I nā kaʻina hana uhi vacuum hou, hoʻokani ke kumu ion i kahi kuleana koʻikoʻi ma ke ʻano he ʻāpana kōkua koʻikoʻi a hoʻohana nui ʻia i ka PVD (Physical Vapor Deposition) a meuhi ʻike makanā mahinaʻai. ʻAʻole ia e hoʻopili wale i ka mānoanoa a me ka hoʻopili ʻana o ka papa uhi akā pili pololei hoʻi i ke kūlike o ka huahana a me ka hua. No laila, he aha ke kuleana o ke kumu ion i ke kaʻina hana uhi? He aha kāna kumu hana? E hāʻawi kēia ʻatikala i kahi loiloi kikoʻī.
He aha kahi kumu ion?
ʻO ke kumu ion kahi mea hana e hoʻopuka a hoʻolalelale i nā ion i loko o kahi ʻano hakahaka. Ma o nā ʻano hana e like me ka hoʻonāukiuki plasma a me ka hoʻopōkā kinoea kūlike ʻole, hoʻokuʻu ke kumu ion i nā kukuna ion ikehu kiʻekiʻe, hiki ke launa pū me ka ʻili substrate a i ʻole ka papa ʻili lahilahi e ulu ana e hana i nā hana he nui, e like me ka hoʻomaʻemaʻe, ke kōkua ʻana i ka waiho ʻana, a me ka hoʻoikaika ʻana i ka hoʻopili ʻana.
ʻO nā ʻano maʻamau o nā kumu ion: Kumu Ion Thermionic; Kumu Ion Hollow Cathode; Kumu Ion Multipole (hoʻohana pinepine ʻia no ke kōkua ikehu haʻahaʻa); Nā Hana Koʻikoʻi o ke Kumu Ion
1. Ka mālama mua ʻana o ka substrate: Hoʻoikaika i ka hoʻopili ʻana
Ma mua o ke kau ʻana, loaʻa pinepine i ka ʻili o ka substrate nā oxides, nā mea haumia organik, a me nā mea haumia ʻē aʻe. ʻO ka hoʻohana ʻana i kahi kumu ion no ka hoʻomaʻemaʻe Ion hiki ke wehe pono i kēia mau mea haumia o ka ʻili, e hoʻomaikaʻi ana i ka ikaika o ka hoʻopaʻa ʻana ma waena o ka ʻili a me ka substrate. Ke hoʻohālikelike ʻia me nā ʻano hoʻomaʻemaʻe kuʻuna, hāʻawi ka hoʻomaʻemaʻe kukuna ion i nā pono e like me ka contactless, non-destructive, a me ka hana kiʻekiʻe.
2. Kōkua i ka waiho ʻana: Hoʻomaikaʻi i ke ʻano o ka kiʻiʻoniʻoni
I ke kaʻina hana hoʻokomo ʻana, hiki i ke kukuna ion ke hana ma ke ʻano he "kumu ikehu kōkua" e hoʻonui i ka hiki ke neʻe ʻana o nā ʻātoma i ka wā o ka ulu ʻana o ka ʻili. Ke alakaʻi nei kēia i ka hoʻokumu ʻia ʻana o nā ʻili ʻoi aku ka paʻa, ʻoi aku ka paʻa, a me ke ʻano like. He mea nui loa kēia no nā uhi optical, nā uhi paʻakikī, a me nā noi ʻē aʻe kahi e pono ai ka nui o ka density a me ke kaumaha haʻahaʻa.
3. Ke kāohi nei i ke kaumaha o ke kiʻiʻoniʻoni a me ke ʻano o ka ʻili
Ma ka hoʻoponopono ʻana i ka ikehu a me ke kihi o ke kukuna ion, hiki ke hoʻomalu pono ʻia ke koʻikoʻi kūloko, ka nui o ka palaoa, a me ke ʻano liʻiliʻi o ke kiʻiʻoniʻoni. No ka laʻana, i ka hoʻomākaukau ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni hoʻopilikia multilayer a i ʻole nā kiʻiʻoniʻoni optical kiʻekiʻe, hiki i ke kōkua kumu ion ke pale i nā hemahema maʻamau e like me nā "pinholes" a me ka "delamination," e hoʻomaikaʻi ana i ke kūlike a me ke kūpaʻa o ke kiʻiʻoniʻoni.
4. Hoʻonui i ke kūlike o ka uhi ʻana a me ka hua
Me ke kōkua o ke kumu ion, hiki ke hoʻokō ʻia kahi ʻano uhi like ʻole ma nā ʻāpana hana nui, ʻoiai nā mea me nā ʻili piʻo paʻakikī a i ʻole nā ʻāpana aniani a me nā ʻāpana plastik nui no ka uhi ʻana i ka optical. Kōkua kēia i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka hua a me ka kaohi hana hou ʻana i ka hana nui.
Nā hiʻohiʻona noi o nā kumu Ion i nā kaʻina hana kūpono
Hoʻokaʻawale ʻana o ka ʻIliʻoniʻoni Optical: Hoʻonui i nā waiwai optical a me ka hoʻopili ʻana o nā ʻiliʻoniʻoni pololei e like me nā uhi anti-reflective, nā ʻiliʻoniʻoni kiʻekiʻe-reflection, a me nā kānana optical.
Ka Hoʻomākaukau ʻana no ka Uhi Paʻakikī: Hoʻomaikaʻi i ka nui o ke kiʻiʻoniʻoni a me ka hana anti-peel i nā ʻōnaehana kiʻiʻoniʻoni paʻakikī kiʻekiʻe e like me DLC (Diamond-Like Carbon), TiN, a me CrN.
Nā Uhi Kūloko o ke Kaʻa: Hoʻomaikaʻi i ke kūlike o ke kala a me ka hoʻopili ʻana o ka uhi ʻana, e hoʻolōʻihi ana i ke ola lawelawe.
Ka mālama ʻana i ka ʻili o nā ʻāpana uila: E hōʻoia i ke kūpaʻa o ka ʻano kiʻiʻoniʻoni lahilahi a me ka hana alapine kiʻekiʻe.
ʻO ke kumu ion kahi ʻāpana "waiwai hoʻohui" koʻikoʻi i nā ʻōnaehana uhi hou. Ma ka hoʻolauna ʻana i kahi kahe ion ikehu kiʻekiʻe hiki ke hoʻokele ʻia, he kuleana koʻikoʻi ia ma nā pae like ʻole o ke kaʻina hana waiho ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni. Inā paha e hoʻomaikaʻi ana i ka hoʻopili ʻana, e hoʻomaikaʻi ana i ke ʻano, e kāohi ana i ke kaumaha, a i ʻole e hoʻomaikaʻi ana i ke kūlike, hāʻawi ke kumu ion i ke kākoʻo ikaika no ka hoʻokō ʻana i nā uhi vacuum kiʻekiʻe a hana kiʻekiʻe.
I ka hoʻomau ʻana o nā koi hana i nā kahua e like me nā hōʻikeʻike optical, nā mea uila pololei, a me ka hana ʻana o nā kaʻa, e lilo nō hoʻi ka hana hou o ka ʻenehana kumu ion i mea ikaika nui i ka hoʻolaha ʻana i nā kaʻina hana uhi vacuum i nā pae kiʻekiʻe.
—Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala e nā lako hana uhi vacuummea hana Zhenhua Vacuum
Ka manawa hoʻouna: Iulai-05-2025