Aṣọ ooru Elektrode Vacuum Coater jẹ́ ohun èlò pàtàkì kan tí a lò nínú iṣẹ́ ilé-iṣẹ́ àti ìmọ̀ sáyẹ́ǹsì fún fífi àwọn elektrode bo àwọn ohun èlò mìíràn lábẹ́ àyíká afẹ́fẹ́, tí a sábà máa ń so pọ̀ mọ́ ìtọ́jú ooru. A sábà máa ń lo ìlànà yìí ní àwọn ẹ̀ka bíi ẹ̀rọ itanna, ìmọ̀ ohun èlò, semiconductors, àti optics láti mú kí àwọn ohun ìní elektrode sunwọ̀n síi tàbí láti fi àwọn fíìmù tín-tín sí oríṣiríṣi ohun èlò. Èyí ni ìtúpalẹ̀ àwọn iṣẹ́ rẹ̀, àwọn ohun èlò rẹ̀, àti ìmọ̀ ẹ̀rọ rẹ̀:
1. Àyíká afẹ́fẹ́
Ète: Ayika afẹ́fẹ́ ṣe pàtàkì fún dídènà ìbàjẹ́ láti inú àwọn afẹ́fẹ́ afẹ́fẹ́ bíi atẹ́gùn àti nitrogen, èyí tí ó lè ní ipa lórí dídára ìbòrí náà. Ó tún ń dín ìfàsẹ́yìn àti àwọn ìṣesí kẹ́míkà mìíràn tí ó lè ba ohun èlò náà jẹ́ kù.
Àwọn Àǹfààní: Ó ń rí i dájú pé àwọn ìbòrí mímọ́ tó ga àti pé ó ń gbé àwọn ohun èlò kalẹ̀ dáadáa, pàápàá jùlọ fún àwọn ohun èlò tó ṣe pàtàkì bíi semiconductors tàbí àwọn èròjà opitika.
2. Ọ̀nà Ìgbóná
Ìtọ́jú Ooru: Ètò náà ní ẹ̀rọ ìgbóná tí a ń ṣàkóso láti fi ooru tọ́jú ohun èlò náà kí ó tó di ìgbà tí a fi bo, nígbà tí a bá ń bò ó, tàbí lẹ́yìn tí a bá ti bò ó. Èyí lè mú kí ìsopọ̀ ìbòrí náà sunwọ̀n sí i, kí ó yí àwọn ànímọ́ ohun èlò náà padà, tàbí kí ó mú kí àwọn irú ìlànà ìforúkọsílẹ̀ kan ṣiṣẹ́.
Ìṣàkóso Ìwọ̀n Òtútù: Ìṣàkóso ìgbóná tó péye gba ààyè láti ṣàtúnṣe àwọn ànímọ́ ooru ti ohun èlò ìbòrí tàbí ohun èlò ìbòrí, ṣíṣe àtúnṣe agbára ìṣiṣẹ́, agbára ẹ̀rọ, tàbí àwọn ohun ìní mìíràn.
3. Àwọn Ọ̀nà Ìbòrí
Aṣọ ooru elekitirodu le ṣe atilẹyin fun ọpọlọpọ awọn imọ-ẹrọ ti a bo, da lori ohun elo naa:
Ìfipamọ́ Afẹ́fẹ́ Ti Ara (PVD): Ọ̀nà tí a sábà máa ń lò nínú àwọn ohun èlò ìbòrí níbi tí a ti ń fa omi gbígbóná tí a sì ń gbé e sórí ilẹ̀ náà lọ́nà tí a kò ṣàkóso. Àwọn ọ̀nà bíi ìfọ́nká tàbí ìfọ́nká ooru ni a ń lò ní gbogbogbòò.
Ìtújáde Afẹ́fẹ́ Kẹ́míkà (CVD): Nínú ọ̀nà yìí, ìhùwàpadà kẹ́míkà kan máa ń wáyé láàrín àwọn gáàsì tí a gbé sínú yàrá afẹ́fẹ́, èyí tí yóò mú kí fíìmù tín-ín-rín kan ṣẹ̀dá lórí ilẹ̀ náà.
Ìtújáde Òtútù: Ọ̀nà kan níbi tí a ti ń gbóná ohun èlò ìbòrí títí tí yóò fi gbẹ, tí èéfín náà sì ń dìpọ̀ lórí ilẹ̀ náà láti ṣẹ̀dá fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ kan.
4. Àwọn ohun èlò
Ẹ̀rọ itanna: A ń lò ó fún fífi àwọn ìpele conductive sí orí àwọn pátákó circuit, àwọn elekitirodu fún àwọn bátírì, àti àwọn èròjà itanna mìíràn.
Àwọn olùdarí Semiconductors: Nínú ilé iṣẹ́ semiconductors, ẹ̀rọ yìí ṣe pàtàkì fún fífi àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ onítẹ̀lẹ́ tàbí ìdènà sí orí àwọn ìṣùpọ̀ àti àwọn ìyíká tí a ti so pọ̀.
Àwọn ohun èlò ìbòjú: Àwọn lẹ́ńsì, dígí, àti àwọn ohun èlò ìbòjú pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìbòjú, àlẹ̀mọ́, tàbí àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ ààbò.
Ìpamọ́ Agbára: Ìbòrí elekitirodu fún àwọn batiri, bíi nínú àwọn batiri lithium-ion tàbí solid-state, níbi tí ìpamọ́ ohun èlò pàtó ṣe pàtàkì fún iṣẹ́ àti pípẹ́.
Àwọn Sensọ: Ṣíṣẹ̀dá àwọn ìbòrí fún àwọn sensọ tí ó nílò àwọn ohun-ìní iná mànàmáná, ooru, tàbí opitika pàtó.
5. Àwọn Ìwọ̀n Iṣẹ́ Pàtàkì
Sisanra Aṣọ: Eto naa gba laaye fun iṣakoso deede lori sisanra ti fẹlẹfẹlẹ ti a fi sinu, ti a maa n wọn ni awọn nanometers tabi micrometers nigbagbogbo.
Ìṣọ̀kan: Rí i dájú pé a fi ìbòrí náà sí orí ìpìlẹ̀ náà déédé, èyí tí ó ṣe pàtàkì fún àwọn ohun èlò itanna tàbí opitika.
Lílo ìfọwọ́sowọ́pọ̀: Aṣọ náà mú kí ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ti fẹlẹfẹlẹ tí a fi pamọ́ mọ́ ohun èlò náà sunwọ̀n síi nípasẹ̀ ìtọ́jú ooru àti àwọn ọ̀nà ìpèsè ojú ilẹ̀.
Ìmọ́tótó Ohun Èlò: Ṣíṣiṣẹ́ nínú afẹ́fẹ́ máa ń dín ìbàjẹ́ kù, ó sì máa ń rí i dájú pé àwọn ìbòrí tó mọ́ tónítóní wà níbẹ̀.
6. Ìṣọ̀kan pẹ̀lú Ṣíṣe Ẹ̀rọ Elektrode
A sábà máa ń fi aṣọ ìbora gbígbóná afẹ́fẹ́ sínú àwọn ìlà ìṣẹ̀dá elekitirodu, pàápàá jùlọ fún àwọn batiri (bíi àwọn batiri lithium-ion), àwọn sẹ́ẹ̀lì epo, àti àwọn capacitors. Nínú àwọn ohun èlò wọ̀nyí, a máa ń fi àwọn fíìmù tín-tín tó ga jùlọ ti àwọn ohun èlò ìdarí (bíi nickel, copper, tàbí àwọn oxide irin mìíràn) sí ara àwọn elekitirodu, èyí tí ó máa ń mú kí agbára ìdarí iná mànàmáná wọn sunwọ̀n síi, ìdúróṣinṣin kẹ́míkà, àti iṣẹ́ gbogbogbòò.
7. Àwọn àǹfààní
Dídára Àwọ̀ Tí A Mú Dára Síi: Ayíká afẹ́fẹ́ náà ń rí i dájú pé àwọn àwọ̀ tí ó ní àwọ̀ dídára, tí kò ní àbùkù pẹ̀lú ìsopọ̀ tó dára.
Ifipamọ́ Tí A Ṣàkóso: Pípéye nínú sisanra àwọ̀, ìṣọ̀kan, àti àwọn ohun èlò mú kí iṣẹ́ ọjà náà sunwọ̀n síi.
Àìnípẹ̀kun: Àwọn àwọ̀ tí a fi ṣe lábẹ́ ìtọ́jú ooru àti ìgbàfẹ́ sábà máa ń pẹ́ tó, wọ́n sì máa ń dènà ìbàjẹ́ àyíká, bíi ìfọ́mọ́lẹ̀ tàbí ìbàjẹ́.
8. Àwọn ìpèníjà
Iye owo: Awọn ohun elo fifa omi giga ati iṣakoso iwọn otutu deede le jẹ gbowolori, mejeeji ni awọn ofin ti idoko-owo akọkọ ati itọju.
Ìṣòro: Síṣiṣẹ́ irú àwọn ètò bẹ́ẹ̀ nílò àwọn onímọ̀ ẹ̀rọ tó ní ìmọ̀ àti ìṣàtúnṣe tó péye láti rí i dájú pé àwọn àbájáde tó dára jùlọ wà.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹsàn-28-2024