MFA0605

Sparčiai augant rinkos poreikiui gerinti kietųjų dangų atsparumą dilimui, tepimą, atsparumą korozijai ir kitas savybes, katodinio lanko magnetinio filtravimo jonų dengimo įranga tapo pagrindiniu akcentu. Įranga naudoja dažniausiai naudojamą ir efektyviausią 90 laipsnių alkūnės apskrito pjūvio magnetinį filtrą, kuris gali efektyviai pašalinti dideles daleles, siekiant visapusiškai išnaudoti katodinio lanko jonų dengimo technologijos privalumus. Rengiant DLC superkietas dangas, ypač gaminant Ta-C dangas, pasižyminčias puikiomis fizinėmis ir cheminėmis savybėmis, tokiomis kaip didelis kietumas, mažas trinties koeficientas, šilumos laidumas, izoliacija, UV absorbcija, atsparumas radiacijos pažeidimams, atsparumas korozijai ir kt., privalumai yra ypač reikšmingi. Vidutinis Ta-C dangų kietumas gali siekti iki maždaug 63 GPa.
Įranga gali nusodinti hibridines deimanto formos anglies dangas, tokias kaip Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, kurios tinka mikro gręžimui, frezoms, sriegikliams, strypų formos pjaustytuvams, automobilių dalims, medicinos prietaisams ir kitose srityse.
Lazerinio Ramano spektro bandymo rezultatai, Cr pereinamojo sluoksnio Ramano spektras ant greitapjovio plieno paviršiaus:

20210122 pavyzdys, Ramano bandymo rezultatų Gauso aproksimacija (ID/IG = 0,224, sp3 kiekis pakankamai didelis):

Remiantis nanoįspaudimo instrumento kietumo bandymo rezultatais, vidutinis 20210122 mėginio kietumas yra 62,7 GPa: