Орчин үеийн вакуум бүрэх процесст ионы эх үүсвэр нь гол туслах нэгжийн хувьд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд PVD (Физик уурын тунадасжилт) болон ...-д өргөн хэрэглэгддэг.оптик бүрхүүлталбарууд. Энэ нь зөвхөн бүрхүүлийн давхаргын нягтрал болон наалдацад нөлөөлөхөөс гадна бүтээгдэхүүний тууштай байдал болон гарцад шууд нөлөөлдөг. Тэгэхээр бүрхүүлийн процесст ионы эх үүсвэр яг ямар үүрэг гүйцэтгэдэг вэ? Түүний ажиллах зарчим юу вэ? Энэ нийтлэлд дэлгэрэнгүй дүн шинжилгээ хийх болно.
Ионы эх үүсвэр гэж юу вэ?
Ионы эх үүсвэр гэдэг нь вакуум орчинд ион үүсгэж, хурдасгадаг төхөөрөмж юм. Плазмын өдөөлт болон төвийг сахисан хийн бөмбөгдөлт зэрэг аргуудаар ионы эх үүсвэр нь өндөр энергитэй ионы цацрагийг ялгаруулдаг бөгөөд энэ нь субстратын гадаргуу эсвэл ургаж буй нимгэн хальсан давхаргатай харилцан үйлчилж, цэвэрлэх, тунадасжуулалтыг дэмжих, наалдацыг сайжруулах зэрэг олон функцийг гүйцэтгэдэг.
Ионы эх үүсвэрийн нийтлэг төрлүүдэд дараахь зүйлс орно: Термион ионы эх үүсвэр; Хөндий катодын ионы эх үүсвэр; Олон туйлт ионы эх үүсвэр (бага энергийн тусламжид түгээмэл хэрэглэгддэг); Ионы эх үүсвэрийн үндсэн үүрэг
1. Субстрат Урьдчилан боловсруулалт: Наалдацыг сайжруулах
Тунадас хийхээс өмнө суурь гадаргуу нь ихэвчлэн исэл, органик бохирдуулагч болон бусад хольц агуулдаг. Ионы цэвэрлэгээнд ионы эх үүсвэр ашиглах нь эдгээр гадаргуугийн бохирдлыг үр дүнтэй арилгаж, хальс болон суурь хоорондын холболтын бат бөх чанарыг сайжруулдаг. Уламжлалт цэвэрлэгээний аргуудтай харьцуулахад ионы цацрагийн цэвэрлэгээ нь холбоогүй, эвдэхгүй, өндөр үр ашигтай зэрэг давуу талуудыг санал болгодог.
2. Тунадалтад туслах: Кино бүтцийг сайжруулах
Тунадасжуулах процессын үед ионы цацраг нь хальсан өсөлтийн үед атомуудын атомын шилжилт хөдөлгөөний чадварыг сайжруулахын тулд "туслах эрчим хүчний эх үүсвэр" болж чаддаг. Энэ нь илүү нягтралтай, илүү тогтвортой, жигд хальс үүсэхэд хүргэдэг. Энэ нь оптик бүрхүүл, хатуу бүрхүүл болон өндөр нягтралтай, бага стресс шаарддаг бусад хэрэглээнд онцгой чухал юм.
3. Киноны стресс ба гадаргуугийн морфологийг хянах
Ионы цацрагийн энерги болон өнцгийг тохируулснаар хальсны дотоод стресс, ширхэгийн хэмжээ, тэр ч байтугай бичил барзгар байдлыг үр дүнтэй хянах боломжтой. Жишээлбэл, олон давхаргат интерференцийн хальс эсвэл өндөр нарийвчлалтай оптик хальс бэлтгэхэд ионы эх үүсвэрийн тусламж нь "нүх" болон "хураалт" зэрэг нийтлэг согогоос урьдчилан сэргийлж, хальсны тууштай байдал, бат бөх чанарыг сайжруулж чадна.
4. Бүрхүүлийн тогтвортой байдал болон гарцыг сайжруулах
Ионы эх үүсвэрийн тусламжтайгаар том талбайн ажлын хэсгүүд, ялангуяа нарийн төвөгтэй муруй гадаргуутай эсвэл оптик бүрхүүлд зориулсан том хэмжээтэй шил, хуванцар эд ангиуд дээр илүү жигд бүрхүүлийн бүтэц бий болгож чадна. Энэ нь массын үйлдвэрлэлд гарц болон давтагдах чадварыг сайжруулахад тусалдаг.
Практик процесст ионы эх үүсвэрийг хэрэглэх хувилбарууд
Оптик хальсны хуримтлал: Гэрэл тусгалгүй бүрхүүл, өндөр ойлттой хальс, оптик шүүлтүүр зэрэг нарийн хальсны оптик шинж чанар болон наалдацыг сайжруулна.
Хатуу бүрхүүл бэлтгэх: DLC (Алмазан төст нүүрстөрөгч), TiN, CrN зэрэг өндөр хатуулагтай хальсан системүүдийн хальсны нягтрал болон хальслахаас хамгаалах гүйцэтгэлийг сайжруулна.
Автомашины дотор талын бүрхүүл: Бүрхүүлийн өнгөний нягтрал болон наалдацыг сайжруулж, ашиглалтын хугацааг уртасгана.
Электрон эд ангиудын гадаргуугийн боловсруулалт: Нимгэн хальсан бүтцийн тогтвортой байдал болон өндөр давтамжийн гүйцэтгэлийг хангах.
Ионы эх үүсвэр нь орчин үеийн бүрхүүлийн системд зайлшгүй шаардлагатай "нэмүү өртөг шингэсэн" бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Хянах боломжтой өндөр энергийн ионы урсгалыг нэвтрүүлснээр хальсан бүрхүүлийн янз бүрийн үе шатанд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Наалдацыг сайжруулах, бүтцийг оновчтой болгох, стрессийг хянах эсвэл тууштай байдлыг сайжруулах зэргээс үл хамааран ионы эх үүсвэр нь өндөр чанартай, өндөр хүчин чадалтай вакуум бүрхүүл хийхэд хүчтэй дэмжлэг үзүүлдэг.
Оптик дэлгэц, нарийн электроник, автомашины үйлдвэрлэл зэрэг салбарт гүйцэтгэлийн шаардлага үргэлжлэн нэмэгдэхийн хэрээр ионы эх үүсвэрийн технологийн шинэчлэл нь вакуум бүрхүүлийн процессыг илүү өндөр түвшинд хүргэх гол хөдөлгөгч хүч болох болно.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх тоног төхөөрөмжүйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 7-р сарын 5