MFA0605

با رشد سریع تقاضای بازار برای بهبود مقاومت در برابر سایش، روانکاری، مقاومت در برابر خوردگی و سایر خواص پوشش‌های سخت، تجهیزات پوشش یونی فیلتراسیون مغناطیسی قوس کاتدی به یک نقطه برجسته تبدیل شده است. این تجهیزات از رایج‌ترین و مؤثرترین دستگاه فیلتر مغناطیسی با مقطع دایره‌ای ۹۰ درجه‌ای استفاده می‌کنند که می‌تواند ذرات بزرگ را به طور مؤثر حذف کند، به طوری که به مزایای فناوری پوشش یونی قوس کاتدی کاملاً جامه عمل بپوشاند. در زمینه تهیه پوشش‌های فوق سخت DLC، به ویژه در زمینه تهیه پوشش‌های Ta-C با خواص فیزیکی و شیمیایی عالی مانند سختی بالا، ضریب اصطکاک کم، رسانایی حرارتی، عایق بودن، جذب اشعه ماوراء بنفش، مقاومت در برابر آسیب تابشی، مقاومت در برابر خوردگی و غیره، مزایا به ویژه قابل توجه هستند. میانگین سختی پوشش‌های Ta-C می‌تواند تا حدود ۶۳ گیگا پاسکال برسد.
این تجهیزات می‌توانند پوشش‌های کربنی شبه الماس هیبریدی مانند Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN را رسوب دهند که برای حفاری میکرو، فرزکاری، قلاویزکاری، برش‌های میله‌ای شکل، قطعات خودرو، تجهیزات پزشکی و سایر زمینه‌ها مناسب است.
نتایج آزمایش طیف رامان لیزری، طیف رامان لایه گذار Cr روی سطح فولاد پرسرعت:

نمونه 20210122، برازش گاوسی نتایج آزمایش رامان (ID/IG=0.224، محتوای sp3 به اندازه کافی بالا است):

طبق نتایج آزمایش سختی دستگاه نانو ایندنتیشن، میانگین سختی نمونه 20210122 برابر با 62.7 گیگا پاسکال است: