Электрондук нурлуу вакуумдук каптоо же электрондук нурлуу физикалык буу менен каптоо (EBPVD) – бул ар кандай беттерге жука пленкаларды же каптоолорду жабуу үчүн колдонулган процесс. Ал жогорку вакуумдук камерада каптоо материалын (мисалы, металл же керамика) ысытуу жана бууландыруу үчүн электрондук нурду колдонууну камтыйт. Андан кийин бууланган материал максаттуу субстратка конденсацияланып, жука, бирдей каптоону пайда кылат.
Негизги компоненттер:
- Электрондук нур булагы: Фокусталган электрондук нур каптоо материалын ысытат.
- Каптоочу материал: Адатта, металлдар же керамика тигельге же табакчага салынат.
- Вакуумдук камера: булгануунун алдын алуу жана бууланган материалдын түз сызыктар боюнча жылышына мүмкүндүк берүү үчүн абдан маанилүү болгон төмөнкү басымдагы чөйрөнү сактайт.
- Субстрат: Капталып жаткан объект, бууланган материалды чогултуу үчүн жайгаштырылган.
Артыкчылыктары:
- Жогорку тазалыктагы каптоолор: Вакуумдук чөйрө булганууну минималдаштырат.
- Так көзөмөлдөө: каптоонун калыңдыгын жана бирдейлигин так көзөмөлдөөгө болот.
- Кеңири материалдык шайкештик: Металлдар, оксиддер жана башка материалдар үчүн ылайыктуу.
- Күчтүү адгезия: Бул процесс каптоо менен негиздин ортосундагы эң сонун байланышты камсыз кылат.
Колдонмолор:
- Оптика: Линзалардагы жана күзгүлөрдөгү чагылдырууга каршы жана коргоочу каптоолор.
- Жарым өткөргүчтөр: электроника үчүн жука металл катмарлары.
- Аэрокосмос: Турбина калактары үчүн коргоочу каптоолор.
- Медициналык аппараттар: Имплантаттар үчүн биологиялык жактан шайкеш каптамалар.
– Бул макала жарыяланды by вакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуa
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 25-сентябры