A. Hohe Sputterrate. Beispielsweise kann die Abscheidungsrate beim Sputtern von SiO2 bis zu 200 nm/min betragen, üblicherweise bis zu 10–100 nm/min. Die Filmbildungsrate ist direkt proportional zur Hochfrequenzleistung. B. Die Haftung zwischen Film und Substrat ist größer als die des Vakuumdampfs.
Produktionslinien für Autolampenfolien sind ein wesentlicher Bestandteil der Automobilindustrie. Diese Produktionslinien sind für die Beschichtung und Herstellung von Autolampenfolien zuständig, die maßgeblich zur Verbesserung der Ästhetik und Funktionalität von Autolampen beitragen. Da die Nachfrage nach hochwertigen...
Magnetronsputtern umfasst hauptsächlich Entladungsplasmatransport, Targetätzen, Dünnschichtabscheidung und andere Prozesse. Das Magnetfeld hat Einfluss auf den Magnetronsputtern-Prozess. Im Magnetronsputtern-System und dem orthogonalen Magnetfeld unterliegen die Elektronen der ...
An das Pumpsystem einer Vakuumbeschichtungsanlage werden folgende Grundanforderungen gestellt: (1) Das Beschichtungsvakuumsystem muss über eine ausreichend große Pumpleistung verfügen, damit nicht nur die aus dem Substrat freigesetzten Gase und verdampften Materialien sowie die Komponenten im Vakuumbehälter schnell abgepumpt werden.
Die Schmuck-PVD-Beschichtungsanlage nutzt das Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD), um Schmuckstücke mit einer dünnen, aber haltbaren Beschichtung zu versehen. Bei diesem Verfahren werden hochreine, feste Metalltargets verwendet, die im Vakuum verdampft werden. Der entstehende Metalldampf wird dann kondensiert...
Einer der Hauptvorteile kleiner, flexibler PVD-Vakuumbeschichtungsanlagen ist ihre Vielseitigkeit. Diese Anlagen sind für eine Vielzahl von Substratgrößen und -formen ausgelegt und eignen sich daher ideal für kleine oder kundenspezifische Fertigungsprozesse. Darüber hinaus überzeugen ihre kompakte Größe und die flexible Konfiguration...
In der sich ständig weiterentwickelnden Fertigungsindustrie spielen Schneidwerkzeuge eine entscheidende Rolle bei der Gestaltung unserer alltäglichen Produkte. Von Präzisionsschnitten in der Luft- und Raumfahrt bis hin zu komplexen Designs im medizinischen Bereich steigt die Nachfrage nach hochwertigen Schneidwerkzeugen stetig. Um dieser Nachfrage gerecht zu werden, …
Wenn die Ablagerung von Membranatomen beginnt, hat der Ionenbeschuss folgende Auswirkungen auf die Membran-Substrat-Grenzfläche. (1) Physikalische Vermischung. Aufgrund der hochenergetischen Ioneninjektion, des Zerstäubens der abgeschiedenen Atome, der Rückstoßinjektion von Oberflächenatomen und des Kaskadenkollisionsphänomens...
Sputtern ist ein Phänomen, bei dem energiereiche Teilchen (meist positive Ionen von Gasen) auf die Oberfläche eines Festkörpers (im Folgenden Targetmaterial genannt) treffen und dadurch Atome (oder Moleküle) auf der Oberfläche des Targetmaterials austreten. Dieses Phänomen wurde 1842 von Grove entdeckt, als...
Eigenschaften der Magnetron-Sputter-Beschichtung (3) Niedrigenergie-Sputtern. Aufgrund der niedrigen Kathodenspannung am Target wird das Plasma durch das Magnetfeld im Raum nahe der Kathode gebunden, wodurch die hochenergetischen geladenen Teilchen an der Substratseite verhindert werden. Die...
Im Vergleich zu anderen Beschichtungstechnologien zeichnet sich die Magnetronsputtern-Beschichtung durch folgende Merkmale aus: Die Arbeitsparameter verfügen über einen großen dynamischen Einstellbereich, die Beschichtungsabscheidungsgeschwindigkeit und -dicke (der Zustand der beschichteten Fläche) lassen sich leicht steuern und es gibt kein Design...
Die ionenstrahlunterstützte Abscheidungstechnologie ist eine Kombination aus Ionenstrahlinjektion und Dampfabscheidungsbeschichtung mit einer Ionenoberflächen-Verbundwerkstoff-Verarbeitungstechnologie. Bei der Oberflächenmodifizierung von ioneninjizierten Materialien, seien es Halbleitermaterialien oder technische Werkstoffe, ist sie von...
In den letzten Jahren wurden im Bereich der Vakuumbeschichtungstechnologie bedeutende Fortschritte und Durchbrüche erzielt. Dies ist nur durch unermüdlichen Einsatz in Experimenten und Forschung möglich. Unter den vielen in diesem Bereich eingesetzten Maschinen sind experimentelle Vakuumbeschichtungsanlagen wichtige Werkzeuge zur Erzielung...
Die CVD-Technologie basiert auf chemischen Reaktionen. Eine Reaktion, bei der die Reaktanten gasförmig und eines der Produkte fest ist, wird üblicherweise als CVD-Reaktion bezeichnet. Daher muss das chemische Reaktionssystem die folgenden drei Bedingungen erfüllen. (1) Bei der Abscheidungstemperatur...
In unserer schnelllebigen Welt sind Brillen zu einem festen Bestandteil unseres Lebens geworden. Diese scheinbar einfachen Accessoires haben sich von der Notwendigkeit zum modischen Statement entwickelt. Viele Menschen sind sich jedoch des komplexen Herstellungsprozesses perfekter Brillengläser nicht bewusst. Dies ist der Grund...