Cov Txheej Txheem Tsim Kho Kom Ua Tau Zoo Dua Thiab Kev Ruaj Ntseg ntawm Cov Txheej Txheem
In Cov txheej txheem magnetron sputtering,tus nqi siv lub hom phiaj yog qhov qhia tseem ceeb uas cuam tshuam ncaj qha rau tus nqi tsim khoom, kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv, thiab kev ua haujlwm ruaj khov.
Kev siv lub hom phiaj tsawg tsis yog tsuas yog ua rau cov khoom pov tseg ntau ntxiv xwb tab sis kuj ua rau muaj kev hloov pauv lub hom phiaj ntau zaus, cov xwm txheej tso khoom tsis ruaj khov, thiab lub sijhawm tsis ua haujlwm ntau dua.
Los ntawm kev pom ntawm kev tsim khoom lag luam, kev txhim kho kev siv lub hom phiaj tsis yog kev hloov kho ib qho kev teeb tsa xwb, tab sis kev ua kom zoo dua qub ntawm qib system uas muaj kev tsim lub zog sib nqus, lub hom phiaj geometry, kev teeb tsa lub zog fais fab, thiab kev tswj cov txheej txheem.
Tsab xov xwm no tham txog cov txheej txheem kev tsim kho kom zoo dua qub los txhim kho kev siv lub hom phiaj hauv cov txheej txheem magnetron sputtering.
1. Nkag Siab Txog Kev Siv Lub Hom Phiaj Hauv Magnetron Sputtering
Kev siv lub hom phiaj yog hais txog feem pua ntawm cov khoom siv uas tau txau thiab tso rau hauv lub hom phiaj piv rau tag nrho cov ntim khoom siv tau.
Hauv kev siv tshuab magnetron sputtering ib txwm muaj, kev yaig feem ntau yuav sib sau ua ke hauv thaj chaw sib tw nqaim, ua rau: Kev yaig ntawm lub hom phiaj tsis sib npaug; Thaj chaw loj ntawm lub hom phiaj tsis siv; Hloov lub hom phiaj ua ntej txawm tias muaj cov khoom seem. Qhov kev yaig no ua rau kev kho kom zoo dua ntawm lub zog magnetic yog qhov tseem ceeb rau kev txhim kho kev siv.
2. Tsim Lub Zog Sib Nqus: Lub Hauv Paus Tseem Ceeb
2.1 Kev Txhim Kho Kev Faib Tawm ntawm Lub Zog Sib Nqus
Lub zog sib nqus txiav txim siab qhov kev txwv plasma thiab kev faib tawm ntawm ion bombardment ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj.
Los ntawm kev ua kom zoo dua: Lub zog ntawm lub hlau nplaum thiab polarity; Qhov sib nrug ntawm lub hlau nplaum thiab geometry; Qhov sib nqus ntawm lub teb sib nqus hla qhov chaw ntawm lub hom phiaj
Nws muaj peev xwm ua tau: Ua kom dav qhov kev sib tw khiav dej; Txo qhov chaw tshaj tawm dej; Ua tiav kev siv lub hom phiaj sib xws ntau dua; Cov qauv tsim magnetron siab heev siv cov qauv sib nqus dynamic lossis tsis sib npaug los txuas ntxiv cov kev pab them nqi plasma dhau ntawm qhov kev sib tw khiav ib txwm muaj.
2.2 Cov Tshuab Sib Nqus Tig Thiab Txav Mus Los
Kev siv cov sib dhos sib nqus uas tig tau lossis txav mus los ntawm cov teb sib nqus ua rau:
Kev faib tawm tas mus li ntawm cov cheeb tsam yaig
Kev zam ntawm cov kev tawg ruaj khov
Kev txhim kho tseem ceeb hauv kev siv lub hom phiaj tag nrho
Txoj kev no yog siv dav hauv cov chaw loj sputtering thiab cov tshuab ua haujlwm siab.
3. Lub Hom Phiaj Geometry thiab Kev Txhim Kho Cov Qauv
3.1 Ua kom lub hom phiaj tuab dua
Los ntawm kev tsim cov hom phiaj nrog: Cov qauv tuab zoo tshaj plaws; Cov cheeb tsam tiv thaiv kev puas tsuaj; Kev sib xyaw ua ke ntawm cov phaj thaub qab tau hloov kho rau cov qauv tiv thaiv kev puas tsuaj
Cov chaw tsim khoom tuaj yeem ua kom lub neej ntev dua yam tsis muaj kev cuam tshuam rau kev ruaj khov ntawm thermal lossis kev sib txuas.
3.2 Lub Hom Phiaj Cylindrical thiab Tig Tau
Piv rau cov hom phiaj planar, cov hom phiaj cylindrical uas tig tau muaj:
Kev tawg ze li ntawm 360°
Cov nqi siv ntawm lub hom phiaj tshaj 80–90%
Kev tswj hwm thermal zoo dua vim muaj kev hloov pauv cua sov dissipation
Cov hom phiaj no yog qhov tsim nyog rau cov kab ntau lawm tas mus li thiab cov ntawv thov txheej txheej loj.
4. Kev Teeb tsa Fais Fab thiab Kev Tswj Xyuas Kev Tawm Hluav Taws Xob
4.1 Kev Txhim Kho Qhov Ceev ntawm Lub Hwj Chim
Lub zog hluav taws xob ntau dhau ua rau kev puas tsuaj ntawm txoj kev sib tw ua rau nrawm dua.
Los ntawm: Kev ua kom zoo tshaj plaws ntawm kev faib hluav taws xob; Tsis txhob muaj cov cheeb tsam tso tawm ntau dhau; Kev hnav ntawm lub hom phiaj tuaj yeem ua kom sib xws dua, txhim kho qhov ntim ntawm lub hom phiaj siv tau.
4.2 Cov Khoom Siv Fais Fab DC thiab Nruab Nrab Zaus
Siv cov khoom siv fais fab DC lossis nruab nrab zaus (MF) pab: Txo cov xwm txheej arcing; Tswj kev faib tawm plasma; Tswj kom muaj kev sib txhuam sib npaug ntawm qhov chaw ntawm lub hom phiaj
Cov xwm txheej tso tawm ruaj khov ncaj qha txhais tau tias muaj cov qauv kev yaig uas kwv yees tau zoo dua.
5. Cov Txheej Txheem thiab Kev Tswj Xyuas Roj
5.1 Kev Tswj Xyuas Kev Ua Haujlwm Siab
Kev cuam tshuam ntawm kev ua haujlwm siab: Lub zog Ion; Tus cwj pwm diffusion ntawm Plasma; Kev sib npaug ntawm Sputtering; Cov qhov rai siab zoo tshaj plaws pab tiv thaiv kev yaig ntau dhau thaum tswj kev ua haujlwm zoo.
5.2 Kev Sib Npaug ntawm Cov Pa Roj Reactive
Hauv cov txheej txheem reactive sputtering, kev faib roj tsis sib xws tuaj yeem ua rau:
Kev lom tshuaj lom rau thaj chaw
Cov nqi tawg tsis sib xws
Kev tswj cov roj ntws kom raug thiab kev tsim chav tsev yog qhov tseem ceeb rau kev tswj hwm kev siv roj kom sib npaug.
6. Kev Sib Koom Ua Ke ntawm Cov Khoom Siv thiab Kev Ruaj Ntseg Mus Ntev
Kev txhim kho tiag tiag hauv kev siv lub hom phiaj xav tau kev koom ua ke ntawm cov khoom siv, suav nrog:
Cov tshuab cua txias ruaj khov kom tiv thaiv kev hloov pauv thermal
Cov qauv mounting uas muaj kev ruaj khov siab
Cov qauv sib nqus thiab hluav taws xob rov ua dua
Tsuas yog thaum tsim lub zog sib nqus, kev xa hluav taws xob, thiab kev tswj hwm thermal tau sib koom tes zoo thiaj li siv tau zoo thiab ruaj khov mus sij hawm ntev.
7. Xaus Lus: Kev Siv Lub Hom Phiaj Yog Qhov Tshwm Sim Los Ntawm Kev Tsim Kho System
Hauv magnetron sputtering, kev siv lub hom phiaj tsis tuaj yeem daws tau los ntawm ib qho kev hloov kho.
Nws yog qhov tshwm sim ntawm: Kev tsim kho lub zog sib nqus; Kev tsim qauv lub hom phiaj; Kev kho kom zoo dua ntawm lub zog; Kev tswj cov txheej txheem parameter
Rau cov chaw tsim khoom uas xav tau tus nqi qis dua rau ib txheej, lub sijhawm ua haujlwm siab dua, thiab kev tsim khoom loj ruaj khov, kev txhim kho kev siv lub hom phiaj yuav tsum raug suav hais tias yog lub hom phiaj tseem ceeb ntawm cov khoom siv thiab cov txheej txheem tsim, tsis yog qhov txiaj ntsig thib ob.
– Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawmcov khoom siv nqus tsev txheej Chaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Ib Hlis-05-2026