MFA0605

Με την ταχεία αύξηση της ζήτησης της αγοράς για βελτίωση της αντοχής στη φθορά, της λίπανσης, της αντοχής στη διάβρωση και άλλων ιδιοτήτων των σκληρών επιστρώσεων, ο εξοπλισμός επίστρωσης ιόντων με μαγνητικό φιλτράρισμα καθοδικού τόξου έχει γίνει ένα από τα κορυφαία σημεία. Ο εξοπλισμός υιοθετεί την πιο συχνά χρησιμοποιούμενη και αποτελεσματική συσκευή μαγνητικού φίλτρου κυκλικής διατομής 90 μοιρών, η οποία μπορεί να αφαιρέσει αποτελεσματικά τα μεγάλα σωματίδια, έτσι ώστε να αξιοποιηθούν πλήρως τα πλεονεκτήματα της τεχνολογίας επίστρωσης ιόντων καθοδικού τόξου. Στον τομέα της παρασκευής υπερσκληρών επιστρώσεων DLC, ειδικά στον τομέα της παρασκευής επιστρώσεων Ta-C με πολλές εξαιρετικές φυσικές και χημικές ιδιότητες, όπως υψηλή σκληρότητα, χαμηλό συντελεστή τριβής, αγωγιμότητα θερμότητας, μόνωση, απορρόφηση UV, αντοχή σε βλάβες από ακτινοβολία, αντοχή στη διάβρωση κ.λπ., τα πλεονεκτήματα είναι ιδιαίτερα σημαντικά. Η μέση σκληρότητα των επιστρώσεων Ta-C μπορεί να φτάσει έως και περίπου τα 63GPa.
Ο εξοπλισμός μπορεί να εναποθέσει υβριδικές επιστρώσεις άνθρακα τύπου διαμαντιού όπως Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, οι οποίες είναι κατάλληλες για μικρο-τρήσεις, φρέζες, βρύσες, ράβδους κοπής, ανταλλακτικά αυτοκινήτων, ιατρικές συσκευές και άλλους τομείς.
Τα αποτελέσματα της δοκιμής φάσματος Raman με λέιζερ, το φάσμα Raman του μεταβατικού στρώματος Cr στην επιφάνεια του χάλυβα υψηλής ταχύτητας:

Δείγμα 20210122, Γκαουσιανή προσαρμογή των αποτελεσμάτων της δοκιμής Raman (ID/IG=0,224, η περιεκτικότητα σε sp3 είναι αρκετά υψηλή):

Σύμφωνα με τα αποτελέσματα της δοκιμής σκληρότητας του οργάνου Nano indentation, η μέση σκληρότητα του δείγματος 20210122 είναι 62,7GPa: