MFA0605

Kun la rapida kresko de la merkata postulo por plibonigi la eluziĝreziston, lubrikadon, korodreziston kaj aliajn ecojn de malmolaj tegaĵoj, katoda arka magneta filtrado kaj jona tegaĵa ekipaĵo fariĝis elstara. La ekipaĵo uzas la plej ofte uzatan kaj efikan 90-gradan kubutan cirklan sekcan magnetan filtrilon, kiu povas efike forigi grandajn partiklojn, por plene utiligi la avantaĝojn de katoda arka jona tegaĵa teknologio. En la kampo de preparado de DLC supermalmolaj tegaĵoj, precipe en la kampo de preparado de Ta-C tegaĵoj kun multaj bonegaj fizikaj kaj kemiaj ecoj, kiel alta malmoleco, malalta frikcia koeficiento, varmokonduktado, izolado, UV-absorbo, radiada damaĝrezisto, korodrezisto, ktp., la avantaĝoj estas aparte signifaj. La averaĝa malmoleco de Ta-C tegaĵoj povas atingi ĝis ĉirkaŭ 63GPa.
La ekipaĵo povas deponi hibridajn diamant-similajn karbonajn tegaĵojn kiel Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, kiuj taŭgas por mikroborado, frezmaŝinoj, frapetiloj, bastonformaj tranĉiloj, aŭtopartoj, medicinaj aparatoj kaj aliaj kampoj.
La rezultoj de la lasera Raman-spektrotesto, la Raman-spektro de Cr-transira tavolo sur la surfaco de rapidŝtalo:

Specimeno 20210122, Gaŭsa alĝustigo de rezultoj de Raman-testo (ID/IG=0.224, sp3-enhavo estas sufiĉe alta):

Laŭ la rezultoj de la malmoleco-testo de la nano-indenta instrumento, la averaĝa malmoleco de la specimeno 20210122 estas 62.7GPa: