Пӯшиши вакуумии шуоъи электронӣ ё ҷойгиркунии физикии буғи шуоъи электронӣ (EBPVD) равандест, ки барои ҷойгиркунии плёнкаҳо ё рӯйпӯшҳо ба сатҳҳои гуногун истифода мешавад. Он истифодаи шуоъи электрониро барои гарм кардан ва бухор кардани маводи рӯйпӯш (ба монанди металл ё керамикӣ) дар камераи вакуумии баланд дар бар мегирад. Сипас маводи бухоршуда ба рӯи субстрати мақсаднок конденсатсия мешавад ва рӯйпӯши тунук ва якхеларо ташкил медиҳад.
Ҷузъҳои асосӣ:
- Манбаи шуоъи электронӣ: Шуоъи электронии мутамарказ маводи рӯйпӯшро гарм мекунад.
- Маводи рӯйпӯшкунӣ: Одатан металлҳо ё сафолҳо, ки дар дег ё табақча ҷойгир карда мешаванд.
- Палатаи вакуумӣ: Муҳити фишори пастро нигоҳ медорад, ки барои пешгирии ифлосшавӣ ва имкон додани ҳаракати маводи буғшуда дар хатҳои рост муҳим аст.
- Табақа: Объекти пӯшонидашаванда, ки барои ҷамъоварии маводи буғшуда ҷойгир карда шудааст.
Бартариҳо:
- Пӯшишҳои тозагии баланд: Муҳити вакуумӣ ифлосшавиро ба ҳадди ақал мерасонад.
- Назорати дақиқ: Ғафсӣ ва якрангии рӯйпӯшро метавон бодиққат назорат кард.
- Мутобиқати васеи мавод: Барои металлҳо, оксидҳо ва дигар маводҳо мувофиқ аст.
- Часпиши қавӣ: Ин раванд ба пайвастагии аъло байни рӯйпӯш ва субстрат оварда мерасонад.
Барномаҳо:
- Оптика: Пӯшишҳои зиддиинъикос ва муҳофизатӣ дар линзаҳо ва оинаҳо.
- Нимноқилҳо: Қабатҳои тунуки металлӣ барои электроника.
- Аэрокосмос: Пӯшишҳои муҳофизатӣ барои парраҳои турбина.
- Дастгоҳҳои тиббӣ: Пӯшишҳои биологӣ барои имплантатҳо.
- Ин мақола нашр шуд by истеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуa
Вақти нашр: 25 сентябри соли 2024