Электронды сәулелі вакуумдық жабын немесе электронды сәулелі физикалық бу тұндыру (EBPVD) - әртүрлі беттерге жұқа қабықшаларды немесе жабындарды тұндыру үшін қолданылатын процесс. Ол жоғары вакуумдық камерада жабын материалын (мысалы, металл немесе керамика) қыздыру және буландыру үшін электронды сәулені пайдалануды қамтиды. Содан кейін буланған материал нысаналы негізге конденсацияланып, жұқа, біркелкі жабын түзеді.
Негізгі компоненттер:
- Электрондық сәуле көзі: Фокусталған электронды сәуле жабын материалын қыздырады.
- Қаптау материалы: Әдетте металл немесе керамика, тигельге немесе науаға салынады.
- Вакуумдық камера: Ластанудың алдын алу және буланған материалдың түзу сызықтармен қозғалуына мүмкіндік беретін төмен қысымды ортаны сақтайды.
- Субстрат: Буланған материалды жинау үшін орналастырылған, қапталып жатқан зат.
Артықшылықтары:
- Жоғары тазалықтағы жабындар: вакуумдық орта ластануды азайтады.
- Дәл бақылау: жабынның қалыңдығы мен біркелкілігін мұқият бақылауға болады.
- Кең ауқымды материалдардың үйлесімділігі: Металлдарға, оксидтерге және басқа материалдарға жарамды.
- Мықты адгезия: Бұл процесс жабын мен негіз арасында тамаша байланысқа әкеледі.
Қолданбалар:
- Оптика: Линзалар мен айнадағы шағылыстырмайтын және қорғаныш жабындар.
- Жартылай өткізгіштер: электроникаға арналған жұқа металл қабаттар.
- Аэроғарыш: турбина қалақтарына арналған қорғаныс жабындары.
- Медициналық құрылғылар: имплантаттарға арналған биоүйлесімді жабындар.
– Бұл мақала жарияланды by вакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуa
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 25 қыркүйек