ແນະນຳ:
ໃນຂົງເຂດເທກໂນໂລຍີການລະເຫີຍຂອງຮູບເງົາບາງໆ, ການລະເຫີຍຂອງ beam ເອເລັກໂຕຣນິກແມ່ນວິທີການທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆເພື່ອຜະລິດຮູບເງົາບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກແລະຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ບໍ່ມີໃຜທຽບເທົ່າເຮັດໃຫ້ມັນເປັນທາງເລືອກທີ່ຫນ້າສົນໃຈສໍາລັບນັກຄົ້ນຄວ້າແລະຜູ້ຜະລິດ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບເຕັກນິກໃດກໍ່ຕາມ, ການລະເຫີຍຂອງ e-beam ມີຂໍ້ຈໍາກັດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງການລະເຫີຍ beam ເອເລັກໂຕຣນິກ:
1. ອັດຕາການຕົກຄ້າງສູງ: ການລະເຫີຍຂອງ E-beam ມີອັດຕາການຕົກຄ້າງທີ່ດີເລີດເມື່ອທຽບກັບວິທີການອື່ນໆເຊັ່ນ: ການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນຫຼື sputter evaporation. ນີ້ເຮັດໃຫ້ການຜະລິດຮູບເງົາບາງໆມີປະສິດທິພາບ, ປະຫຍັດເວລາແລະຊັບພະຍາກອນ.
2. ປັບປຸງຄຸນນະພາບຟິມ: ການລະເຫີຍຂອງ E-beam ສາມາດຜະລິດຮູບເງົາທີ່ມີການຍຶດຕິດແລະຄວາມບໍລິສຸດທີ່ດີເລີດ. ພະລັງງານສູງຂອງ beam ເອເລັກໂຕຣນິກຊ່ວຍເຮັດຄວາມສະອາດພື້ນຜິວຂອງ substrate ຢ່າງລະອຽດ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາທີ່ດີເລີດແລະການປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.
3. ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາ: evaporation beam ເອເລັກໂຕຣນິກສາມາດຮັບຮູ້ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາຝາກ. ລະດັບຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຕ້ອງການຄວາມຫນາຂອງຊັ້ນທີ່ຊັດເຈນ, ເຊັ່ນ: ການເຄືອບ optical.
ຂໍ້ເສຍຂອງການລະເຫີຍຂອງ beam ເອເລັກໂຕຣນິກ:
1. ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງວັດສະດຸຈໍາກັດ: ການລະເຫີຍຂອງ E-beam ບໍ່ເຫມາະສົມກັບວັດສະດຸທັງຫມົດ. ວັດສະດຸບາງຊະນິດ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນຈຸດລະລາຍຕໍ່າ ຫຼືຄວາມກົດດັນຂອງໄອສູງ, ອາດຈະບໍ່ສາມາດທົນກັບຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍລໍາອິເລັກໂທຣນິກ. ນີ້ຈໍາກັດຂອບເຂດຂອງວັດສະດຸທີ່ສາມາດຝາກໄດ້ໂດຍໃຊ້ເຕັກນິກນີ້.
2. ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍອຸປະກອນສູງ: ເມື່ອປຽບທຽບກັບວິທີການ deposition ອື່ນໆ, ອຸປະກອນທີ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການລະເຫີຍ beam ເອເລັກໂຕຣນິກແມ່ນຂ້ອນຂ້າງລາຄາແພງ. ການລົງທຶນເບື້ອງຕົ້ນນີ້ສາມາດສ້າງອຸປະສັກທາງດ້ານການເງິນສໍາລັບການດໍາເນີນການຂະຫນາດນ້ອຍຫຼືສະຖານທີ່ຄົ້ນຄ້ວາທີ່ມີງົບປະມານຈໍາກັດ.
3. ການຕິດຕັ້ງແລະການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ສັບສົນ: ການຕິດຕັ້ງແລະການຮັກສາລະບົບການລະເຫີຍຂອງ e-beam ສາມາດເປັນສິ່ງທ້າທາຍ. ມັນຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີຄວາມຊໍານານແລະຄວາມຊໍານານ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການບໍາລຸງຮັກສາເປັນປົກກະຕິເພື່ອຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ສອດຄ່ອງ. ຄວາມສັບສົນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງເຮັດໃຫ້ມັນຍາກສໍາລັບເຕັກນິກການຝາກຮູບເງົາໃຫມ່ທີ່ບາງໆທີ່ຈະເຂົ້າໃຈ.
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-04-2023