MFA0605

Хатуу бүрхүүлийн элэгдэлд тэсвэртэй, тосолгооны материал, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал болон бусад шинж чанарыг сайжруулах зах зээлийн эрэлт хэрэгцээ хурдацтай өсч байгаа тул катод нуман соронзон шүүлтүүрийн ион бүрэх төхөөрөмж нь онцлох зүйл болжээ. Тоног төхөөрөмж нь хамгийн өргөн хэрэглэгддэг, үр дүнтэй 90 градусын тохой дугуй хэлбэртэй соронзон шүүлтүүр төхөөрөмжийг ашигладаг бөгөөд энэ нь том тоосонцорыг үр дүнтэй арилгаж, катодын нуман ион бүрэх технологийн давуу талыг бүрэн дүүрэн ашиглах боломжийг олгодог. DLC супер хатуу бүрээс бэлтгэх чиглэлээр, ялангуяа өндөр хатуулаг, үрэлтийн бага коэффициент, дулаан дамжуулалт, тусгаарлагч, хэт ягаан туяаг шингээх, цацрагийн эвдрэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй гэх мэт физик, химийн олон шинж чанартай Ta-C бүрээсийг бэлтгэх чиглэлээр давуу тал нь онцгой ач холбогдолтой юм. Ta-C бүрхүүлийн дундаж хатуулаг нь ойролцоогоор 63GPa хүрч чаддаг.
Энэхүү төхөөрөмж нь бичил өрөмдлөг, тээрэмдэх таслагч, цорго, саваа хэлбэртэй зүсэгч, автомашины эд анги, эмнэлгийн хэрэгсэл болон бусад салбарт тохиромжтой Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN зэрэг эрлийз алмаз шиг нүүрстөрөгчийн бүрээсийг хуримтлуулах боломжтой.
Лазер Раман спектрийн туршилтын үр дүн, өндөр хурдны гангийн гадаргуу дээрх Cr шилжилтийн давхаргын Раман спектр:

Загвар 20210122, Раманы туршилтын үр дүнгийн Гауссын тохируулга (ID/IG=0.224, sp3 агуулга хангалттай өндөр):

Нано доголын хэрэгслийн хатуулгийн туршилтын үр дүнгээс үзэхэд 20210122 дээжийн дундаж хатуулаг нь 62.7GPa байна.