Nói chung, CVD có thể được chia thành hai loại: một là lắng đọng hơi sản phẩm đơn trên chất nền của lớp epitaxial đơn tinh thể, được gọi là CVD hẹp; loại còn lại là lắng đọng màng mỏng trên chất nền, bao gồm màng đa sản phẩm và màng vô định hình. Theo t...
Từ đó chúng ta sắp làm rõ: (1) các thiết bị màng mỏng, phổ truyền qua, phổ phản xạ và màu sắc của mối quan hệ tương ứng giữa, tức là phổ của một màu; ngược lại, mối quan hệ này “không duy nhất”, thể hiện dưới dạng phổ màu đa sắc. Do đó, màng mỏng...
Phổ truyền qua và phản xạ và màu sắc của màng mỏng quang học là hai đặc tính của thiết bị màng mỏng tồn tại đồng thời. 1. Phổ truyền qua và phản xạ là mối quan hệ giữa độ phản xạ và độ truyền qua của thiết bị màng mỏng quang học với bước sóng. Nó là c...
Máy phủ chân không quang học bay hơi màng mỏng AF được thiết kế để phủ lớp phủ màng mỏng lên các thiết bị di động bằng quy trình lắng đọng hơi vật lý (PVD). Quy trình này bao gồm việc tạo ra môi trường chân không bên trong buồng phủ, nơi các vật liệu rắn được bốc hơi và sau đó lắng đọng...
Máy làm gương phủ chân không nhôm bạc đã cách mạng hóa ngành sản xuất gương với công nghệ tiên tiến và kỹ thuật chính xác. Chiếc máy hiện đại này được thiết kế để phủ một lớp mỏng nhôm bạc lên bề mặt kính, tạo ra chất lượng cao...
Máy phủ kim loại chân không quang học là công nghệ tiên tiến đã cách mạng hóa ngành công nghiệp phủ bề mặt. Máy tiên tiến này sử dụng quy trình gọi là phủ kim loại chân không quang học để phủ một lớp kim loại mỏng lên nhiều loại chất nền, tạo ra bề mặt phản chiếu cao và bền...
Hầu hết các nguyên tố hóa học có thể được bốc hơi bằng cách kết hợp chúng với các nhóm hóa học, ví dụ Si phản ứng với H để tạo thành SiH4 và Al kết hợp với CH3 để tạo thành Al(CH3). Trong quá trình CVD nhiệt, các khí trên hấp thụ một lượng năng lượng nhiệt nhất định khi chúng đi qua chất nền được nung nóng và tạo thành...
Lắng đọng hơi hóa học (CVD). Như tên gọi của nó, đây là một kỹ thuật sử dụng các chất phản ứng tiền thân dạng khí để tạo ra các màng rắn bằng các phản ứng hóa học nguyên tử và liên phân tử. Không giống như PVD, quá trình CVD chủ yếu được thực hiện trong môi trường áp suất cao hơn (chân không thấp hơn), wi...
3. Ảnh hưởng của nhiệt độ nền Nhiệt độ nền là một trong những điều kiện quan trọng đối với sự phát triển của màng. Nó cung cấp thêm năng lượng bổ sung cho các nguyên tử hoặc phân tử màng và chủ yếu ảnh hưởng đến cấu trúc màng, hệ số kết dính, hệ số giãn nở và kết tụ...
Việc sản xuất các thiết bị màng mỏng quang học được thực hiện trong buồng chân không và quá trình phát triển của lớp màng là một quá trình vi mô. Tuy nhiên, hiện nay, các quá trình vĩ mô có thể được kiểm soát trực tiếp là một số yếu tố vĩ mô có mối quan hệ gián tiếp với chất lượng...
Quá trình nung nóng vật liệu rắn trong môi trường chân không cao để thăng hoa hoặc bay hơi và lắng đọng chúng trên một chất nền cụ thể để thu được màng mỏng được gọi là lớp phủ bốc hơi chân không (gọi tắt là lớp phủ bốc hơi). Lịch sử chế tạo màng mỏng bằng phương pháp bốc hơi chân không...
Indium tin oxide (Indium Tin Oxide, gọi tắt là ITO) là vật liệu bán dẫn loại n có khoảng cách băng rộng, được pha tạp nhiều, có độ truyền ánh sáng khả kiến cao và đặc tính điện trở suất thấp, do đó được sử dụng rộng rãi trong pin mặt trời, màn hình phẳng, cửa sổ điện sắc, vật liệu vô cơ và hữu cơ...
Máy phủ quay chân không phòng thí nghiệm là công cụ quan trọng trong lĩnh vực lắng đọng màng mỏng và sửa đổi bề mặt. Thiết bị tiên tiến này được thiết kế để phủ chính xác và đều các màng mỏng của nhiều loại vật liệu lên chất nền. Quá trình này bao gồm việc áp dụng dung dịch lỏng hoặc chất...
Có hai chế độ chính của lắng đọng chùm ion hỗ trợ, một là lai động; chế độ còn lại là lai tĩnh. Chế độ trước đề cập đến màng trong quá trình phát triển luôn đi kèm với một năng lượng và dòng chùm nhất định của sự bắn phá ion và màng; chế độ sau được lắng đọng trước trên bề mặt của...
① Công nghệ lắng đọng hỗ trợ chùm ion có đặc điểm là độ bám dính mạnh giữa màng và chất nền, lớp màng rất bền. Các thí nghiệm đã chỉ ra rằng: độ bám dính của lắng đọng hỗ trợ chùm ion cao hơn độ bám dính của lắng đọng hơi nhiệt gấp nhiều lần đến hàng trăm lần...