Өндөр нягтралтай холболтын (HDI) хэлхээний самбар, өндөр давхаргатай самбар, нарийн давирхайтай холболт, өндөр давтамжтай/өндөр хурдтай хэрэглээний тасралтгүй хөгжлөөр хэлхээний бичил өрөм нь хэмжээст нарийвчлал, өрөмдлөгийн тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй байдал, ашиглалтын хугацаанд улам бүр өндөр шаардлага тавьж байна.
Багажны гүйцэтгэлийг сайжруулах гадаргуугийн инженерчлэлийн гол технологийн нэг болох PVD бүрэлт нь бичил өрмийн хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй байдал, үрэлтийн шинж чанар, дулааны тогтвортой байдлыг мэдэгдэхүйц сайжруулж чаддаг. Гэсэн хэдий ч уламжлалт зүсэх багажтай харьцуулахад PCB бичил өрөм нь жижиг хэмжээстэй, илүү нарийн геометртэй, бүрэх жигд байдал болон процессын тогтвортой байдалд илүү хатуу шаардлага тавьдаг.
Эдгээр шинж чанарууд нь вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж, бэхэлгээний дизайн, плазмын тархалт, процессын хяналт, PVD системийн үйлдвэрлэлийн автоматжуулалтад шинэ шаардлага тавьдаг.
1. Багажны хэмжээ бага байх тусам бүрэх жигд байдал өндөр байх шаардлагатай
Хэлхээний хэлхээний бичил өрөм нь ихэвчлэн жижиг диаметртэй, нарийхан геометртэй байдаг. Хэрэглээнээс хамааран багажны диаметр нь 1 мм-ээс хамаагүй бага байж болох тул бүрэх жигд байдлыг чухал процессын параметр болгодог.
Уламжлалт багаж хэрэгслийн хувьд бүрэх зузааны харьцангуй бага хэлбэлзэл нь багажны нийт гүйцэтгэлд хязгаарлагдмал нөлөө үзүүлж болно. Гэсэн хэдий ч бичил өрмийн хувьд бүрэх зузаан бага зэрэг нэмэгдсэн ч гэсэн зүсэлтийн ирмэгийн геометр, лимбэний профайл, үзүүрийн геометр, хэмжээст нарийвчлалд нөлөөлж болно.
Тиймээс PVD тоног төхөөрөмж нь үр дүнтэй ачааллын талбайд ионы урсгал болон бүрэх тунадасыг маш жигд байлгах шаардлагатай.
Бүрэх систем нь багцаас багцад тогтвортой тунадасжуулалтын нөхцлийг хадгалахын зэрэгцээ багажны янз бүрийн байрлалуудын хоорондох хальсны зузааны зөрүүг багасгах ёстой. Үүний тулд катодын оновчтой тохиргоо, плазмын тархалт, субстратын эргэлт, бэхэлгээний бүтэц, процессын параметрүүдийг шаарддаг.
Микро өрмийн хэрэглээний хувьд бүрэх жигд байдал нь зөвхөн гадаад төрх байдлын асуудал биш юм. Энэ нь багажны геометр, зүсэх гүйцэтгэл, элэгдлийн шинж чанар, өрөмдлөгийн чанарт шууд нөлөөлдөг.
2. Бэхэлгээ болон ажлын хэсгийг эргүүлэхэд тавигдах өндөр шаардлага
ПХБ-ийн бичил өрмийн нарийхан бүтэц, жижиг диаметр нь бэхэлгээний дизайныг онцгой чухал болгодог.
PVD-ийн тунадасжуулалтын үед багажны гадаргуу нь плазм болон бүрэх материалын төрөл зүйлд хангалттай бөгөөд харьцангуй жигд өртөх ёстой. Хэрэв ажлын хэсгийн чиглэлийг зөв хянаж чадахгүй бол зүсэлтийн ирмэг, лимбэ, иш, үзүүр зэрэг хэсгүүдэд өөр өөр тунадасжуулалтын нөхцөл үүсч болно.
Тиймээс PCB микро өрөмдлөгийн бүрэх тоног төхөөрөмж нь илүү нарийвчлалтай ажлын хэсгийг ачаалах, эргүүлэх системийг шаарддаг.
Олон тэнхлэгт гаригийн эргэлт эсвэл оновчтой бэхэлгээний хөдөлгөөн нь плазмын эх үүсвэртэй харьцуулахад багажны чиглэлийг тасралтгүй өөрчилж, бүрхүүлийн бүрхүүл болон зузааны жигд байдлыг сайжруулж чаддаг.
Үүний зэрэгцээ, бэхэлгээ нь сүүдэрлэх нөлөөллийг багасгахын зэрэгцээ хазайлт шаардлагатай үед цахилгааны тогтвортой холбоо барих чадварыг хангахын зэрэгцээ хангалттай ачааллын багтаамжийг хангах ёстой.
Өндөр хэмжээний бичил өрөм үйлдвэрлэхэд бэхэлгээний давтагдах чадвар нь адилхан чухал юм. Ижил ачааллын тохиргоо нь өөр өөр үйлдвэрлэлийн багцуудад жигд бүрэх үр дүнг өгөх ёстой.
3. Илүү нарийвчлалтай плазм ба ионы энергийн хяналт
PVD бүрхүүлийн гүйцэтгэл нь субстратын гадаргуу дээр хүрч буй ионуудын энерги ба нягтралтай нягт холбоотой байдаг.
Хэлхээний хэлхээний бичил өрмийн хувьд бүрхүүл нь хэт их үлдэгдэл стресс үүсгэхгүй эсвэл зүсэлтийн ирмэгийг гэмтээхгүйгээр хангалттай нягтралтай хальс болон наалдацтай байх ёстой.
Энэ нь субстратын хэвийсэн хүчдэл, нуман гүйдэл эсвэл цацалтын хүч, ажлын даралт, плазмын нягтрал болон ионы энергийн хяналтад илүү өндөр шаардлага тавьдаг.
Тогтвортой плазмын орчин нь бүрэх процессыг үйлдвэрлэлийн мөчлөгийн туршид тогтвортой тунадасны нөхцлийг хадгалах боломжийг олгодог.
Өндөр хүчин чадалтай багажны бүрээсний хувьд хяналттай ионы бөмбөгдөлт нь хальсны нягтралыг нэмэгдүүлж, наалдацыг сайжруулж чадна. Гэсэн хэдий ч хэт их ионы энерги нь бүрээсний стрессийг нэмэгдүүлэх эсвэл багажны суурь болон зүсэлтийн ирмэг дээр хүсээгүй нөлөө үзүүлж болзошгүй.
Тиймээс орчин үеийн PVD тоног төхөөрөмж нь зүгээр л өндөр хүчин чадлын тунадасны эх үүсвэрээр хангахаас илүүтэй илүү нарийвчлалтай, давтагдах боломжтой процессын хяналт шаарддаг.
4. Бүрхүүлийн зузаан болон хамгийн сүүлийн үеийн геометрийг илүү сайн хянах
Хэлхээний хэлхээний бичил өрмийн хувьд бүрхүүл нь анхны зүсэлтийн геометрийг аль болох хадгалахын зэрэгцээ элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг сайжруулах ёстой.
Хэт зузаан бүрхүүл нь үр дүнтэй ирмэгийн радиус болон зүсэлтийн геометрийг өөрчилж, зүсэх хүчийг нэмэгдүүлж, нүхний чанарт нөлөөлж болзошгүй. Нөгөөтэйгүүр, хэт нимгэн бүрхүүл нь элэгдэлд хангалттай хамгаалалт өгөхгүй байж магадгүй юм.
Энэ нь PVD систем нь тунадасны хурд болон хальсны зузааныг сайн хянасан байх ёстой гэсэн үг юм.
Тоног төхөөрөмж нь мөн тогтвортой процессын давтагдах чадварыг хангах ёстой бөгөөд ингэснээр бүрхүүлийн зузаан нь өөр өөр багцуудын нарийн процессын цонхонд хэвээр байх болно.
Микро багажны хувьд хальсны зузааны хяналт нь багажны хэмжээст хяналттай шууд холбогддог. Тиймээс бүрэх системийг том зүсэх багажны хувьд ашигладаг ижил процессыг ашиглахын оронд микро өрмийн бодит геометр болон гүйцэтгэлийн шаардлагын дагуу зохион бүтээх ёстой.
5. Бүрхүүлийн наалдамхай чанарт тавигдах өндөр шаардлага
Хэлхээний хэлхээний бичил өрөм нь өндөр хурдтай эргэлт болон давтан механик ачааллын дор ажилладаг. Өрөмдлөгийн үед зүсэлтийн ирмэг нь цохилт, үрэлт, халуунд болон зүлгүүрийн элэгдэлд өртдөг.
Тиймээс бүрхүүл нь суурьтай хүчтэй наалдсан байх ёстой.
Муу наалдац нь бүрээсийн хальслах, хагарах, хальслах, эсвэл бүрээс дутуу эвдэрэхэд хүргэдэг бөгөөд энэ нь багажны ашиглалтын хугацаа болон өрөмдлөгийн чанарт шууд нөлөөлдөг.
Найдвартай наалдацыг бий болгохын тулд PVD тоног төхөөрөмжийг тунадасжуулахаас өмнө үр дүнтэй плазмын цэвэрлэгээ болон ионы сийлбэрийн систем шаардлагатай.
Боловсруулалтын өмнөх үе шат нь субстратын гадаргууг идэвхжүүлэхийн зэрэгцээ органик бохирдуулагч, исэл болон бусад гадаргуугийн үлдэгдлийг үр дүнтэй арилгах ёстой.
Тоног төхөөрөмж нь суурь материал болон бүрэх системийн дагуу сийлбэрийн хүч, хэвийсэн хүчдэл, процессын даралт, боловсруулалтын хугацааг нарийн тохируулах боломжийг олгох ёстой.
6. Үрэлт багасах ба трибологийн гүйцэтгэл сайжирна
Хатуулаг болон элэгдэлд тэсвэртэй байдлаас гадна бүрхүүлийн трибологийн шинж чанар нь PCB микро өрөмдлөгийн хувьд улам бүр чухал болж байна.
Өндөр хурдтай өрөмдлөгийн үед багаж болон ажлын хэсгийн хоорондох үрэлт нь дулаан үүсгэж, багажны элэгдлийг хурдасгадаг. Тохирох үрэлтийн коэффициент бүхий бүрээс нь үрэлтийн алдагдлыг бууруулж, багажны ажиллагааг сайжруулдаг.
Тиймээс PVD тоног төхөөрөмж нь оновчтой бичил бүтэц, найрлага, хатуулаг, үлдэгдэл стресс, трибологийн шинж чанартай дэвшилтэт бүрхүүлийн системийг хуримтлуулахыг дэмжих шаардлагатай.
Хэрэглээнээс хамааран бүрэх системийг TiN, TiCN, CrN, AlTiN, TiAlN, DLC, Ta-C болон бусад дэвшилтэт хатуу бүрэх системүүд зэрэг материалуудын дагуу зохион бүтээж болно.
Бүрхүүлийн сонголтыг зөвхөн хатуулаг тодорхойлдоггүй. Энэ нь хэлхээний суурь материал, өрөмдлөгийн параметрүүд, ажлын материал, зүсэх хурд, шаардлагатай багажны ашиглалтын хугацаатай тохирч байх ёстой.
7. Илүү тогтвортой дулааны менежмент
Хэдийгээр олон PVD процессыг харьцангуй хяналттай температурын хүрээнд ажиллуулж болох ч бичил өрмийн бүрхүүлийн хувьд дулааны менежмент чухал хэвээр байна.
Микро өрөм нь жижиг бөгөөд геометрийн хувьд нарийн эд ангиуд юм. Хэт их температур эсвэл хяналтгүй дулааны хэлбэлзэл нь суурийн шинж чанар, бүрхүүлийн бичил бүтэц, хэмжээст тогтвортой байдалд нөлөөлж болзошгүй.
Тиймээс PVD тоног төхөөрөмж нь тунадасны мөчлөгийн туршид субстратын температурын тогтвортой хяналт болон дулааны менежментийг хангах ёстой.
Ачааллын талбайн температурын жигд тархалт нь цуврал үйлдвэрлэлд онцгой чухал юм. Суурийн температурын зөрүү нь тунадасны хурд, бүрэх найрлага, хатуулаг болон үлдэгдэл стрессийн хэлбэлзэлд хүргэж болзошгүй.
Энэ нь бүрхүүлийн систем нь зохих халаалт, температур мэдрэгч, хөргөлт болон процессын хяналтын функцуудыг нэгтгэхийг шаарддаг.
8. Багцын тогтвортой байдал болон процессын давтагдах чадварт тавигдах өндөр шаардлага
Хэлхээний хэлхээний бичил өрөм нь их хэмжээний хэрэглээний хэрэгсэл тул үйлдвэрлэлийн тогтвортой байдлыг онцгой чухал болгодог.
Аж үйлдвэрийн хэмжээний үйлдвэрлэлийн хувьд бүрэх төхөөрөмж нь зөвхөн нэг багцад сайн үр дүн гаргахаас гадна хэдэн зуун эсвэл мянган бүрэх мөчлөгийн туршид тогтвортой ажиллагааг хангах ёстой.
Энэ нь вакуум тогтвортой байдал, плазмын тогтвортой байдал, цахилгаан хангамжийн хяналт, зорилтот ашиглалт, бэхэлгээний давтагдах чадвар, процессын жор, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээнд илүү өндөр шаардлага тавьдаг.
Орчин үеийн PVD системүүд нь жор дээр суурилсан үйл явцын менежментийг дэмжиж, гол параметрүүдийг үнэн зөв бүртгэж, хуулбарлах боломжийг олгох ёстой.
Стандартчилагдсан процессын жор болон хяналт шинжилгээний тусламжтайгаар үйлдвэрлэгчид багц хоорондын хэлбэлзлийг багасгаж, илүү найдвартай процессын цонх болон чанарын хяналтын стандартыг бий болгож чадна.
9. Автоматжуулалт болон үйлдвэрлэлийн үр ашгийн өндөр шаардлага
Хэлхээний хэлхээний бичил өрөм нь жижиг диаметртэй, үйлдвэрлэлийн хэмжээ ихтэй болох тусам гар ажиллагаа нь процессын тогтвортой байдлыг хадгалахад улам бүр тохиромжгүй болж байна.
Тиймээс PVD тоног төхөөрөмж нь илүү өндөр түвшний автоматжуулалт болон ухаалаг үйл явцын хяналтыг хангах шаардлагатай.
Автомат вакуум шахах, жорын удирдлага, процессын хяналт, дохиоллын удирдлага, параметрийн бичлэг, үйлдвэрлэлийн өгөгдлийг хянах зэрэг функцууд нь операторын хамаарлыг бууруулж, үйлдвэрлэлийн тогтвортой байдлыг сайжруулж чадна.
Их хэмжээний бүрхүүлийн үйл ажиллагааны хувьд тоног төхөөрөмжийн ачааллын багтаамж болон мөчлөгийн хугацааг оновчтой болгох шаардлагатай.
Зорилго нь зүгээр л нэг багцад бүрсэн багаж хэрэгслийн тоог нэмэгдүүлэх биш, харин ачааллын нягтрал, бүрэх жигд байдал, тунадасны хурд, процессын тогтвортой байдал, нийт бүтээмжийн хооронд зохих тэнцвэрт байдалд хүрэх явдал юм.
10. Тоног төхөөрөмжийн хөгжил нь нэгдсэн гүйцэтгэлийн хяналт руу шилжиж байна
ПХБ-ийн бичил өрмийн гүйцэтгэлийн шаардлага нэмэгдэж байгаа нь PVD төхөөрөмжийг зөвхөн камерын хэмжээ эсвэл тунадасны хүчин чадлаар үнэлэх боломжгүй болсон гэсэн үг юм.
Өндөр хүчин чадалтай бичил өрмийн бүрхүүлийн систем нь дараахь зүйлийг багтаасан олон талыг нэгтгэх шаардлагатай.
Вакуум гүйцэтгэл, плазмын тархалт, ионы энергийн хяналт, субстратын хэвийлт, ажлын хэсгийн эргэлт, температурын удирдлага, бүрэх зузааны хяналт, гадаргуугийн урьдчилсан боловсруулалт, процессын давтагдах чадвар, үйлдвэрлэлийн автоматжуулалт.
Эдгээр параметрүүд хоорондоо харилцан үйлчилдэг. Зөвхөн нэг параметрийг оновчтой болгох нь хүссэн бүрэх гүйцэтгэлийг өгөхгүй байж магадгүй.
Жишээлбэл, ионы энергийг нэмэгдүүлэх нь хальсны нягтрал болон наалдацыг сайжруулж болох ч ионы хэт их бөмбөгдөлт нь үлдэгдэл стрессийг нэмэгдүүлж болзошгүй. Тунадасны хурдыг нэмэгдүүлэх нь бүтээмжийг сайжруулж болох ч хальсны зузааны хяналт болон жигд байдлыг илүү хүндрүүлж болзошгүй.
Тиймээс тоног төхөөрөмж болон процессыг PCB бичил өрмийн бодит хэрэглээний шаардлагын дагуу нэгдсэн систем болгон хөгжүүлэх шаардлагатай.
Дүгнэлт
Хэвлэлийн хэлхээний технологийн хувьсал нь бичил өрөмдлөгийг жижиг хэмжээс, өндөр нарийвчлал, өндөр өрөмдлөгийн хурд, багажны ашиглалтын хугацаа урт, гадаргуугийн гүйцэтгэл илүү өндөр байх чиглэлд түлхэж байна. Эдгээр чиг хандлага нь бичил өрөмдлөгийг бүрэхэд ашигладаг PVD тоног төхөөрөмжийн техникийн шаардлагыг нэмэгдүүлж байна.
Уламжлалт багажны бүрээстэй харьцуулахад PCB бичил өрмийн бүрээс нь хальсны зузааны жигд байдал, бүрээсийн нарийн хяналт, бүрээсийн наалдац, хамгийн сүүлийн үеийн хамгаалалт, трибологийн гүйцэтгэл, дулааны тогтвортой байдал, багцын нягтрал, үйлдвэрлэлийн үр ашигт илүү их ач холбогдол өгдөг.
Тиймээс бичил өрмийн PVD тоног төхөөрөмжийн ирээдүйн хөгжил нь зөвхөн хатуу хальсыг хуримтлуулахад төдийгүй, бүхэл бүтэн суурь-интерфэйс-бүрэх системийг илүү нарийвчлалтай хянахад чиглэгдэх болно.
Оновчтой плазмын эх үүсвэр, нарийн хэвийх утгын хяналт, ажлын хэсгийн жигд эргэлт, тогтвортой дулааны удирдлага, дэвшилтэт процессын хяналт, автоматжуулсан үйлдвэрлэлийн хяналтыг хослуулснаар PVD бүрэх төхөөрөмж нь өндөр хүчин чадалтай PCB микро өрөмдлөгийн илүү тогтвортой гадаргуугийн инженерчлэлийн шийдлийг хангах боломжтой.
Тиймээс ПХБ-ийн бичил өрөм үйлдвэрлэгчдийн хувьд зөв бүрэх төхөөрөмжийг сонгох нь зөвхөн бүрэх материал эсвэл камерын багтаамжаас гадна тоног төхөөрөмжийн жигд тунадасжуулалт, нарийн процессын хяналт, тогтвортой багцаас багцад давтагдах чадвар, бичил багаж хэрэгслийн тодорхой геометр болон гүйцэтгэлийн шаардлагад нийцэх чадварт үндэслэсэн байх ёстой.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчЖэнхуа тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 9-р сарын 24