Сарпӯши вакуумии электронии чӯб ё таҳшини буғи физикии чӯби электронӣ (EBPVD) равандест, ки барои гузоштани филмҳои тунук ё рӯйпӯшҳо ба сатҳи гуногун истифода мешавад. Он истифодаи нури электрониро барои гарм кардан ва бухор кардани маводи рӯйпӯш (ба монанди металл ё сафол) дар камераи баланд вакууми дар бар мегирад. Пас аз он маводи бухоршуда ба як субстрати мақсаднок конденсатсия шуда, як қабати тунук ва якхеларо ташкил медиҳад.
Компонентҳои асосӣ:
- Сарчашмаи чӯби электронӣ: Шуои электронии мутамарказ маводи рӯйпӯшро гарм мекунад.
- Маводҳои пӯшиш: Одатан металлҳо ё сафолҳо, ки дар тигел ё табақ ҷойгир карда мешаванд.
- Палатаи вакуумӣ: Муҳити пасти фишорро нигоҳ медорад, ки барои пешгирии ифлосшавӣ ва имкон додани ҳаракати маводи буғшуда дар хатҳои рост муҳим аст.
- Субстрат: Объект пӯшонида мешавад, ки барои ҷамъоварии маводи буғшуда ҷойгир шудааст.
Афзалиятҳо:
- Равғанҳои тозагии баланд: Муҳити вакуумӣ ифлосшавиро кам мекунад.
- Назорати дақиқ: Ғафсӣ ва якрангии рӯйпӯшро ба таври дақиқ назорат кардан мумкин аст.
- Мутобиқати васеи мавод: Барои металлҳо, оксидҳо ва дигар маводҳо мувофиқ аст.
- Пайвастани қавӣ: Ин раванд боиси пайвастагии аъло байни рӯйпӯш ва субстрат мегардад.
Барномаҳо:
- Оптика: пӯшишҳои зидди инъикос ва муҳофизатӣ дар линзаҳо ва оинаҳо.
- нимноқилҳо: қабатҳои металлӣ борик барои электроника.
- Аэрокосмос: Сарпӯшҳои муҳофизатӣ барои чархҳои турбинаҳо.
- Таҷҳизоти тиббӣ: Сарпӯшҳои биологӣ барои имплантатсияҳо.
- Ин мақола нашр шудааст by истеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуa
Вақти фиристодан: сентябр-25-2024