ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانلىرىدا، يېتىپ كېلىۋاتقان زەررىچىلەرنىڭ ئېنېرگىيە تەقسىملىنىشى پەردە ئۆسۈشى، مىكرو قۇرۇلمىسى، يېپىشقاقلىقى، زىچلىقى، قالدۇق بېسىمى ۋە ئاخىرىدا پەردەنىڭ ئوپتىكىلىق، مېخانىكىلىق ۋە فۇنكسىيەلىك ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدىغان مۇھىم ئامىل. بۇ جەريان ماگنىترون پۈركۈش، كاتود قوس چۆكمىسى، ئېلېكترون نۇرىنىڭ پارغا ئايلىنىشى ياكى باشقا PVD تېخنىكىلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالسۇن، ئاساسىي قاتلامغا يېتىپ بارغان زەررىچىلەرنىڭ ئېنېرگىيە ھالىتى پەردە يادروسىنىڭ قانداق شەكىللىنىشى ۋە ئۆسۈشىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
شۇڭا، قاپلاش سۈپىتىنى پەقەت چۆكۈش سۈرئىتى ياكى پەردە قېلىنلىقىنى ئويلىشىش ئارقىلىقلا باھالىغىلى بولمايدۇ. زەررىچە ئېنېرگىيەسىنىڭ تەقسىملىنىشىنى چۈشىنىش ۋە كونترول قىلىش، پەردە خۇسۇسىيىتىنىڭ مۇقىم بولۇشى ۋە ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنىڭ مۇقىم بولۇشىغا ئېرىشىش ئۈچۈن ئوخشاشلا مۇھىم.
1. ۋاكۇئۇم قاپلاشتا زەررىچە ئېنېرگىيەسىنىڭ تەقسىملىنىشى دېگەن نېمە؟
ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانىدا، نىشان ياكى پارغا ئايلىنىش مەنبەسىدىن ھاسىل بولغان ئاتوملار، ئىئونلار، مولېكۇلا ۋە باشقا تۈرلەر ۋاكۇئۇم كامېراسى ئارقىلىق ئاساسىي قاتلامغا قاراپ ھەرىكەت قىلىدۇ. بۇ زەررىچىلەر چوقۇم ئوخشاش ھەرىكەت ئېنېرگىيەسى بىلەن ئاساسىي قاتلامغا يېتىپ كەلمەيدۇ. ئەكسىچە، ئۇلار ئېنېرگىيە تەقسىماتىنى شەكىللەندۈرىدۇ.
بۇ تەقسىملىنىش چۆكمە تېخنىكىسى، قويۇپ بېرىش كۈچى، خىزمەت بېسىمى، نىشان ماتېرىيالى، گاز تەركىبى، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشى، مەنبەدىن ئاساسىي قاتلامغىچە بولغان ئارىلىق ۋە پلازما شارائىتى قاتارلىق ئامىللار تەرىپىدىن بەلگىلىنىدۇ.
مەسىلەن، ماگنىترون پۈركۈش جەريانىدا، پلازمادىكى ئېنېرگىيەلىك ئىئونلار نىشاننى بومباردىمان قىلىپ، نىشان ئاتوملىرىنى چىقىرىۋېتىدۇ. ئاندىن بۇ پۈركۈش تۈرلىرى ئاساسىي قاتلامغا قاراپ يۆتكىلىپ، ئۇ يەردە قويۇقلىشىپ، قاپلام ھاسىل قىلىدۇ. كاتود قوس چۆكۈش جەريانىدا، چۆكۈش ئېقىمىنىڭ مۇھىم بىر قىسمى نىسبەتەن يۇقىرى كىنېتىك ئېنېرگىيەگە ئىگە يۇقىرى ئىئونلاشقان مېتال تۈرلىرىدىن تەركىب تاپىدۇ. ئىسسىقلىق پارغا ئايلىنىش جەريانىدا، پار تۈرلىرى ئاساسلىقى كىنېتىك ئېنېرگىيەسى نىسبەتەن تۆۋەن بولغان نېيترال ئاتوملاردىن تەركىب تاپىدۇ.
زەررىچە ئېنېرگىيەسىدىكى بۇ پەرقلەر، ھەر خىل ۋاكۇئۇم قاپلاش تېخنىكىلىرىنىڭ نېمە ئۈچۈن پەرقلىق پىلاستىنكا قۇرۇلمىسى ۋە خۇسۇسىيەتلىرىنى ھاسىل قىلىشىنىڭ ئاساسلىق سەۋەبلىرىنىڭ بىرى.
2. زەررىچە ئېنېرگىيەسى فىلىمنىڭ ئۆسۈشىگە قانداق تەسىر كۆرسىتىدۇ
چۆكمە زەررىچىلەر ئاساسىي قاتلام يۈزىگە يەتكەندە، ئۇلارنىڭ كىنېتىك ئېنېرگىيىسى ئۇلارنىڭ يۈز بىلەن ۋە ئىلگىرى چۆكمە قىلىنغان ئاتوملار بىلەن قانداق ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىدىغانلىقىنى بەلگىلەيدۇ.
زەررىچە ئېنېرگىيىسى نىسبەتەن تۆۋەن بولغاندا، يېتىپ كېلىۋاتقان تۈرلەرنىڭ يۈزەكى ھەرىكىتى چەكلىك بولىدۇ. ئۇلار دەسلەپكى قونۇش ئورۇنلىرىغا يېقىن تۇرۇشى مۇمكىن، بۇنىڭ نەتىجىسىدە تېخىمۇ ئوچۇق ياكى تۆشۈكلۈك مىكرو قۇرۇلما ھاسىل بولىدۇ. بەزى شارائىتلاردا، بۇ تۈۋرۈك شەكىللىك ئۆسۈش، بوشلۇق شەكىللىنىشىنىڭ ئېشىشى ۋە پەردە زىچلىقىنىڭ نىسبەتەن تۆۋەن بولۇشىغا سەۋەب بولىدۇ.
زەررىچە ئېنېرگىيىسى ئاشقانسېرى، يۈزە ۋە يۈزەگە يېقىن ھەرىكەتچانلىق ياخشىلىنىدۇ. چۆكمە قىلىنغان ئاتوملار ۋە ئىئونلار ئېنېرگىيە جەھەتتىن پايدىلىق ئورۇنلارغا كۆچۈش ئىقتىدارىغا ئىگە بولۇپ، يۈزە تارقىلىشى، يادرولىنىشى ۋە زىچلىشىشىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ. بۇ ئارقىلىق يېپىشقاقلىق ۋە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلىرى ياخشىلانغان تېخىمۇ زىچ مىكرو قۇرۇلما ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ.
قانداقلا بولمىسۇن، زەررىچە ئېنېرگىيىسىنىڭ يۇقىرى بولۇشى ھەمىشە پىلاستىنكا ئۈنۈمىنىڭ ياخشىلىنىشىنى بىلدۈرمەيدۇ. ھەددىدىن زىيادە ئېنېرگىيىلىك ئىئون بومباردىمان قىلىش چىرىش، نۇقسان پەيدا قىلىش، ئاساسىي قاتلامنىڭ قىزىشى، ئورنىتىلىشى ۋە قالدۇق بېسىمنىڭ ئېشىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. شۇڭا، مەقسەت پەقەت زەررىچە ئېنېرگىيىسىنى ئەڭ چوڭ چەككە يەتكۈزۈش ئەمەس، بەلكى كونكرېت ئاساسىي قاتلام ۋە قاپلاش سىستېمىسى ئۈچۈن مۇۋاپىق ئېنېرگىيە تەقسىماتىنى بېكىتىشتۇر.
3. زەررىچە ئېنېرگىيەسى بىلەن پەردە زىچلىقى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت
پىلاستىنكا زىچلىقى ئۆسۈۋاتقان پىلاستىنكىغا يەتكۈزۈلگەن ئېنېرگىيە بىلەن زىچ مۇناسىۋەتلىك.
نۇرغۇن PVD جەريانلىرىدا، ئېنېرگىيەلىك بومباردىمان يېتەرلىك بولمىسا، نىسبەتەن بوش مىكرو قۇرۇلمىلىق قاپلام پەيدا بولۇشى مۇمكىن. بوشلۇقلار ۋە تۈۋرۈكلەر ئارا چېگرالار نەملىك ياكى چىرىشچان ماددىلارنىڭ پىلاستىنكىغا سىڭىپ كىرىشى ئۈچۈن يول ھازىرلاپ، چىرىشكە قارشى تۇرۇش كۈچى ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىملىقىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن.
ئوتتۇراھال ئىئون بومباردىمان قىلىش ئادەمتومنىڭ ھەرىكەتچانلىقىنى ئاشۇرۇپ، زىچراق پەردە قۇرۇلمىسىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ. بۇ، بولۇپمۇ يۇقىرى قاتتىقلىق، ئۇپراشقا چىداملىق، توسۇق ئىقتىدارى ياكى مۇقىم ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيەت تەلەپ قىلىدىغان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن ئالاھىدە مۇھىم.
مەسىلەن، ماگنىترون پۈركۈشتە، قۇۋۋەتنى ئاشۇرۇش ياكى مۇۋاپىق ئاساس قەۋىتىنى قوللىنىش ئاساس قەۋىتىگە يېتىپ بارىدىغان ئىئونلار ۋە باشقا ئېنېرگىيە تۈرلىرىنىڭ ئېنېرگىيەسىنى ئاشۇرالايدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، ئەمەلىي ئۈنۈم يەككە جەريان پارامېتىرىغا ئەمەس، بەلكى پۈتۈن پلازما مۇھىتىغا باغلىق. خىزمەت بېسىمى، نىشاندىن ئاساس قەۋىتىگىچە بولغان ئارىلىق، ماگنىت مەيدانىنىڭ تەڭشىلىشى ۋە گاز تەركىبى ئېنېرگىيە تەقسىملىنىشىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
شۇڭلاشقا، ئوخشاش نامدىكى قۇۋۋەت ياكى يانتۇلۇق توك بېسىمى ھەر خىل قاپلاش سىستېمىلىرىدا چوقۇم ئوخشاش زەررىچە ئېنېرگىيە تەقسىماتىنى ھاسىل قىلمايدۇ.
4. زەررىچە ئېنېرگىيەسى ۋە قاپلاش يېپىشتۇرۇشى
قاپلاشنىڭ يېپىشتۇرۇشچانلىقى زەررىچە ئېنېرگىيەسىنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدىغان يەنە بىر مۇھىم خۇسۇسىيەت.
چۆكمە جەريانىدا، ئېنېرگىيەلىك ئىئونلار يۈز ئارا ئارىلىشىشنى كۈچەيتىپ، چۆكمە قىلىنغان پەردە بىلەن ئاساسىي قاتلام ئوتتۇرىسىدىكى باغلىنىشنى ياخشىلىيالايدۇ. مۇۋاپىق ئىئون بومباردىمان قىلىش ئارقىلىق ئاجىز باغلىنىشلىق بۇلغىنىشلارنى چىقىرىۋېتىپ، پەردە ئۆسۈشتىن بۇرۇن ۋە ئۆسۈش جەريانىدا ئاساسىي قاتلام يۈزىنى ئاكتىپلاشتۇرغىلى بولىدۇ.
بۇ ئىئون ئويۇش ۋە ئاساسىي قاتلامنى يانتۇلاشتۇرۇشنىڭ PVD جەريانلىرىدا كەڭ قوللىنىلىشىنىڭ بىر سەۋەبى.
قانداقلا بولمىسۇن، ئىئوننىڭ ئارتۇقچە بومباردىمان قىلىنىشى ئەكسىچە تەسىرگە ئىگە بولۇشى مۇمكىن. ئارتۇقچە ئېنېرگىيە كىرىشى ئۇلىنىش ئېغىزىدا نۇقسانلارنى پەيدا قىلىشى، يۇقىرى قالدۇق بېسىمنى پەيدا قىلىشى، تېمپېراتۇرىغا سەزگۈر ئاساسىي تاختىلارغا زىيان يەتكۈزۈشى ياكى ئارتۇقچە چىرىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. پلاستىك، ئوپتىكىلىق زاپچاسلار ۋە باشقا ئىسسىقلىققا سەزگۈر ماتېرىياللار ئۈچۈن، ئىئون ئېنېرگىيەسىنى كونترول قىلىش ئالاھىدە مۇھىم، چۈنكى ئاساسىي تاختىنىڭ ئىسسىقلىق ۋە مېخانىكىلىق بەرداشلىق بېرىش ئىقتىدارى چەكلىك بولۇشى مۇمكىن.
شۇڭا، ياخشى يېپىشتۇرۇش پەقەت ئەڭ يۇقىرى ئېغىشچانلىق توك بېسىمىنى قوللىنىش بىلەنلا چەكلىنىپ قالمايدۇ. ئىئون ئېنېرگىيەسى ئاساسىي ماتېرىيال، ئالدىن بىر تەرەپ قىلىش ئەھۋالى، قاپلاش قۇرۇلمىسى ۋە تەلەپ قىلىنىدىغان پىلاستىنكا خۇسۇسىيەتلىرىگە ماس كېلىشى كېرەك.
5. پىلىنكىنىڭ بېسىمى ۋە مىكرو قۇرۇلمىسىغا تەسىرى
زەررىچە ئېنېرگىيەسى يەنە قاپلام ئىچىدىكى ئىچكى بېسىمغا مۇھىم تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئېنېرگىيەلىك ئىئونلار ئۆسۈۋاتقان پەردىگە بومباردىمان قىلغاندا، ئۇلار ئاتومنىڭ پۇشۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، چۆكمە ماتېرىيالنىڭ ئورالما قۇرۇلمىسىنى ئۆزگەرتىۋېتىدۇ. مۇۋاپىق شارائىتتا، بۇ پەردىنىڭ زىچلىقىنى ئاشۇرۇپ، مېخانىكىلىق ئىقتىدارىنى ياخشىلىيالايدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، ئارتۇقچە بومباردىمان قىلىش يۇقىرى بېسىملىق قالدۇق بېسىمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.
يۇقىرى قالدۇق بېسىم، بولۇپمۇ قېلىن قاپلاملار چۆكۈپ كەتكەندە، قاپلام يېرىلىشى، قېپىنىڭ يېرىلىشى، شەكلىنىڭ ئۆزگىرىشى ياكى ئۆلچەمنىڭ مۇقىمسىزلىقىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
شۇڭا زەررىچە ئېنېرگىيەسى بىلەن قالغان بېسىم ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت سىزىقلىق ئەمەس. ئۇ ئىئون-ئاتوم ئېقىم نىسبىتى، ئىئون ئېنېرگىيەسى، ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى، چۆكۈش سۈرئىتى، پەردە تەركىبى ۋە ئومۇمىي چۆكۈش شارائىتىغا باغلىق.
كۆپ قەۋەتلىك قاپلاملارغا نىسبەتەن، بۇ ئۈنۈم تېخىمۇ مۇرەككەپلىشىدۇ، چۈنكى ھەر بىر قەۋەت ئارزۇ قىلىنغان مىكرو قۇرۇلما ۋە يۈزلىنىش سۈپىتىگە ئېرىشىش ئۈچۈن ئوخشىمايدىغان ئېنېرگىيە شارائىتىنى تەلەپ قىلىشى مۇمكىن.
6. ماگنىترون پۈركۈش ۋە كاتود قوس چۆكمىسىدىكى زەررىچە ئېنېرگىيەسى
ھەر خىل PVD تېخنىكىلىرى تەبىئىي ھالدا ھەر خىل زەررىچە ئېنېرگىيە تەقسىماتىنى ھاسىل قىلىدۇ.
ماگنىترون پۈركۈش جەريانىدا، پۈركۈلگەن نىشان ئاتوملىرىنىڭ كۆپىنچىسى نېيترال بولىدۇ، ئېنېرگىيە ئىئونلىرى ۋە باشقا پلازما تۈرلىرىنىڭ ئازراق قىسمى پىلاستىنكا ئۆسۈشىگە قاتنىشىدۇ. ئېنېرگىيە تەقسىملىنىشى خىزمەت بېسىمى، قويۇپ بېرىش كۈچى، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشى، ماگنىت مەيدانىنىڭ تەڭشىلىشى ۋە نىشاندىن ئاساسىي قاتلامغا بولغان گېئومېتىرىيەنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ.
يۇقىرى خىزمەت بېسىمىدا، پلازمادىكى سوقۇلۇشلار زەررىچىلەرنىڭ ئاساسىي قاتلامغا يېتىشىدىن بۇرۇن تېخىمۇ كۆپ تارقىلىشى ۋە ئېنېرگىيە يوقىلىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. تۆۋەن بېسىمدا، زەررىچىلەر تېخىمۇ ئەركىن ھەرىكەت قىلالايدۇ، بۇنىڭ بىلەن يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك تۈرلەرنىڭ ئاساسىي قاتلامغا يېتىشىگە يول قويۇلىدۇ.
كاتود قوس چۆكمىسىدە، پار ئېقىمى ئىئونلاشقان مېتال تۈرلىرىنىڭ نىسبىتىنى يۇقىرى قىلىپ، كىنېتىك ئېنېرگىيەسى كۆرۈنەرلىك يۇقىرى بولىدۇ. بۇ پىلاستىنكا ئۆسۈش جەريانىدا كۈچلۈك ئىئون بومباردىمانىنى تەمىنلەيدۇ ھەمدە ئېسىل يېپىشقاقلىققا ئىگە زىچ، قاتتىق قاپلاملارنى ھاسىل قىلالايدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك پلازما مۇھىتى تەلەپ قىلىنىدىغان يۈزە سۈپىتىگە يېتىش ئۈچۈن ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشى، قوس ئېقىمى، ماگنىتلىق سۈزگۈچ ۋە ماكرو زەررىچىلەرنىڭ ھاسىل بولۇشىنى ئۈنۈملۈك كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ.
بۇ پەرقلەر زەررىچە ئېنېرگىيەسىنىڭ تەقسىملىنىشىنىڭ ھەر بىر ۋاكۇئۇم قاپلاش تېخنىكىسىنىڭ ئاساسىي خۇسۇسىيىتى بىلەن زىچ مۇناسىۋەتلىك ئىكەنلىكىنى كۆرسىتىپ بېرىدۇ.
7. ئاساسىي قاتلامنىڭ مايىللىقىنىڭ مۇھىملىقى
ئاساسىي قاتلامنىڭ ئېغىش كۈچىنىڭ توك بېسىمى ئاساسىي قاتلامدىكى ئىئون ئېنېرگىيەسىنى ئۆزگەرتىشتىكى ئەڭ ئۈنۈملۈك جەريان پارامېتىرلىرىنىڭ بىرى.
مەنپىي يۆنىلىشنى قوللىنىش پلازمادىكى مۇسبەت ئىئونلارنى ئاساسىي قاتلامغا جەلپ قىلىپ، چۆكمە جەريانىدا ئىئون بومباردىمانىنى ئاشۇرىدۇ. يۆنىلىش شارائىتىنى تەڭشەش ئارقىلىق، ئۆسۈش پەردىسىگە يەتكۈزۈلىدىغان ئېنېرگىيەنى بەلگىلىك دائىرىدە كونترول قىلغىلى بولىدۇ.
مۇۋاپىق يانتۇلۇق پىلاستىنكا زىچلىقى، يېپىشقاقلىقى، قاتتىقلىقى ۋە مىكرو قۇرۇلمىنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلىيالايدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، ئارتۇق يانتۇلۇق چىرىش ۋە قالغان بېسىمنى ئاشۇرۇشى ياكى ئاساسىي قاتلامغا زىيان يەتكۈزۈشى مۇمكىن.
شۇڭلاشقا، يانتۇلۇق توك بېسىمى يالغۇز پارامېتىر دەپ قارىلىشى كېرەك ئەمەس. ئۇنىڭ تەسىرى خىزمەت بېسىمى، پلازما زىچلىقى، چۆكمە سۈرئىتى، نىشان قۇۋۋىتى، ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى ۋە قاپلاش ماتېرىيالى بىلەن بىرلىكتە ئويلىشىش كېرەك.
قۇرۇلۇش سۇلياۋلىرى، ئوپتىكىلىق پولىمېرلار ۋە ئېلېكترونلۇق زاپچاسلار قاتارلىق تېمپېراتۇرىغا سەزگۈر ئاساسىي ماتېرىياللار ئۈچۈن، ئىئون ئېنېرگىيەسىنى ئەستايىدىل كونترول قىلىش ئالاھىدە مۇھىم.
8. زەررىچە ئېنېرگىيەسىنىڭ تارقىلىشى ۋە كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىش مۇقىملىقى
تەجرىبىخانا كۆلىمىدىكى قاپلاش تەجرىبىلىرىدە، يەككە جەريان پارامېتىرلىرىنى قايتا-قايتا تەڭشەش ئارقىلىق ياخشى پىلاستىنكا ئۈنۈمىگە ئېرىشكىلى بولىدۇ. ئەمما، كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىشتا، ھەر بىر تۈركۈمدە ئوخشاش زەررىچە ئېنېرگىيە مۇھىتىنى ساقلاش قىيىنچىلىقى بار.
كامېرا بېسىمى، نىشان ھالىتى، پلازما ئىمپېدانسى، ئاساسىي قاتلام يۈكى، نىشان ئىشلىتىش ۋە ئۈسكۈنە سەپلىمىسىدىكى ئۆزگىرىشلەر پلازما خۇسۇسىيىتىنى ئۆزگەرتىپ، خىزمەت بۇيۇمىنىڭ ھەر خىل رايونلىرىغا يېتىدىغان ئېنېرگىيە تەقسىملىنىشىنى ئۆزگەرتىۋېتىدۇ.
بۇ پىلاستىنكىنىڭ قېلىنلىقى، زىچلىقى، رەڭگى، قاتتىقلىقى، يېپىشقاقلىقى ۋە ئوپتىكىلىق ئىقتىدارىدا پەرق پەيدا قىلىشى مۇمكىن.
شۇڭا سانائەت ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن، مۇقىم جەرياننى كونترول قىلىش پەقەت نامدىكى بېسىم ۋە قۇۋۋەت قىممىتىنى ساقلاپ قېلىشتىن كۆپرەك نەرسىنى تەلەپ قىلىدۇ. پلازما مۇھىتى، ئىئون ئېقىمى، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشى، چۆكمە گېئومېتىرىيەسى ۋە مەنبە ھالىتى بىر گەۋدىلەشكەن جەريان كۆزنىكىنىڭ بىر قىسمى سۈپىتىدە كونترول قىلىنىشى كېرەك.
مۇرەككەپ ئۈچ ئۆلچەملىك زاپچاسلارغا نىسبەتەن، ئەھۋال تېخىمۇ قىيىنلىشىدۇ، چۈنكى ھەر خىل يۈزلەردە ئوخشىمايدىغان چۈشۈش بۇلۇڭى ۋە زەررىچە ئېقىمى بولۇشى مۇمكىن. شۇڭا، قاپلاشنىڭ بىردەكلىكىنى ساقلاش ئۈچۈن، مۇۋاپىق ئورنىتىش لايىھىسى، ئىشلەنگەن ماتېرىيالنىڭ ئايلىنىشى، مەنبە سەپلىمىسى ۋە جەرياننى ئەلالاشتۇرۇش ئىنتايىن مۇھىم.
9. سانائەت ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانىدا زەررىچە ئېنېرگىيەسىنى قانداق كونترول قىلىش كېرەك
ئەمەلىي PVD ئىشلەپچىقىرىشتا، زەررىچە ئېنېرگىيەسىنى پەرقلەندۈرمەي ئەڭ چوڭ دەرىجىدە ئىشلىتىشنىڭ ئورنىغا، نىشان قاپلاش خۇسۇسىيىتىگە ئاساسەن كونترول قىلىش كېرەك.
مۇۋاپىق جەريان كۆزنىكى ئادەتتە خىزمەت بېسىمى، قويۇپ بېرىش كۈچى، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۆتكىلىشى، پلازما زىچلىقى، گاز ئېقىمى، ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسى، چۆكمە سۈرئىتى ۋە مەنبەدىن ئاساسىي قاتلامغىچە بولغان گېئومېتىرىيەنى ماسلاشتۇرۇش ئارقىلىق بېكىتىلىدۇ.
بېزەكلىك قاپلاملارغا نىسبەتەن، ئىئوننىڭ ئارتۇقچە بومباردىمان قىلىنىشى يۈزەكى بۇزۇلۇش ياكى قالدۇق بېسىمنى ئاشۇرۇشى مۇمكىن، ئېنېرگىيەنىڭ يېتەرلىك بولماسلىقى بولسا زىچلىقنىڭ ياكى يېپىشقاقلىقنىڭ ناچارلىشىشىغا ئېلىپ كېلىشى مۇمكىن. قاتتىق قاپلاملارغا نىسبەتەن، يۇقىرى ئىئون ئېنېرگىيەسى زىچ مىكرو قۇرۇلمىلار ۋە يۇقىرى قاتتىقلىققا ئېرىشىشكە پايدىلىق بولۇشى مۇمكىن، ئەمما ئارتۇقچە بومباردىمان قىلىنىش بېسىمغا مۇناسىۋەتلىك نۇقسانلارنى پەيدا قىلىشى مۇمكىن.
شۇڭا، جەرياننى تەرەققىي قىلدۇرۇش ئىئون ئېنېرگىيەسى، ئىئون ئېقىمى، چۆكمە سۈرئىتى ۋە ئاساسىي قاتلامنىڭ ئىنكاسى ئوتتۇرىسىدا مۇقىم تەڭپۇڭلۇقنى ئورنىتىشقا مەركەزلىشىشى كېرەك.
ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن، بۇ يەنە جەرياننىڭ تەكرارلىنىشى، كامېرا ئەھۋالى، نىشاننىڭ ئىشلىتىلىشى، ئۈسكۈنىلەرنىڭ سەپلىمىسى ۋە ئاپتوماتىك جەريان كونترول قىلىش قاتارلىقلارنىڭ ئىزچىل زەررىچە ئېنېرگىيە مۇھىتىنى ساقلاشتىكى مۇھىم ئامىللار ئىكەنلىكىنى بىلدۈرىدۇ.
زەررىچە ئېنېرگىيەسىنىڭ تەقسىملىنىشى ۋاكۇئۇم قاپلاشتا پىلىنكىنىڭ ئۆسۈشىنى باشقۇرىدىغان ئاساسلىق جەريان ئۆزگەرگۈچى مىقدارلىرىنىڭ بىرى. ئۇ يۈزەكى تارقىلىش، يادرولىشىش، پىلىنكىنىڭ زىچلىقى، يېپىشتۇرۇش، مىكرو قۇرۇلما، قالدۇق بېسىم، قاتتىقلىق، ئوپتىكىلىق ئىقتىدار ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىككە تەسىر كۆرسىتىدۇ.
مۇھىم نۇقتا پەقەت چۆكمە زەررىچىلەرنىڭ ئېنېرگىيەسىنى ئاشۇرۇشلا ئەمەس، بەلكى قاپلاش ماتېرىيالى، ئاساسىي قەۋەتنىڭ ئالاھىدىلىكى، پىلاستىنكا قۇرۇلمىسى ۋە قوللىنىش تەلىپىگە ئاساسەن مۇۋاپىق ۋە مۇقىم ئېنېرگىيە تەقسىماتىنى بېكىتىشتۇر.
سانائەت PVD ئىشلەپچىقىرىشىدا، پلازما خۇسۇسىيىتى، ئىئون ئېنېرگىيەسى، ئاساسىي قاتلامنىڭ ئۆزگىرىشچانلىقى، خىزمەت بېسىمى ۋە پىلاستىنكا ئۆسۈش مېخانىزمى ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەتنى چۈشىنىش، قاپلاش ئىنژېنېرلىرىنىڭ ئاددىي پارامېتىر تەڭشەشتىن ھالقىپ، تېخىمۇ كۈچلۈك جەريان كۆزنىكىنى تەرەققىي قىلدۇرۇشىغا شارائىت ھازىرلايدۇ. بۇ، بولۇپمۇ تەجرىبىخانا ئەۋرىشكىسىدىن مۇقىم، تەكرارلىنىدىغان كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىشقا ئۆتكەندە ئالاھىدە مۇھىم.
-بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىجېنخۇا چاڭ-توزان سۈمۈرۈش ماشىنىسى
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 9-ئاينىڭ 3-كۈنى