Hauv lub ntiaj teb uas muaj kev nce qib ntawm thev naus laus zis tas li, lub hauv paus ntsiab lus ntawm kev ntxuav plasma tau ua rau muaj kev hloov pauv loj heev. Cov thev naus laus zis ntxuav kev hloov pauv no tau txais kev nyiam thoob plaws hauv kev lag luam rau nws txoj kev ua haujlwm zoo thiab kev ua haujlwm zoo. Niaj hnub no, peb kawm txog cov ntsiab cai tom qab cov tshuaj ntxuav plasma thiab lawv yuav ua li cas ...
Reactive magnetron sputtering txhais tau hais tias cov roj reactive tau muab los ua kom cov tshuaj tiv thaiv nrog cov khoom tawg hauv cov txheej txheem ntawm sputtering los tsim cov yeeb yaj kiab compound. Nws tuaj yeem muab cov roj reactive los ua kom cov tshuaj tiv thaiv nrog lub hom phiaj sputtering tib lub sijhawm, thiab tseem tuaj yeem muab cov roj reactive los ua kom cov tshuaj tiv thaiv nrog ...
Lub tshuab nqus tsev cathode arc ion txheej yog luv ua lub tshuab nqus tsev arc txheej. Yog tias siv ob lossis ntau lub tshuab nqus tsev arc evaporation qhov chaw (hu ua arc qhov chaw), nws hu ua multi arc ion txheej lossis multi arc txheej. Nws yog ib qho thev naus laus zis nqus tsev ion txheej uas siv lub tshuab nqus tsev arc tso tawm rau kev ua kom cov evaporation ...