د لوړ موثریت او پروسې ثبات لپاره د انجینرۍ طریقې
In د مقناطیسي سپټر کولو پروسې,د هدف کارونې کچه یو مهم شاخص دی چې په مستقیم ډول د تولید لګښت، د تجهیزاتو موثریت، او د پروسې دوام اغیزمنوي.
د هدف کم کارول نه یوازې د موادو ضایعات زیاتوي بلکه د هدف د بار بار ځای په ځای کولو، بې ثباته زیرمو شرایطو او د لوړ ځنډ لامل هم کیږي.
د صنعتي تولید له نظره، د هدف کارولو ښه کول د یو واحد پیرامیټر تنظیم نه دی، بلکې د سیسټم په کچه اصلاح کول دي چې د مقناطیسي ساحې ډیزاین، د هدف جیومیټري، د بریښنا رسولو ترتیب، او د پروسې کنټرول پکې شامل دي.
دا مقاله د مقناطیسي سپټرینګ سیسټمونو کې د هدف کارولو ښه کولو لپاره د عملي انجینرۍ میتودونو په اړه بحث کوي.
۱. په میګنیټرون سپټرینګ کې د هدف کارولو پوهیدل
د هدف کارول د هدف موادو سلنه ته اشاره کوي چې په مؤثره توګه توی شوي او زیرمه شوي د ټول کارول کیدونکي هدف حجم سره پرتله کیږي.
په دودیز پلانر میګنیټرون سپټرینګ کې، تخریب معمولا په یوه تنګ ریس ټریک سیمه کې متمرکز کیږي، چې پایله یې دا ده: د هدف غیر مساوي تخریب؛ لوی نه کارول شوي هدف ساحې؛ د پاتې موادو سره سره د وخت دمخه د هدف ځای په ځای کول. د تخریب دا ذاتي پروفایل د مقناطیسي ساحې اصلاح کول د کارونې ښه کولو لپاره لومړنی لیور جوړوي.
۲. د مقناطیسي ساحې ډیزاین: اصلي فکتور
۲.۱ د مقناطیسي ساحې ویش اصلاح کول
مقناطیسي ساحه د پلازما محدودیت او د ایون بمبارۍ ویش د هدف په سطحه ټاکي.
د اصلاح کولو له لارې: د مقناطیس ځواک او قطبیت؛ د مقناطیس فاصله او جیومیټري؛ د هدف په سطحه د مقناطیسي ساحې تدریجي
دا ممکنه ده چې: د تخریب د ځغاستې لاره پراخه کړئ؛ د ځایی ډیر تخریب کم کړئ؛ د هدف یوشان مصرف ترلاسه کړئ؛ پرمختللي مقناطیسي ډیزاینونه د دودیز ځغاستې لارې هاخوا د پلازما پوښښ پراخولو لپاره متحرک یا غیر متوازن مقناطیسي ساحې ترتیبونه کاروي.
۲.۲ د مقناطیس څرخیدونکي او خوځونکي سیسټمونه
د څرخیدونکي مقناطیسي غونډو پلي کول یا د مقناطیسي ساحو حرکت کول اجازه ورکوي:
د تخریب زونونو دوامداره بیا ویش
د ثابت تخریب د لارو څخه مخنیوی
د هدف په ټولیزه ګټه اخیستنه کې د پام وړ پرمختګ
دا طریقه په پراخه کچه د لویو ساحو د تویولو او لوړ تولید صنعتي سیسټمونو کې کارول کیږي.
۳. د هدف جیومیټري او ساختماني اصلاح
۳.۱ د هدف د اغیزمن ضخامت زیاتول
د اهدافو ډیزاین کولو سره: د ضخامت غوره شوي پروفایلونه؛ د تخریب پیاوړي زونونه؛ د بیکینګ پلیټ ادغام د تخریب نمونو سره تطابق شوی
تولیدونکي کولی شي د تودوخې ثبات یا د تړلو بشپړتیا سره د موافقت پرته د هدف ژوند په خوندي ډول وغځوي.
۳.۲ سلنډر او څرخیدونکي هدفونه
د پلانر هدفونو په پرتله، د څرخېدو وړ سلنډر هدفونه وړاندې کوي:
د ۳۶۰ درجو په شاوخوا کې نږدې یونیفورم تخریب
د هدف کارولو کچه له ۸۰-۹۰٪ څخه زیاته ده
د تودوخې د څرخیدونکي ضایع کیدو له امله د تودوخې مدیریت ښه شوی
دا هدفونه په ځانګړي ډول د دوامداره تولید لینونو او د لوی ساحې کوټینګ غوښتنلیکونو لپاره مناسب دي.
۴. د بریښنا رسولو ترتیب او د خارجیدو کنټرول
۴.۱ د بریښنا کثافت اصلاح کول
د بریښنا ډیر محلي کثافت د ریس ټریک تخریب ګړندی کوي.
لخوا: د بریښنا کثافت ویش اصلاح کول؛ د ډیر متمرکز خارجیدونکو سیمو څخه مخنیوی؛ د هدف اغوستل ډیر یونیفورم کیدی شي، د کارولو وړ هدف حجم ښه کوي.
۴.۲ د نبض شوي ډي سي او منځنۍ فریکونسۍ بریښنا رسونې
د نبض شوي DC یا منځنۍ فریکونسۍ (MF) بریښنا رسولو کارول مرسته کوي: د آرک کولو پیښې کموي؛ د پلازما ویش ثبات کوي؛ د هدف سطحې باندې یونیفورم سپټرینګ ساتل.
د خارجېدو مستحکم شرایط په مستقیم ډول د وړاندوینې وړ تخریب پروفایلونو ته ژباړل کیږي.
۵. د پروسې پیرامیټرې او د ګاز مدیریت
۵.۱ د کاري فشار کنټرول
د عملیاتي فشار اغیزې: د ایون انرژي؛ د پلازما خپریدو چلند؛ د سپټر کولو یووالي؛ غوره شوي فشار کړکۍ د زیرمو موثریت ساتلو په وخت کې د ډیر متمرکز تخریب مخنیوي کې مرسته کوي.
۵.۲ د غبرګون وړ ګاز جریان یونیفورمیت
د غبرګوني سپټرینګ پروسو کې، د ګازو غیر مساوي ویش کولی شي لامل شي:
په سیمه ییزو سیمو کې د هدفي مسمومیت درملنه
د غیر یونیفورم تخریب کچه
د ګازو د جریان دقیق کنټرول او د چیمبر ډیزاین د متوازن هدف مصرف ساتلو لپاره اړین دي.
۶. د تجهیزاتو په کچه ادغام او اوږدمهاله ثبات
د هدف په کارولو کې ریښتینې ښه والی د تجهیزاتو په کچه ادغام ته اړتیا لري، په شمول د:
د تودوخې د تحریف مخنیوي لپاره د یخولو مستحکم سیسټمونه
د لوړ کلکوالي هدف نصبولو جوړښتونه
د تکرار وړ مقناطیسي او بریښنایی تشکیلات
یوازې هغه وخت چې د مقناطیسي ساحې ډیزاین، د بریښنا رسولو، او تودوخې مدیریت ښه همغږي وي، کولی شي لوړه ګټه اخیستنه او اوږدمهاله پروسې ثبات یوځای شتون ولري.
۷. پایله: د هدف کارول د سیسټم انجینرۍ پایله ده
په میګنیټرون سپټرینګ کې، د هدف کارول د یو واحد تعدیل له لارې نشي حل کیدی.
دا د دې پایله ده: مقناطیسي ساحې انجینري؛ د هدف جوړښت ډیزاین؛ د بریښنا رسولو اصلاح کول؛ د پروسې پیرامیټر کنټرول
د هغو تولیدونکو لپاره چې د هر کوټینګ ټیټ لګښت، لوړ وخت، او باثباته ډله ایز تولید تعقیبوي، د هدف کارولو ښه کول باید د ثانوي ګټې پرځای د اصلي تجهیزاتو او پروسې ډیزاین هدف په توګه وګڼل شي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ تجهیزات جوړونکی ژنهوا ویکیوم
د پوسټ وخت: جنوري-۰۵-۲۰۲۶