அதிக அடர்த்தி கொண்ட இன்டர்கனெக்ட் (HDI) PCB-கள், அதிக அடுக்குகள் கொண்ட போர்டுகள், ஃபைன்-பிட்ச் இன்டர்கனெக்ட்கள் மற்றும் உயர் அதிர்வெண்/அதிவேகப் பயன்பாடுகள் ஆகியவற்றின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியால், PCB மைக்ரோ-டிரில்கள் பரிமாணத் துல்லியம், துளையிடும் நிலைத்தன்மை, தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் சேவை ஆயுள் ஆகியவற்றில் பெருகிய முறையில் கடுமையான தேவைகளை எதிர்கொள்கின்றன.
கருவியின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கான முக்கிய மேற்பரப்புப் பொறியியல் தொழில்நுட்பங்களில் ஒன்றாக, PVD பூச்சு நுண்துளைப்பான்களின் கடினத்தன்மை, தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன், உராய்வுப் பண்புகள் மற்றும் வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை குறிப்பிடத்தக்க அளவில் மேம்படுத்தும். இருப்பினும், வழக்கமான வெட்டுக் கருவிகளுடன் ஒப்பிடும்போது, PCB நுண்துளைப்பான்கள் சிறிய பரிமாணங்களையும், மிகவும் நுட்பமான வடிவவியல்களையும், பூச்சின் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்முறை நிலைத்தன்மைக்கான கடுமையான தேவைகளையும் கொண்டுள்ளன.
இந்தப் பண்புகள், PVD அமைப்புகளின் வெற்றிடப் பூச்சு உபகரணங்கள், பொருத்துதல் வடிவமைப்பு, பிளாஸ்மா விநியோகம், செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு மற்றும் உற்பத்தித் தன்னியக்கம் ஆகியவற்றின் மீது புதிய தேவைகளை ஏற்படுத்துகின்றன.
1. சிறிய கருவி அளவுகளுக்கு அதிக பூச்சுச் சீரான தன்மை தேவைப்படுகிறது.
PCB நுண்துளைப்பான்கள் பொதுவாக சிறிய விட்டங்களையும் மெல்லிய வடிவங்களையும் கொண்டிருக்கும். பயன்பாட்டைப் பொறுத்து, கருவியின் விட்டங்கள் 1 மிமீ-க்கும் குறைவாக இருக்கலாம், இதனால் பூச்சின் சீரான தன்மை ஒரு முக்கியமான செயல்முறை அளவுருவாகிறது.
வழக்கமான கருவிகளைப் பொறுத்தவரை, பூச்சுத் தடிமனில் ஏற்படும் ஒப்பீட்டளவில் சிறிய மாறுபாடுகள், கருவியின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனில் குறைந்த தாக்கத்தையே ஏற்படுத்தக்கூடும். இருப்பினும், நுண்துளைப்பான்களைப் பொறுத்தவரை, பூச்சுத் தடிமனில் ஏற்படும் ஒரு சிறிய அதிகரிப்பு கூட, வெட்டும் விளிம்பின் வடிவியல், பள்ளத்தின் வடிவம், முனையின் வடிவியல் மற்றும் பரிமாணத் துல்லியம் ஆகியவற்றைப் பாதிக்கக்கூடும்.
எனவே, PVD உபகரணமானது, செயல்படும் சுமைப் பகுதி முழுவதும் மிகவும் சீரான அயனிப் பாய்வு மற்றும் பூச்சுப் படிதலை வழங்க வேண்டும்.
பூச்சு அமைப்பானது, ஒவ்வொரு தொகுப்பிலும் நிலையான படிவு நிலைமைகளைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில், வெவ்வேறு கருவி நிலைகளுக்கு இடையிலான படலத் தடிமன் வேறுபாடுகளைக் குறைக்க வேண்டும். இதற்கு உகந்த எதிர்மின்வாய் கட்டமைப்பு, பிளாஸ்மா பரவல், அடி மூலக்கூறு சுழற்சி, பொருத்தி அமைப்பு மற்றும் செயல்முறை அளவுருக்கள் தேவைப்படுகின்றன.
நுண்துளையிடும் பயன்பாடுகளில், பூச்சின் சீரான தன்மை என்பது வெறும் தோற்றத்தைப் பற்றிய விஷயம் மட்டுமல்ல. அது கருவியின் வடிவியல், வெட்டும் செயல்திறன், தேய்மானப் பண்பு மற்றும் துளையிடும் தரம் ஆகியவற்றை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது.
2. நிலைநிறுத்தி மற்றும் பணிப்பொருள் சுழற்சிக்கான உயர் தேவைகள்
பிசிபி நுண்துளைப்பான்களின் மெல்லிய கட்டமைப்பும் சிறிய விட்டமும், பொருத்துதல் வடிவமைப்பை மிகவும் முக்கியமானதாக ஆக்குகின்றன.
PVD படிவுச் செயல்பாட்டின் போது, கருவியின் மேற்பரப்பானது பிளாஸ்மா மற்றும் பூச்சுப் பொருட்களுக்குப் போதுமான மற்றும் ஒப்பீட்டளவில் சீரான வெளிப்பாட்டைப் பெற வேண்டும். வேலைப் பொருளின் திசையமைவு சரியாகக் கட்டுப்படுத்தப்படாவிட்டால், வெட்டும் விளிம்பு, பள்ளம், தண்டு மற்றும் முனை போன்ற பகுதிகள் வெவ்வேறு படிவு நிலைமைகளை எதிர்கொள்ளக்கூடும்.
எனவே, PCB நுண்துளைப்பான்களுக்கான பூச்சு உபகரணங்களுக்கு, மிகவும் துல்லியமான பணிப்பொருள் ஏற்றுதல் மற்றும் சுழற்றும் அமைப்பு தேவைப்படுகிறது.
பன்முனை கோள் சுழற்சி அல்லது மேம்படுத்தப்பட்ட பொருத்துவிசை இயக்கம் மூலம், பிளாஸ்மா மூலத்தைப் பொறுத்து கருவிகளின் திசையமைவைத் தொடர்ச்சியாக மாற்றி, பூச்சுப் பரவலையும் தடிமன் சீரான தன்மையையும் மேம்படுத்த முடியும்.
அதே சமயம், அந்த மின்சாதனம் போதுமான சுமை தாங்கும் திறனை வழங்குவதோடு, நிழல் விளைவுகளைக் குறைத்து, மின்னழுத்தச் சார்பு தேவைப்படும் இடங்களில் நிலையான மின் தொடர்பையும் பராமரிக்க வேண்டும்.
அதிக அளவிலான நுண்துளையிடும் இயந்திர உற்பத்திக்கு, பொருத்துதலின் சீரான தன்மையும் சம அளவில் முக்கியமானது. ஒரே ஏற்றுதல் அமைப்பானது, வெவ்வேறு உற்பத்தித் தொகுதிகளில் சீரான பூச்சு முடிவுகளைத் தர வேண்டும்.
3. மேலும் துல்லியமான பிளாஸ்மா மற்றும் அயனி ஆற்றல் கட்டுப்பாடு
ஒரு PVD பூச்சின் செயல்திறன், அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை அடையும் அயனிகளின் ஆற்றல் மற்றும் அடர்த்தியுடன் நெருங்கிய தொடர்புடையது.
PCB நுண்துளைப்பான்களைப் பொறுத்தவரை, மேற்பூச்சானது அதிகப்படியான எஞ்சிய அழுத்தத்தை ஏற்படுத்தாமலும், வெட்டும் விளிம்பைச் சேதப்படுத்தாமலும், போதுமான படல அடர்த்தியையும் ஒட்டுதலையும் கொண்டிருக்க வேண்டும்.
இது அடி மூலக்கூறு சார்பு மின்னழுத்தம், வில் மின்னோட்டம் அல்லது சிதறல் திறன், செயல்படும் அழுத்தம், பிளாஸ்மா அடர்த்தி மற்றும் அயனி ஆற்றல் ஆகியவற்றின் கட்டுப்பாட்டில் உயர் தேவைகளை விதிக்கிறது.
ஒரு நிலையான பிளாஸ்மா சூழல், உற்பத்திச் சுழற்சி முழுவதும் பூச்சு செயல்முறையில் சீரான படிவு நிலைமைகளைப் பராமரிக்க உதவுகிறது.
உயர் செயல்திறன் கொண்ட கருவிப் பூச்சுகளுக்கு, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அயனித் தாக்குதலானது பூச்சுப் படலத்தின் அடர்த்தியை அதிகரித்து, ஒட்டுதலை மேம்படுத்தும். இருப்பினும், அதிகப்படியான அயனி ஆற்றலானது பூச்சின் மீதான அழுத்தத்தை அதிகரிக்கலாம் அல்லது கருவியின் அடித்தளம் மற்றும் வெட்டும் விளிம்பில் விரும்பத்தகாத விளைவுகளை ஏற்படுத்தலாம்.
எனவே, நவீன PVD உபகரணங்களுக்கு, அதிக சக்தி வாய்ந்த படிவு மூலத்தை வழங்குவதை விட, மிகவும் துல்லியமான மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.
4. பூச்சுத் தடிமன் மற்றும் வெட்டு விளிம்பு வடிவவியலின் மேம்பட்ட கட்டுப்பாடு
PCB நுண்துளைப்பான்களைப் பொறுத்தவரை, மேற்பூச்சானது அசல் வெட்டு வடிவவியலை முடிந்தவரைப் பாதுகாக்கும் அதே வேளையில், தேய்மான எதிர்ப்பையும் மேம்படுத்த வேண்டும்.
அதிகப்படியான தடிமனான பூச்சு, பயனுள்ள விளிம்பு ஆரம் மற்றும் வெட்டு வடிவவியலை மாற்றக்கூடும், இதனால் வெட்டு விசைகள் அதிகரித்து, துளையின் தரத்தைப் பாதிக்க வாய்ப்புள்ளது. மறுபுறம், மிகவும் மெல்லிய பூச்சு போதுமான தேய்மானப் பாதுகாப்பை வழங்காமல் போகலாம்.
இதன் பொருள், PVD அமைப்பானது நன்கு கட்டுப்படுத்தப்பட்ட படிவு வீதத்தையும் படலத் தடிமனையும் அடைய வேண்டும் என்பதாகும்.
அந்த உபகரணம், வெவ்வேறு தொகுதிகளிலும் பூச்சின் தடிமன் ஒரு குறுகிய செயல்முறை வரம்பிற்குள் நிலைத்திருக்கும் வகையில், நிலையான செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்தன்மையையும் வழங்க வேண்டும்.
நுண் கருவிகளைப் பொறுத்தவரை, பூச்சுப் படலத்தின் தடிமன் கட்டுப்பாடு என்பது கருவியின் பரிமாணக் கட்டுப்பாட்டுடன் நேரடியாகத் தொடர்புடையது. எனவே, பெரிய வெட்டுக் கருவிகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் அதே செயல்முறையை அப்படியே பயன்படுத்துவதற்குப் பதிலாக, நுண் துரப்பணத்தின் உண்மையான வடிவியல் மற்றும் செயல்திறன் தேவைகளுக்கு ஏற்ப பூச்சு அமைப்பு வடிவமைக்கப்பட வேண்டும்.
5. பூச்சு ஒட்டுதலுக்கான உயர் தேவைகள்
பிசிபி நுண்துளைப்பான்கள் அதிவேக சுழற்சி மற்றும் தொடர்ச்சியான இயந்திரவியல் சுமையின் கீழ் இயங்குகின்றன. துளையிடும் போது, அதன் வெட்டும் முனையானது தாக்கம், உராய்வு, வெப்பம் மற்றும் தேய்மானத்திற்கு உள்ளாகிறது.
ஆகையால், அந்தப் பூச்சு அடித்தளத்துடன் வலுவான ஒட்டுதலைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.
சரியான ஒட்டுதல் இல்லாததால், பூச்சுப் படலம் பிரிதல், சிதைதல், உரிதல் அல்லது பூச்சு முன்கூட்டியே பழுதடைதல் போன்றவை ஏற்படலாம். இது கருவியின் ஆயுளையும் துளையிடும் தரத்தையும் நேரடியாகப் பாதிக்கிறது.
நம்பகமான ஒட்டுதலை அடைவதற்கு, PVD உபகரணங்களுக்குப் படிவு செய்வதற்கு முன்பு ஒரு திறமையான பிளாஸ்மா சுத்திகரிப்பு மற்றும் அயனி அரித்தல் அமைப்பு தேவைப்படுகிறது.
முன்-சிகிச்சைக் கட்டமானது, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பைச் செயல்படுத்துகையில், கரிம அசுத்தங்கள், ஆக்சைடுகள் மற்றும் பிற மேற்பரப்பு எச்சங்களைத் திறம்பட அகற்ற வேண்டும்.
அந்த உபகரணமானது, அடி மூலப்பொருள் மற்றும் பூச்சு அமைப்புக்கு ஏற்ப, அரிக்கும் திறன், சார்பு மின்னழுத்தம், செயல்முறை அழுத்தம் மற்றும் பதப்படுத்தும் நேரம் ஆகியவற்றைத் துல்லியமாகச் சரிசெய்யவும் அனுமதிக்க வேண்டும்.
6. குறைந்த உராய்வு மற்றும் சிறந்த உராய்வியல் செயல்திறன்
கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்புத்திறனுடன் கூடுதலாக, பூச்சின் உராய்வியல் பண்புகளும் PCB நுண்துளைப்பான்களுக்கு அதிகளவில் முக்கியத்துவம் பெற்று வருகின்றன.
அதிவேகத் துளையிடலின் போது, கருவிக்கும் வேலைப் பொருளுக்கும் இடையிலான உராய்வு வெப்பத்தை உருவாக்கி, கருவித் தேய்மானத்தை விரைவுபடுத்தக்கூடும். பொருத்தமான உராய்வுக் குணகம் கொண்ட ஒரு பூச்சு, உராய்வு இழப்புகளைக் குறைத்து, கருவியின் செயல்திறனை மேம்படுத்தும்.
எனவே, உகந்த நுண் கட்டமைப்பு, கலவை, கடினத்தன்மை, எஞ்சிய தகைவு மற்றும் உராய்வியல் பண்புகளைக் கொண்ட மேம்பட்ட பூச்சு அமைப்புகளைப் படியவைப்பதை PVD உபகரணங்கள் ஆதரிக்க வேண்டும்.
பயன்பாட்டைப் பொறுத்து, பூச்சு அமைப்புகள் TiN, TiCN, CrN, AlTiN, TiAlN, DLC, Ta-C மற்றும் பிற மேம்பட்ட கடினப் பூச்சு அமைப்புகள் போன்ற பொருட்களைக் கொண்டு வடிவமைக்கப்படலாம்.
பூச்சின் தேர்வு, அதன் கடினத்தன்மையை மட்டும் கொண்டு தீர்மானிக்கப்படுவதில்லை. அது, PCB அடி மூலப்பொருளின் தன்மை, துளையிடும் அளவுருக்கள், வேலைப் பொருளின் தன்மை, வெட்டும் வேகம் மற்றும் தேவைப்படும் கருவியின் ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றுக்குப் பொருத்தமானதாக இருக்க வேண்டும்.
7. மேலும் நிலையான வெப்ப மேலாண்மை
பல PVD செயல்முறைகளை ஒப்பீட்டளவில் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்பநிலை வரம்பில் இயக்க முடிந்தாலும், நுண்துளைப் பூச்சுக்கு வெப்ப மேலாண்மை முக்கியமானதாகவே உள்ளது.
நுண்துளைப்பான்கள் என்பவை சிறிய மற்றும் வடிவியல் ரீதியாகத் துல்லியமான பாகங்கள் ஆகும். அடிதளத்தின் அதிகப்படியான வெப்பநிலை அல்லது கட்டுப்பாடற்ற வெப்ப மாறுபாடு, அடிதளத்தின் பண்புகள், பூச்சின் நுண் கட்டமைப்பு மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைப் பாதிக்கக்கூடும்.
எனவே, PVD உபகரணமானது, படிதல் சுழற்சி முழுவதும் நிலையான அடித்தள வெப்பநிலை கண்காணிப்பையும் வெப்ப மேலாண்மையையும் வழங்க வேண்டும்.
தொகுதி உற்பத்திக்கு, பூச்சுப் பரப்பு முழுவதும் சீரான வெப்பநிலை பரவல் மிகவும் முக்கியமானது. அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையில் ஏற்படும் வேறுபாடுகள், பூச்சுப் படிதல் வீதம், பூச்சின் கலவை, கடினத்தன்மை மற்றும் எஞ்சிய அழுத்தம் ஆகியவற்றில் மாறுபாடுகளை ஏற்படுத்தக்கூடும்.
இதற்கு, பூச்சு அமைப்பானது பொருத்தமான வெப்பமூட்டல், வெப்பநிலை உணர்தல், குளிரூட்டல் மற்றும் செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டுச் செயல்பாடுகளை ஒருங்கிணைக்க வேண்டும்.
8. தொகுதி நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்தன்மைக்கான உயர் தேவைகள்
பிசிபி மைக்ரோ-டிரில்கள் அதிக அளவில் பயன்படுத்தப்படும் கருவிகள் என்பதால், உற்பத்தியில் நிலைத்தன்மை மிகவும் முக்கியமானதாகிறது.
தொழில்துறை அளவிலான உற்பத்திக்கு, பூச்சு உபகரணமானது ஒரே தொகுப்பில் நல்ல முடிவுகளைத் தருவதோடு மட்டுமல்லாமல், நூற்றுக்கணக்கான அல்லது ஆயிரக்கணக்கான பூச்சுச் சுழற்சிகளிலும் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்க வேண்டும்.
இது வெற்றிட நிலைத்தன்மை, பிளாஸ்மா நிலைத்தன்மை, மின்வழங்கல் கட்டுப்பாடு, இலக்குப் பயன்பாடு, பொருத்துதலின் மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மை, செயல்முறைக் குறிப்புகள் மற்றும் உபகரணப் பராமரிப்பு ஆகியவற்றின் மீது உயர் தேவைகளை விதிக்கிறது.
நவீன PVD அமைப்புகள், செய்முறை அடிப்படையிலான செயல்முறை நிர்வாகத்தை ஆதரிக்க வேண்டும், இதன்மூலம் முக்கிய அளவுருக்களைத் துல்லியமாகப் பதிவுசெய்து மீண்டும் உருவாக்க முடியும்.
தரப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை செய்முறைகள் மற்றும் கண்காணிப்பின் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் தொகுதிக்குத் தொகுதி ஏற்படும் மாறுபாடுகளைக் குறைத்து, மேலும் நம்பகமான செயல்முறை வரம்புகளையும் தரக்கட்டுப்பாட்டுத் தரங்களையும் நிறுவ முடியும்.
9. தானியக்கம் மற்றும் உற்பத்தித் திறனுக்கான உயர் தேவைகள்
பிசிபி நுண்துளைப்பான்கள் சிறிய விட்டங்களையும் அதிக உற்பத்தி அளவுகளையும் நோக்கி நகரும்போது, நிலையான செயல்முறைத் தொடர்ச்சியைப் பராமரிப்பதற்கு கைமுறை செயல்பாடு பொருத்தமற்றதாகி வருகிறது.
எனவே, PVD உபகரணங்கள் உயர் மட்ட தானியக்கத்தையும் அறிவார்ந்த செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டையும் வழங்க வேண்டும்.
தானியங்கி வெற்றிட உந்திச் செயல்பாடு, செய்முறை மேலாண்மை, செயல்முறை கண்காணிப்பு, எச்சரிக்கை மேலாண்மை, அளவுருப் பதிவு மற்றும் உற்பத்தித் தரவுக் கண்காணிப்பு போன்ற செயல்பாடுகள், இயக்குபவரின் சார்புநிலையைக் குறைத்து, உற்பத்தியின் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தும்.
அதிக அளவிலான பூச்சுப் பணிகளுக்கு, உபகரணங்களின் சுமை தாங்கும் திறன் மற்றும் சுழற்சி நேரம் ஆகியவையும் உகந்ததாக்கப்பட வேண்டும்.
ஒரு தொகுதிக்கு பூசப்படும் கருவிகளின் எண்ணிக்கையை அதிகரிப்பது மட்டுமல்ல நோக்கம்; மாறாக, பூச்சு அடர்த்தி, பூச்சின் சீரான தன்மை, படிவு விகிதம், செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் ஒட்டுமொத்த உற்பத்தித்திறன் ஆகியவற்றுக்கு இடையே ஒரு பொருத்தமான சமநிலையை அடைவதே ஆகும்.
10. உபகரண மேம்பாடு ஒருங்கிணைந்த செயல்திறன் கட்டுப்பாட்டை நோக்கி நகர்கிறது.
PCB நுண்துளைப்பான்களின் செயல்திறன் தேவைகள் அதிகரித்து வருவதால், PVD உபகரணங்களை இனிமேல் அவற்றின் அறை அளவு அல்லது படிவுத் திறனை மட்டும் கொண்டு மதிப்பிட முடியாது.
உயர் செயல்திறன் கொண்ட நுண்துளைப் பூச்சு அமைப்பானது, பின்வரும் பல அம்சங்களை ஒருங்கிணைக்க வேண்டும்:
வெற்றிடச் செயல்திறன், பிளாஸ்மா விநியோகம், அயனி ஆற்றல் கட்டுப்பாடு, அடிதளச் சாய்வு, பணிப்பொருள் சுழற்சி, வெப்பநிலை மேலாண்மை, பூச்சுத் தடிமன் கட்டுப்பாடு, மேற்பரப்பு முன்சிகிச்சை, செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்தன்மை மற்றும் உற்பத்தித் தன்னியக்கம்.
இந்த அளவுருக்கள் ஒன்றுக்கொன்று தொடர்பு கொள்கின்றன. ஒரே ஒரு அளவுருவை மட்டும் உகந்ததாக்குவது, விரும்பிய பூச்சு செயல்திறனை அளிக்காமல் போகலாம்.
உதாரணமாக, அயனி ஆற்றலை அதிகரிப்பது படலத்தின் அடர்த்தியையும் ஒட்டுதலையும் மேம்படுத்தக்கூடும், ஆனால் அதிகப்படியான அயனித் தாக்குதல் எஞ்சிய அழுத்தத்தையும் அதிகரிக்கக்கூடும். படிவு வீதத்தை அதிகரிப்பது உற்பத்தித்திறனை மேம்படுத்தலாம், ஆனால் அது படலத்தின் தடிமன் கட்டுப்பாடு மற்றும் சீரான தன்மையைக் கடினமாக்கக்கூடும்.
எனவே, PCB நுண்துளைப்பான்களின் உண்மையான பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, உபகரணங்களும் செயல்முறையும் ஒரு ஒருங்கிணைந்த அமைப்பாக உருவாக்கப்பட வேண்டும்.
முடிவு
PCB தொழில்நுட்பத்தின் பரிணாம வளர்ச்சியானது, நுண்துளைப்பான்களைச் சிறிய பரிமாணங்கள், அதிகத் துல்லியம், அதிவேகத் துளையிடல், நீண்ட கருவி ஆயுள் மற்றும் மேலும் சவாலான மேற்பரப்புச் செயல்திறன் ஆகியவற்றை நோக்கிச் செலுத்துகிறது. இந்தப் போக்குகள், நுண்துளைப்பான்களுக்குப் பூச்சு பூசப் பயன்படுத்தப்படும் PVD உபகரணங்களுக்கான தொழில்நுட்பத் தேவைகளையும் அதிகரிக்கின்றன.
வழக்கமான கருவிப் பூச்சுடன் ஒப்பிடுகையில், PCB நுண்துளைப் பூச்சானது, படலத் தடிமன் சீரான தன்மை, துல்லியமான பூச்சுக் கட்டுப்பாடு, பூச்சு ஒட்டுதல், வெட்டு விளிம்புப் பாதுகாப்பு, உராய்வியல் செயல்திறன், வெப்ப நிலைத்தன்மை, தொகுதி நிலைத்தன்மை மற்றும் உற்பத்தித் திறன் ஆகியவற்றிற்கு அதிக முக்கியத்துவம் அளிக்கிறது.
எனவே, நுண்துளை PVD உபகரணங்களின் எதிர்கால வளர்ச்சியானது, கடினமான படலங்களைப் படியவைப்பதில் மட்டும் கவனம் செலுத்தாமல், முழுமையான அடிமூலக்கூறு–இடைமுகம்–பூச்சு அமைப்பின் மீது மிகவும் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அடைவதிலும் கவனம் செலுத்தும்.
மேம்படுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா மூலங்கள், துல்லியமான சாய்வுக் கட்டுப்பாடு, சீரான பணிப்பொருள் சுழற்சி, நிலையான வெப்ப மேலாண்மை, மேம்பட்ட செயல்முறை கண்காணிப்பு மற்றும் தானியங்கு உற்பத்திக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைப்பதன் மூலம், PVD பூச்சு உபகரணங்களால் உயர் செயல்திறன் கொண்ட PCB நுண்துளைப்பான்களுக்கு மிகவும் சீரான மேற்பரப்புப் பொறியியல் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.
எனவே, PCB நுண்துளைப்பான் உற்பத்தியாளர்களைப் பொறுத்தவரை, சரியான பூச்சு உபகரணத்தைத் தேர்ந்தெடுப்பது என்பது, பூச்சுப் பொருள் அல்லது அறைத் திறனை மட்டும் அடிப்படையாகக் கொண்டிருக்கக் கூடாது; மாறாக, அந்த உபகரணத்தின் சீரான பூச்சுப் படிதல் திறன், துல்லியமான செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு, தொகுதிக்குத் தொகுதி நிலையான மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் தன்மை, மற்றும் நுண்கருவிகளின் குறிப்பிட்ட வடிவியல் மற்றும் செயல்திறன் தேவைகளுடன் பொருந்தக்கூடிய தன்மை ஆகியவற்றையும் சார்ந்திருக்க வேண்டும்.
-இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரண உற்பத்தியாளர்ஜென்ஹுவா வெற்றிடம்
பதிவிட்ட நேரம்: செப்-24-2026