຜ່ອນເຫດການໄຟຟ້າກະພິບ; ເຮັດໃຫ້ການແຈກຢາຍຂອງ plasma ມີຄວາມໝັ້ນຄົງ; ຮັກສາການກະຈາຍຂອງແສງຢ່າງເປັນເອກະພາບເທິງໜ້າດິນເປົ້າໝາຍ.

ສະພາບການລະບາຍນ້ຳທີ່ໝັ້ນຄົງຈະແປໂດຍກົງໄປສູ່ຮູບແບບການກັດເຊາະທີ່ຄາດເດົາໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນ.

5. ພາລາມິເຕີຂະບວນການ ແລະ ການຄຸ້ມຄອງອາຍແກັສ
5.1 ການຄວບຄຸມຄວາມດັນໃນການເຮັດວຽກ

ອິດທິພົນຂອງຄວາມກົດດັນໃນການໃຊ້ງານ: ພະລັງງານໄອອອນ; ພຶດຕິກຳການແຜ່ກະຈາຍຂອງພລາສມາ; ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການສະເປຣດເຕີ; ໜ້າຕ່າງຄວາມກົດດັນທີ່ດີທີ່ສຸດຊ່ວຍປ້ອງກັນການກັດເຊາະທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນເກີນໄປ ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາປະສິດທິພາບໃນການວາງຊັ້ນ.

5.2 ຄວາມສະເໝີພາບຂອງການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ

ໃນຂະບວນການສີດພົ່ນທີ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ການແຈກຢາຍອາຍແກັສທີ່ບໍ່ສະເໝີພາບສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດ:

ການເປັນພິດເປົ້າໝາຍໃນພື້ນທີ່ທ້ອງຖິ່ນ

ອັດຕາການກັດເຊາະທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ

ການຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ຊັດເຈນ ແລະ ການອອກແບບຫ້ອງແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນຕໍ່ການຮັກສາການບໍລິໂພກອາຍແກັສເປົ້າໝາຍທີ່ສົມດຸນ.

6. ການເຊື່ອມໂຍງລະດັບອຸປະກອນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ

ການປັບປຸງທີ່ແທ້ຈິງໃນການນໍາໃຊ້ເປົ້າໝາຍຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການເຊື່ອມໂຍງລະດັບອຸປະກອນ, ລວມທັງ:

ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ໝັ້ນຄົງເພື່ອປ້ອງກັນການບິດເບືອນຄວາມຮ້ອນ

ໂຄງສ້າງການຕິດຕັ້ງເປົ້າໝາຍທີ່ມີຄວາມແຂງແກ່ນສູງ

ການຕັ້ງຄ່າແມ່ເຫຼັກ ແລະ ໄຟຟ້າທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້

ພຽງແຕ່ເມື່ອການອອກແບບສະໜາມແມ່ເຫຼັກ, ການສົ່ງພະລັງງານ, ແລະ ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນມີຄວາມສອດຄ່ອງກັນດີເທົ່ານັ້ນ ຈຶ່ງຈະສາມາດນຳໃຊ້ພະລັງງານສູງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການໃນໄລຍະຍາວຮ່ວມກັນໄດ້.

7. ສະຫຼຸບ: ການນໍາໃຊ້ເປົ້າໝາຍແມ່ນຜົນໄດ້ຮັບດ້ານວິສະວະກໍາລະບົບ

ໃນການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ການນຳໃຊ້ເປົ້າໝາຍບໍ່ສາມາດແກ້ໄຂໄດ້ດ້ວຍການປັບຕົວພຽງຄັ້ງດຽວ.

ມັນເປັນຜົນມາຈາກ: ວິສະວະກຳສະໜາມແມ່ເຫຼັກ; ການອອກແບບໂຄງສ້າງເປົ້າໝາຍ; ການເພີ່ມປະສິດທິພາບການສະໜອງພະລັງງານ; ການຄວບຄຸມພາລາມິເຕີຂອງຂະບວນການ

ສຳລັບຜູ້ຜະລິດທີ່ຊອກຫາຕົ້ນທຶນຕໍ່ການເຄືອບທີ່ຕ່ຳກວ່າ, ເວລາເຮັດວຽກທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະ ການຜະລິດຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍທີ່ໝັ້ນຄົງ, ການປັບປຸງການນຳໃຊ້ເປົ້າໝາຍຄວນໄດ້ຮັບການປະຕິບັດເປັນຈຸດປະສົງຫຼັກໃນການອອກແບບອຸປະກອນ ແລະ ຂະບວນການ, ແທນທີ່ຈະເປັນຜົນປະໂຫຍດອັນດັບສອງ.

- ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua


ເວລາໂພສ: ມັງກອນ-05-2026