製品説明
本装置は陰極アークイオンコーティング技術を採用し、先進的なIETエッチングシステムを搭載しています。処理後、遷移層を介さずに直接ハードコーティングを施すことができます。同時に、従来のアーク技術を永久磁石と電磁コイルを組み合わせたスキャン技術にアップグレードしました。この技術は、イオンエネルギーを効果的に高め、イオン化率とターゲット利用率を向上させ、アークスポットの移動速度を加速し、ドロップレットの発生を効果的に抑制し、膜の粗さを低減し、膜の摩擦係数を低下させます。特にアルミニウムターゲットの場合、ワークピースの耐用年数を大幅に向上させることができます。最新の軽量3Dフィクスチャーを搭載し、均一性と安定性が向上しています。
この装置は、AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN などの高温超硬質コーティングでコーティングすることができ、金型、切削工具、パンチ、自動車部品、プランジャーなどの製品に広く使用されています。
技術的特徴
1. 強化されたプラズマ、強力な電磁回転走査移動冷陰極、強力な回折、緻密な膜。
2. スパッタリング距離が長く、エネルギーが高く、接着性が良好です。
3. メンテナンスのためにシステムを停止することなく、アーク放電陽極の距離を調整できます。
4. ターンオーバートラック構造は、冷陰極の交換やメンテナンスに便利です。
5. アークスポットの位置は制御可能で、さまざまな材料に応じてさまざまな磁場モードを調整できます。
コーティング特性の例
| コーティング | 厚さ（うーん） | 硬度（HV） | 最高温度(℃) | 色 | 応用 |
| Ta-C | 1-2.5 | 4000～6000 | 400 | 黒 | グラファイト、炭素繊維、複合材料、アルミニウムおよびアルミニウム合金 |
| TiSiN | 1-3 | 3500 | 900 | ブロンズ | 55-60HRCステンレス鋼の切削、精密仕上げ |
| アルティンC | 1-3 | 2800-3300 | 1100 | 青みがかった灰色 | 低硬度ステンレス鋼の切断、成形金型、スタンピング金型 |
| CrAlN | 1-3 | 3050 | 1100 | グレー | 重切削・スタンピング金型 |
| CrAlSiN | 1-3 | 3520 | 1100 | グレー | 55-60HRCステンレス鋼の切断、精密仕上げ、乾式切断 |
オプションモデル
| HDA0806 | HDA1112 |
| φ850*H600(mm) | φ1100*H1200(mm) |
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