Fomba fiasa ara-injeniera ho an'ny fahombiazana ambony kokoa sy ny fahamarinan'ny dingana
In dingana fandosirana magnetron,Ny tahan'ny fampiasana kendrena dia mari-pamantarana manan-danja izay misy fiantraikany mivantana amin'ny vidin'ny famokarana, ny fahombiazan'ny fitaovana ary ny faharetan'ny dingana.
Ny tsy fampiasana betsaka ny lasibatra dia tsy vitan'ny hoe mampitombo ny fako fa mitarika ho amin'ny fanoloana matetika ny lasibatra, ny tsy fahamarinan'ny fepetra fametrahana azy, ary ny faharetan'ny tsy fiasana ambony kokoa.
Raha jerena amin'ny fomba fijery indostrialy momba ny famokarana, ny fanatsarana ny fampiasana ny lasibatra dia tsy fanitsiana masontsivana tokana, fa fanatsarana amin'ny ambaratongan'ny rafitra izay mahakasika ny famolavolana saha andriamby, ny jeometrian'ny lasibatra, ny firafitry ny famatsiana herinaratra, ary ny fanaraha-maso ny dingana.
Ity lahatsoratra ity dia miresaka momba ny fomba injeniera azo ampiharina hanatsarana ny fampiasana lasibatra amin'ny rafitra magnetron sputtering.
1. Fahatakarana ny fampiasana ny lasibatra amin'ny Magnetron Sputtering
Ny fampiasana ny kendrena dia manondro ny isan-jaton'ny akora kendrena izay voaparitaka sy napetraka tsara raha oharina amin'ny habetsahan'ny kendrena azo ampiasaina rehetra.
Amin'ny fampiasana "planear magnetron sputtering" mahazatra, ny fihotsahan'ny tany dia matetika mifantoka amin'ny faritra tery amin'ny kianja hazakazaka, ka miteraka: Fihotsahan'ny tany tsy mitovy; Faritra lehibe tsy ampiasaina; Fanoloana ny lasibatra aloha loatra na dia mbola misy aza ny akora. Io endriky ny fihotsahan'ny tany io no mahatonga ny fanatsarana ny sehatry ny andriamby ho fitaovana voalohany hanatsarana ny fampiasana.
2. Famolavolana ny Saha Magnetika: Ny Antony Fototra
2.1 Fanatsarana ny Fizarana Saha Magnetika
Ny saha andriamby no mamaritra ny fifehezan'ny plasma sy ny fizarana ny baomba ion eo amin'ny velaran'ny kendrena.
Amin'ny alàlan'ny fanatsarana: Tanjaky ny andriamby sy ny polarité; Elanelana sy jeometrika andriamby; Fiovaovan'ny saha andriamby manerana ny velaran'ny kendrena
Azo atao ny: Manitatra ny kianja hazakazaka amin'ny fihotsahan'ny tany; Mampihena ny fihotsahan'ny tany tafahoatra eo an-toerana; Manatratra ny fanjifana mitovy kokoa amin'ny tanjona kendrena; Ny endrika magnetron mandroso dia mampiasa firafitry ny saha magnetika mavitrika na tsy voalanjalanja mba hanitarana ny fandrakofana plasma mihoatra ny kianja hazakazaka nentim-paharazana.
2.2 Rafitra andriamby mihodina sy mihetsika
Ny fampiharana ireo fivorian'ny andriamby mihodina na ireo saha andriamby mihetsika dia ahafahana:
Fizarana mitohy ny faritra misy ny fahasimbana
Fisorohana ny dian-tongotra mihozongozona
Fihatsarana lehibe eo amin'ny fampiasana ny tanjona amin'ny ankapobeny
Ity fomba fiasa ity dia ampiasaina betsaka amin'ny rafitra indostrialy sputtering ho an'ny velarana midadasika sy ireo rafitra indostrialy manana throughput avo lenta.
3. Jeometrika kendrena sy fanatsarana ny rafitra
3.1 Fampitomboana ny hatevin'ny lasibatra mahomby
Amin'ny alalan'ny famolavolana lasibatra miaraka amin'ny: Hatevina nohatsaraina; Faritra nohamafisina amin'ny fihotsahan'ny tany; Fampidirana takelaka fanohanana mifanaraka amin'ny lamina fihotsahan'ny tany
Afaka manalava soa aman-tsara ny androm-piainan'ny fitaovana kendrena ireo mpanamboatra nefa tsy manimba ny fahamarinan'ny hafanana na ny tsy fivadihan'ny fifikirana.
3.2 Tanjona boribory sy azo ahodina
Raha ampitahaina amin'ny lasibatra fisaka, ny lasibatra boribory mihodina dia manolotra ireto manaraka ireto:
Fihotsahan'ny tany saika mitovy amin'ny 360°
Mihoatra ny 80–90% ny tahan'ny fampiasana kendrena
Fitantanana hafanana nohatsaraina noho ny fihodinan'ny fanaparitahana hafanana
Ireo lasibatra ireo dia tena mety tsara amin'ny famokarana mitohy sy ny fampiharana coating amin'ny velarana midadasika.
4. Fandrindrana ny famatsiana herinaratra sy ny fanaraha-maso ny famoahana herinaratra
4.1 Fanatsarana ny hakitroky ny herinaratra
Ny hakitroky ny herinaratra eo an-toerana loatra dia manafaingana ny fihotsahan'ny kianja hazakazaka.
Amin'ny alalan'ny: Fanatsarana ny fizarana ny hakitroky ny herinaratra; Fisorohana ny faritra fivoahan'ny herinaratra mifantoka loatra; Azo atao mitovy kokoa ny fikikisana kendrena, hanatsarana ny habetsaky ny kendrena azo ampiasaina.
4.2 Famatsiana herinaratra DC sy antonony matetika
Ny fampiasana famatsiana herinaratra DC na antonony matetika (MF) dia manampy amin'ny: Fampihenana ny fisian'ny arcing; Fanamafisana ny fizarana plasma; Fihazonana ny sputtering mitovy amin'ny velaran'ny kendrena
Ny toetry ny fivoahan'ny rano marin-toerana dia midika mivantana amin'ny fihotsahan'ny tany izay azo vinavinaina kokoa.
5. Masontsivana momba ny dingana sy ny fitantanana ny entona
5.1 Fanaraha-maso ny Tsindry Miasa
Ny fiantraikan'ny tsindry miasa: Angovon'ny iôna; Fihetsika miparitaka amin'ny plasma; Fitoviana amin'ny fiparitahana; Ny varavarankely fanerena nohatsaraina dia manampy amin'ny fisorohana ny fihotsahan'ny tany mifantoka loatra sady mitazona ny fahombiazan'ny fametrahana azy.
5.2 Fitoviana amin'ny fikorianan'ny entona mihetsika
Ao anatin'ny fizotran'ny sputtering reactive, ny fizarana entona tsy mitovy dia mety hiteraka:
Fanapoizinana lasibatra any amin'ny faritra eo an-toerana
Tahan'ny fahasimbana tsy mitovy
Ilaina ny fanaraha-maso mazava tsara ny fikorianan'ny entona sy ny famolavolana efitrano fitehirizana mba hihazonana ny fanjifana kendrena voalanjalanja.
6. Fampidirana amin'ny ambaratonga fitaovana sy fitoniana maharitra
Ny tena fanatsarana ny fampiasana ny lasibatra dia mitaky fampidirana fitaovana amin'ny ambaratonga rehetra, anisan'izany:
Rafitra fampangatsiahana marin-toerana mba hisorohana ny fikorontanan'ny hafanana
Rafitra fametrahana lasibatra henjana
Fikirana magnetika sy elektrika azo averina
Rehefa voarindra tsara ny famolavolana ny saha andriamby, ny fizarana herinaratra ary ny fitantanana ny hafanana vao afaka miara-miasa ny fampiasana avo lenta sy ny fahamarinan-toerana maharitra amin'ny dingana.
7. Fehiny: Vokatra avy amin'ny injenieran'ny rafitra ny fampiasana ny lasibatra
Amin'ny magnetron sputtering, ny fampiasana lasibatra dia tsy azo vahana amin'ny fanitsiana tokana.
Vokatry ny: Injeniera amin'ny saha andriamby; Famolavolana rafitra kendrena; Fanatsarana ny famatsiana herinaratra; Fanaraha-maso ny masontsivana amin'ny dingana
Ho an'ireo mpanamboatra izay mikatsaka ny hampihena ny vidin'ny coating, ny faharetan'ny fampiasana azy, ary ny famokarana faobe marin-toerana, ny fanatsarana ny fampiasana azy amin'ny tanjona kendrena dia tokony hoheverina ho tanjona fototra amin'ny famolavolana fitaovana sy fomba fiasa, fa tsy tombony faharoa.
–Navoakan'nyfitaovana fanosotra banga mpanamboatra Zhenhua Vacuum
Fotoana fandefasana: 05 Janoary 2026