Elektrod vakuum ýylylyk örtügi, wakuum gurşawynda elektrodlary ýa-da beýleki substratlary örtmek üçin senagat we ylmy goşundylarda ulanylýan ýöriteleşdirilen enjamdyr, köplenç ýylylyk bejergisi bilen utgaşýar. Bu amal, köplenç elektrodlaryň häsiýetlerini ýokarlandyrmak ýa-da dürli materiallara inçe filmleri goýmak üçin elektronika, materiallar ylymlary, ýarymgeçirijiler we optika ýaly ugurlarda ulanylýar. Ine, onuň funksiýalarynyň, amaly programmalarynyň we tehnologiýalarynyň bölekleri:
1. Wakuum gurşawy
Maksady: Wakuum gurşawy örtügiň hiline täsir edip biljek kislorod we azot ýaly atmosfera gazlarynyň hapalanmagynyň öňüni almak üçin zerurdyr. Şeýle hem materialy peseldip biljek okislenmegi we beýleki himiki reaksiýalary azaldýar.
Peýdalary: Aýratyn hem ýarymgeçirijiler ýa-da optiki komponentler ýaly duýgur programmalar üçin ýokary arassa örtükleri we materiallaryň takyk ýerleşdirilmegini üpjün edýär.
2. atingyladyş mehanizmi
Malylylyk bejergisi: Ulgam örtükden öň, wagtynda ýa-da soň substraty termiki bejermek üçin gözegçilik edilýän ýyladyş mehanizmini öz içine alýar. Bu örtügiň ýelmeşmegini gowulandyryp, materialyň häsiýetlerini üýtgedip ýa-da çökdürmek prosesleriniň käbir görnüşlerine mümkinçilik döredip biler.
Temperatura gözegçiligi: Temperaturany takyk gözegçilik etmek substratyň ýa-da örtük materialynyň ýylylyk aýratynlyklaryny gowy sazlamaga, geçirijiligi, mehaniki güýji ýa-da beýleki häsiýetleri optimizirlemäge mümkinçilik berýär.
3. Örtük usullary
“Elektrod vakuum ýylylyk örtügi” programma baglylykda dürli örtük tehnologiýalaryny goldap biler:
Fiziki bug çöketligi (PVD): vakuum örtüklerinde örtük materialy buglanýar we gözegçilik astynda substrata goýulýar. Tüýkürmek ýa-da termiki bugarmak ýaly usullar giňden ulanylýar.
Himiki bug çöketligi (CVD): Bu usulda wakuum kamerasyna girizilen gazlaryň arasynda himiki reaksiýa ýüze çykýar we substratda inçe film emele gelýär.
Malylylyk bugarmagy: Örtük materialy buglanýança gyzdyrylýan we bug substratda kondensirlenip, inçe gatlak emele getirýär.
4. Goýmalar
Elektronika: Geçiriji gatlaklary zynjyr tagtalaryna, batareýalar üçin elektrodlara we beýleki elektron böleklerine goýmak üçin ulanylýar.
Ondarymgeçirijiler: icarymgeçiriji pudagynda bu enjam çiplere we integral zynjyrlara ultra inçe geçiriji ýa-da izolýasiýa gatlaklaryny goýmak üçin möhümdir.
Optika: Anti-şöhlelendiriji örtükler, süzgüçler ýa-da gorag gatlaklary bilen örtük linzalary, aýnalar we optiki datçikler.
Energiýa saklanyşy: Lityum-ion ýa-da gaty ýagdaýly batareýalar ýaly batareýalar üçin elektrod örtük, öndürijilik we uzak ömür üçin takyk material çökdürilmegi zerurdyr.
Sensorlar: Belli bir elektrik, ýylylyk ýa-da optiki aýratynlyklary talap edýän datçikler üçin örtük döretmek.
5. Esasy öndürijilik ölçegleri
Örtügiň galyňlygy: Ulgam köplenç nanometrlerde ýa-da mikrometrlerde ölçelýän goýlan gatlagyň galyňlygyna takyk gözegçilik etmäge mümkinçilik berýär.
Bitewilik: Örtügiň elektron ýa-da optiki programmalar üçin möhüm ähmiýete eýe bolan substratyň üstünde deň derejede ulanylmagyny üpjün etmek.
Hesapyşma: Palta, ýylylygy bejermek we ýerüsti taýýarlamak usullary arkaly goýlan gatlagyň substrata ýapyşmagyny gowulandyrýar.
Material arassalygy: Wakuumda işlemek hapalanmagy azaldýar we ýokary arassa örtükleri üpjün edýär.
6. Elektrod önümçiligi bilen integrasiýa
Wakuum ýylylyk örtügi köplenç batareýalar (litiý-ion batareýalary), ýangyç öýjükleri we kondensatorlar üçin elektrod önümçilik liniýalaryna birleşdirilýär. Bu programmalarda, geçirijilik materiallarynyň ýokary hilli inçe filmleri (nikel, mis ýa-da beýleki metal oksidleri ýaly) elektrodlara ýerleşdirilýär, bu olaryň elektrik geçirijiligini, himiki durnuklylygyny we umumy öndürijiligini ýokarlandyrýar.
7. Üstünlikleri
Örtügiň hili gowulaşdy: Wakuum gurşawy ajaýyp ýelmeşmek bilen ýokary hilli, kemçiliksiz örtükleri üpjün edýär.
Dolandyrylýan çöketlik: Örtügiň galyňlygy, birmeňzeşligi we material häsiýetleriniň takyklygy önümiň öndürijiligini ýokarlandyrýar.
Giňeldilen çydamlylyk: Wakuum we ýylylyk bejergisinde öndürilen örtükler köplenç has çydamly we oksidlenme ýa-da poslama ýaly daşky gurşawyň zaýalanmagyna çydamlydyr.
8. Kynçylyklar
Bahasy: vokary vakuum we takyk temperatura gözegçilik enjamlary başlangyç maýa goýum we tehniki taýdan hem gymmat bolup biler.
Çylşyrymlylyk: Şeýle ulgamlary işletmek, iň oňat netijeleri üpjün etmek üçin ökde tehnikleri we seresaply kalibrlemäni talap edýär.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 28-2024-nji sentýabr