Электрон нурлы вакуум каплавы, яки электрон нурлы физик пар белән каплау (EBPVD), төрле өслекләргә юка пленкалар яки каплаулар урнаштыру өчен кулланыла торган процесс. Ул югары вакуумлы камерада каплау материалын (мәсәлән, металл яки керамика) җылыту һәм парга әйләндерү өчен электрон нурын куллануны үз эченә ала. Аннары парга әйләнгән материал максатлы субстратка конденсацияләнә, юка, бердәм каплау барлыкка китерә.
Төп компонентлар:
- Электрон нур чыганагы: Фокуслаштырылган электрон нур каплау материалын җылыта.
- Каплау материалы: Гадәттә металл яки керамика, тигельгә яки табага салына.
- Вакуум камерасы: түбән басымлы мохитне саклый, бу пычрануны булдырмау һәм парга әйләнгән материалның туры сызыклар буенча хәрәкәт итүенә мөмкинлек бирү өчен бик мөһим.
- Субстрат: Каплана торган әйбер, парга әйләнгән материалны җыю өчен урнаштырылган.
Өстенлекләре:
- Югары чисталыклы капламалар: Вакуум мохите пычрануны минимальләштерә.
- Төгәл контроль: Каплауның калынлыгын һәм тигезлеген нечкә контрольдә тотарга мөмкин.
- Киң материаллар туры килүе: Металлар, оксидлар һәм башка материаллар өчен яраклы.
- Көчле ябышу: Бу процесс каплама һәм нигез арасында бик яхшы бәйләнешкә китерә.
Кушымталар:
- Оптика: Линзалар һәм көзгеләрдә чагылышны кире кагучы һәм саклагыч капламалар.
- Ярымүткәргечләр: электроника өчен юка металл катламнар.
- Аэрокосмик: Турбина калаклары өчен саклагыч капламалар.
- Медицина җайланмалары: имплантлар өчен био-сыйышлы капламалар.
– Бу мәкалә басылып чыкты by вакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуa
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 25 сентябре