MFA0605

Estaldura gogorren higadura-erresistentzia, lubrifikazioa, korrosio-erresistentzia eta beste propietate batzuk hobetzeko merkatu-eskariaren hazkunde azkarrarekin, arku katodikoaren iragazketa magnetikoko ioien estaldura-ekipoak nabarmendu dira. Ekipamenduak 90 graduko ukondo zirkularreko iragazki magnetikoko gailu erabiliena eta eraginkorrena erabiltzen du, partikula handiak eraginkortasunez kentzen dituena, arku katodikoaren ioien estaldura-teknologiaren abantailak guztiz aprobetxatzeko. DLC estaldura supergogorrak prestatzeko arloan, batez ere Ta-C estaldurak prestatzeko arloan, propietate fisiko eta kimiko bikain askorekin, hala nola gogortasun handia, marruskadura-koefiziente baxua, bero-eroapena, isolamendua, UV xurgapena, erradiazio-kalteen aurkako erresistentzia, korrosio-erresistentzia, etab., abantailak bereziki nabarmenak dira. Ta-C estalduren batez besteko gogortasuna 63GPa ingurura irits daiteke.
Ekipamenduak diamante itxurako karbono estaldura hibridoak jar ditzake, hala nola Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, mikrozulatzaileetarako, fresatzeko makinetarako, hariztaietarako, hagaxka itxurako ebakitzaileetarako, auto piezetarako, gailu medikoetarako eta beste arlo batzuetarako egokiak direnak.
Laser Raman espektroaren proben emaitzak, altzairu azkarreko gainazaleko Cr trantsizio geruzaren Raman espektroa:

20210122 lagina, Raman proben emaitzen doikuntza gaussiarra (ID/IG=0.224, sp3 edukia nahikoa altua da):

Nano indentazio tresnaren gogortasun proben emaitzen arabera, 20210122 laginaren batez besteko gogortasuna 62,7 GPa da: