E-strålevakuumbeläggning, eller elektronstrålefysisk ångdeponering (EBPVD), är en process som används för att deponera tunna filmer eller beläggningar på olika ytor. Det innebär att en elektronstråle används för att värma och förånga ett beläggningsmaterial (som metall eller keramik) i en högvakuumkammare. Det förångade materialet kondenserar sedan på ett målsubstrat och bildar en tunn, enhetlig beläggning.
Viktiga komponenter:
- Elektronstrålekälla: En fokuserad elektronstråle värmer upp beläggningsmaterialet.
- Beläggningsmaterial: Vanligtvis metaller eller keramik, placerade i en degel eller bricka.
- Vakuumkammare: Bibehåller en lågtrycksmiljö, vilket är avgörande för att förhindra kontaminering och låta det förångade materialet röra sig i raka linjer.
- Substrat: Det objekt som ska beläggas, placerat för att samla upp det förångade materialet.
Fördelar:
- Högrena beläggningar: Vakuummiljön minimerar kontaminering.
- Exakt kontroll: Beläggningens tjocklek och jämnhet kan finjusteras.
- Bred materialkompatibilitet: Lämplig för metaller, oxider och andra material.
- Stark vidhäftning: Processen leder till utmärkt bindning mellan beläggningen och underlaget.
Användningsområden:
- Optik: Antireflexbeläggningar och skyddande beläggningar på linser och speglar.
- Halvledare: Tunna metalllager för elektronik.
- Flygindustrin: Skyddande beläggningar för turbinblad.
- Medicintekniska produkter: Biokompatibla beläggningar för implantat.
–Denna artikel är publicerad by tillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 25 sep-2024