製品説明

機器の利点

この装置は電子ビーム蒸着技術を採用しており、陰極フィラメントから放出された電子が特定のビーム電流に集束されます。ビームは陰極とるつぼ間の電位によって加速され、コーティング材料を溶融・蒸発させます。この方法は高いエネルギー密度を特徴としており、融点が3000℃を超える材料の蒸着も可能です。得られた薄膜層は、高い純度と熱効率を備えています。

本装置は、電子ビーム蒸発源、イオン源、膜厚モニタリングシステム、膜厚補正機構、そして安定した傘型ワーク回転システムを備えています。イオン源はコーティングプロセスを補助し、膜層の密度を高め、屈折率を安定化させ、湿気による波長シフトを防止します。全自動リアルタイム膜厚モニタリングシステムは、プロセスの再現性と安定性を確保します。さらに、本装置は自動供給機能を備えており、オペレーターのスキルへの依存度を低減します。

この装置は、様々な酸化物および金属コーティング材料に適しています。AR（反射防止）コーティング、ロングパスフィルター、ショートパスフィルター、輝度向上フィルム、AS/AF（防汚・防指紋）コーティング、IRCUTフィルター、カラーフィルターシステム、グラデーションフィルムなど、多層精密光学フィルムを成膜できます。携帯電話のガラスカバー、カメラレンズ、眼鏡レンズ、光学レンズ、水泳用ゴーグル、スキー用ゴーグル、PETフィルムシート／複合板、PMMA（ポリメチルメタクリレート）、フォトクロミック磁性フィルム、偽造防止フィルム、化粧品など、幅広い用途に使用されています。