Mekhoa ea sejoale-joale ea ho koahela ka vacuum, mohloli oa ion o bapala karolo ea bohlokoa e le yuniti ea bohlokoa ea thuso 'me o sebelisoa haholo ho PVD (Physical Vapor Deposition) lesekoahelo sa mahlomasimo. Ha e susumetse feela ho teteana le ho khomarela ha lera la ho koahela empa hape e ama ka ho toba botsitso le chai ea sehlahisoa. Joale, karolo ea mohloli oa ioni ke efe hantle ts'ebetsong ea ho koahela? Molao-motheo oa eona oa ho sebetsa ke ofe? Sehlooho sena se tla fana ka tlhahlobo e qaqileng.
Mohloli oa Ion ke eng?
Mohlodi wa ion ke sesebediswa se hlahisang le ho potlakisa di-ion tikolohong e se nang letho. Ka mekgwa e kang ho sisinya plasma le ho phatloha ha kgase e sa nke lehlakore, mohlodi wa ion o lokolla mahlasedi a ion a matla a mangata, a ka sebelisanang le bokahodimo ba substrate kapa lera le lesesane la filimi le ntseng le hola ho etsa mesebetsi e mengata, jwalo ka ho hlwekisa, ho thusa ho boloka le ho ntlafatsa kgomarelo.
Mefuta e tloaelehileng ea mehloli ea li-ion e kenyelletsa: Mohloli oa Thermionic Ion; Mohloli oa Ion oa Cathode e se nang letho; Mohloli oa Ion oa Multipole (o atisang ho sebelisoa bakeng sa thuso ea matla a tlase); Mesebetsi ea Bohlokoa ea Mohloli oa Ion
1. Kalafo ea pele ho substrate: Ho ntlafatsa ho khomarela
Pele ho tshelwa, bokaholimo ba substrate hangata bo na le di-oxide, ditshila tsa tlhaho, le ditshila tse ding. Ho sebedisa mohlodi wa ion bakeng sa ho Hloekisa Ion ho ka tlosa ditshila tsena tsa bokaholimo ka katleho, ho ntlafatsa matla a ho kopanya pakeng tsa filimi le substrate. Ha ho bapiswa le mekgwa ya setso ya ho hlwekisa, ho hlwekisa mahlasedi a ion ho fana ka melemo e kang ho se amehe, ho se senye, le ho sebetsa hantle haholo.
2. Ho Thusa ho Hlahisa: Ho Ntlafatsa Sebopeho sa Filimi
Nakong ea ts'ebetso ea ho beha, mahlaseli a ion a ka sebetsa e le "mohloli oa matla o thusang" ho ntlafatsa bokhoni ba ho falla ha athomo ea liathomo nakong ea kholo ea filimi. Sena se lebisa ho thehoeng ha lifilimi tse teteaneng, tse tsitsitseng haholoanyane le tse ts'oanang. Sena se bohlokoa haholo bakeng sa liaparo tsa optical, liaparo tse thata, le lits'ebetso tse ling moo ho hlokahalang boima bo phahameng le khatello e tlase.
3. Ho Laola Khatello ea Filimi le Sebopeho sa Bokaholimo
Ka ho fetola matla le sekhutlo sa mahlasedi a ion, kgatello ya ka hare, boholo ba dithollo, esita le ho ba thata ha filimi di ka laolwa ka katleho. Mohlala, ha ho lokiswa difilimi tsa tshitiso ya mahlakore a mangata kapa difilimi tsa optical tse nepahetseng haholo, thuso ya mohlodi wa ion e ka thibela diphoso tse tlwaelehileng tse kang "dikoti" le "ho ntsha dikotwana," ho ntlafatsa botsitso le ho tshwarella ha filimi.
4. Ho Ntlafatsa ho Tiea ha Seaparo le Tlhahiso
Ka thuso ea mohloli oa ioni, sebopeho se tšoanang sa ho roala se ka finyelloa libakeng tse kholo tsa mosebetsi, haholo-holo tse nang le libaka tse rarahaneng tse kobehileng kapa likarolo tse kholo tsa khalase le polasetiki bakeng sa ho roala ka mahlo. Sena se thusa ho ntlafatsa chai le taolo ea ho pheta-pheta tlhahisong ea bongata.
Maemo a Ts'ebeliso ea Mehloli ea Ion Mekhoeng e Sebetsang
Ho Hlahisa Filimi ea Optical: Ho ntlafatsa thepa ea optical le ho khomarela ha lifilimi tse nepahetseng joalo ka lipente tse thibelang ho bonahatsa, lifilimi tse bonahatsang haholo, le li-filter tsa optical.
Tokisetso ea ho Koahela ka Thata: Ntlafatsa bongata ba filimi le ts'ebetso ea ho thibela ho peelha ha litsamaiso tsa lifilimi tse thata joalo ka DLC (Diamond-Like Carbon), TiN, le CrN.
Liaparo tsa ka Hare tsa Likoloi: Ntlafatsa botsitso ba 'mala le ho khomarela ha seaparo, e leng se eketsang bophelo ba tšebeletso.
Kalafo ea Likarolo tsa Elektroniki holim'a bokaholimo: Netefatsa botsitso ba sebopeho se sesesaane sa filimi le ts'ebetso ea maqhubu a phahameng.
Mohlodi wa ion ke karolo ya bohlokwa ya "boleng bo ekeditsweng" ditsamaisong tsa sejwalejwale tsa ho roka. Ka ho hlahisa phallo ya ion e laolehang e nang le matla a mangata, e bapala karolo ya bohlokwa mehatong e fapaneng ya tshebetso ya ho bea filimi. Ebang ke ho ntlafatsa kgomarelo, ho ntlafatsa sebopeho, ho laola kgatello ya maikutlo, kapa ho ntlafatsa botsitso, mohlodi wa ion o fana ka tshehetso e matla bakeng sa ho fihlella dikobo tsa vacuum tsa boleng bo hodimo le tse sebetsang hantle.
Ha ditlhoko tsa tshebetso di ntse di eketseha masimong a kang dipontsho tsa mahlo, di-elektroniki tse nepahetseng, le tlhahiso ya dikoloi, boqapi ba theknoloji ya mohlodi wa ion le bona e tla ba matla a bohlokwa a ho kganna ho ntshetsa pele ditshebetso tsa ho roala ka vacuum ho ya maemong a hodimo.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Phupu-05-2025