Ưu điểm của thiết bị
Thiết bị sử dụng công nghệ bốc hơi chùm tia điện tử, trong đó các electron được phát ra từ sợi catốt và tập trung vào một dòng điện chùm tia cụ thể. Sau đó, chùm tia được tăng tốc bởi điện thế giữa catốt và nồi nấu, khiến vật liệu phủ nóng chảy và bốc hơi. Phương pháp này được đặc trưng bởi mật độ năng lượng cao, cho phép bốc hơi các vật liệu có điểm nóng chảy vượt quá 3000 độ C. Các lớp màng thu được có độ tinh khiết và hiệu suất nhiệt cao.
Thiết bị được trang bị nguồn bốc hơi chùm tia điện tử, nguồn ion, hệ thống giám sát độ dày màng, cấu trúc hiệu chỉnh độ dày màng và hệ thống xoay phôi hình ô ổn định. Nguồn ion hỗ trợ quá trình phủ, tăng cường mật độ của các lớp màng, ổn định chiết suất và ngăn ngừa sự dịch chuyển bước sóng do độ ẩm. Hệ thống giám sát độ dày màng hoàn toàn tự động theo thời gian thực đảm bảo tính lặp lại và ổn định của quy trình. Ngoài ra, thiết bị có chức năng tự cấp liệu, giảm sự phụ thuộc vào kỹ năng của người vận hành.
Thiết bị này phù hợp với nhiều loại vật liệu phủ oxit và kim loại. Nó có thể lắng đọng các màng quang học chính xác nhiều lớp, chẳng hạn như lớp phủ AR (chống phản xạ), bộ lọc thông dài, bộ lọc thông ngắn, màng tăng cường độ sáng, lớp phủ AS/AF (chống nhòe/chống dấu vân tay), bộ lọc IRCUT, hệ thống lọc màu và màng gradient. Nó được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng như nắp kính điện thoại di động, ống kính máy ảnh, ống kính mắt, ống kính quang học, kính bơi, kính trượt tuyết, tấm phim PET/tấm composite, PMMA (polymethyl methacrylate), màng từ quang sắc, chống hàng giả và mỹ phẩm.