E-ışınlı vakum kaplama veya elektron ışınlı fiziksel buhar biriktirme (EBPVD), çeşitli yüzeylere ince filmler veya kaplamalar biriktirmek için kullanılan bir işlemdir. Yüksek vakumlu bir odada bir kaplama malzemesini (metal veya seramik gibi) ısıtmak ve buharlaştırmak için bir elektron ışını kullanmayı içerir. Buharlaşan malzeme daha sonra hedef bir alt tabaka üzerinde yoğunlaşarak ince, düzgün bir kaplama oluşturur.
Temel Bileşenler:
- Elektron Işını Kaynağı: Odaklanmış bir elektron ışını kaplama malzemesini ısıtır.
- Kaplama Malzemesi: Genellikle metal veya seramik olup, bir pota veya tepsiye yerleştirilir.
- Vakum Odası: Kirlenmeyi önlemek ve buharlaşan malzemenin düz çizgiler halinde hareket etmesini sağlamak için kritik öneme sahip olan düşük basınçlı bir ortam sağlar.
- Substrat: Kaplanacak olan nesne, buharlaşan malzemeyi toplayacak şekilde konumlandırılır.
Avantajları:
- Yüksek Saflıkta Kaplamalar: Vakum ortamı kontaminasyonu en aza indirir.
- Hassas Kontrol: Kaplamanın kalınlığı ve homojenliği hassas bir şekilde kontrol edilebilir.
- Geniş Malzeme Uyumluluğu: Metaller, oksitler ve diğer malzemeler için uygundur.
- Güçlü Yapışma: İşlem, kaplama ile alt tabaka arasında mükemmel bir bağlanmaya yol açar.
Uygulamalar:
- Optik: Lenslerde ve aynalarda yansıma önleyici ve koruyucu kaplamalar.
- Yarı iletkenler: Elektronikte kullanılan ince metal katmanlar.
- Havacılık ve Uzay: Türbin kanatları için koruyucu kaplamalar.
- Tıbbi Cihazlar: İmplantlar için biyouyumlu kaplamalar.
–Bu makale yayınlandı by vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 25-Eyl-2024