די עקוויפּמענט נעמט אן א ווערטיקאַלע מאַדזשאַלער פּלאַן סטרוקטור און איז אויסגעשטאַט מיט קייפל צוטריט טירן צו דערמעגלעכן זעלבשטענדיקע אינסטאַלאַציע און וישאַלט פון די קאַוויטי, אַסעמבלי און צוקונפֿטיקע אַפּגרעידינג. אויסגעשטאַט מיט א גאָר פארמאכטן פּיוראַפייד מאַטעריאַל געשטעל קאַנווייינג סיסטעם צו ויסמיידן ווערקפּיס קאַנטאַמאַניישאַן. די ווערקפּיס קען זיין באדעקט אויף איין אָדער ביידע זייטן, דער הויפּט פֿאַר דיפּאַזיטינג אָפּטיש קאָליר פילם אָדער מעטאַל פילם.
דער קאָוטינג צימער פון דער עקוויפּמענט האַלט אַ הויך וואַקוום צושטאַנד פֿאַר אַ לאַנגע צייט, מיט ווייניקער אומריינקייט גאַז, הויך ריינקייט פון דער קאָוטינג און גוטן רעפראַקטיוו אינדעקס. די גאָר אויטאָמאַטישע ספּידפֿלאָ פֿאַרמאַכט-לופּ קאָנטראָל סיסטעם איז קאָנפיגורירט צו פֿאַרבעסערן די פֿילם דעפּאָזיציע קורס. די פּראָצעס פּאַראַמעטערס קענען זיין טראַקעד, און דער פּראָדוקציע פּראָצעס קען זיין מאָניטאָרעד אין דעם גאַנצן פּראָצעס צו פֿאַרלייכטערן די טראַקינג פון פּראָדוקציע חסרונות. די עקוויפּמענט האט אַ הויך גראַד פון אָטאַמאַציע. עס קען זיין געניצט צוזאַמען מיט דעם מאַניפּולאַטאָר צו פאַרבינדן די פראָנט און הינטער פּראָצעסן און רעדוצירן די אַרבעט קאָסטן.
די קאָוטינג פּראָדוקציע ליניע קען ווערן גענוצט צו קאָוטן Nb2O5, SiO2, טיאָ2, אין, קופּער, קר, טיאַניום, SUS, אַג און אַנדערע אָקסיידן ווי אויך פּשוטע מעטאַל מאַטעריאַלן. עס ווערט דער הויפּט גענוצט אין דעם אָפּטישן קאָליר פֿילם פּראָצעס פון סופּערפּאָזיציע פון מעטאַל און אָפּטישע מאַטעריאַלן. עס איז פּאַסיק פֿאַר פלאַך פּראָדוקטן געמאַכט פון גלאָז, פּיסי,ליבלינג-חיהאון אנדערע מאַטעריאַלן. עס איז ברייט געניצט געוואָרן אין פּעט פילם / קאָמפּאָזיט פּלאַטע, גלאָז דעקל פּלאַטע, אַרויסווייַז פאַרשטעלן און אנדערע פּראָדוקטן.