Phủ chân không chùm tia điện tử, hay lắng đọng hơi vật lý chùm tia điện tử (EBPVD), là một quy trình được sử dụng để lắng đọng các lớp màng mỏng hoặc lớp phủ lên nhiều bề mặt khác nhau. Quy trình này bao gồm việc sử dụng chùm tia điện tử để làm nóng và bốc hơi vật liệu phủ (như kim loại hoặc gốm) trong buồng chân không cao. Vật liệu bốc hơi sau đó ngưng tụ trên một chất nền mục tiêu, tạo thành một lớp phủ mỏng, đồng nhất.
Các thành phần chính:
- Nguồn chùm tia electron: Chùm tia electron tập trung sẽ làm nóng vật liệu phủ.
- Vật liệu phủ: Thường là kim loại hoặc gốm sứ, được đặt trong nồi nấu hoặc khay.
- Buồng chân không: Duy trì môi trường áp suất thấp, điều này rất quan trọng để ngăn ngừa ô nhiễm và cho phép vật liệu bay hơi di chuyển theo đường thẳng.
- Chất nền: Vật thể được phủ, được định vị để thu thập vật liệu bay hơi.
Thuận lợi:
- Lớp phủ có độ tinh khiết cao: Môi trường chân không giúp giảm thiểu ô nhiễm.
- Kiểm soát chính xác: Độ dày và độ đồng đều của lớp phủ có thể được kiểm soát chặt chẽ.
- Khả năng tương thích với nhiều loại vật liệu: Thích hợp với kim loại, oxit và các vật liệu khác.
- Độ bám dính mạnh: Quá trình này tạo ra sự liên kết tuyệt vời giữa lớp phủ và chất nền.
Ứng dụng:
- Quang học: Lớp phủ chống phản xạ và bảo vệ trên thấu kính và gương.
- Chất bán dẫn: Lớp kim loại mỏng dùng cho thiết bị điện tử.
- Hàng không vũ trụ: Lớp phủ bảo vệ cho cánh tua-bin.
- Thiết bị y tế: Lớp phủ tương thích sinh học cho cấy ghép.
– Bài viết này được phát hành by nhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Zhenhua
Thời gian đăng: 25-09-2024