Ha lisebelisoa tsa ho seha, liforomo tse nepahetseng, likarolo tsa likoloi, likarolo tsa elektroniki le lits'ebetso tsa tlhahiso ea maemo a holimo li ntse li tsoela pele ho ea lebelong le phahameng, mojaro o phahameng le bophelo bo bolelele ba ts'ebeletso, liphahlo tse thata haholo li fetohile tharollo ea bohlokoa ea boenjiniere ba bokaholimo. Liphahlo tse kang AlTiN, AlCrN, TiAlSiN, CrAlN, DLC le ta-C ha li sa sebelisoa feela ho ntlafatsa bothata ba bokaholimo. Li ntse li hlokahala haholoanyane ho fana ka motsoako o felletseng oa ho hanyetsa ho tsofala, ho hanyetsa oxidation, khohlano e tlase, botsitso ba mocheso, ho khomarela ho matla le ts'ebetso e tsitsitseng tlas'a maemo a thata a ts'ebetso.
Leha ho le jwalo, ka mora seaparo se seng le se seng se matla sa tshebetso e phahameng, ho na le fensetere e moqotetsane le e utlwahalang haholo ya tshebetso. Boleng ba ho qetela ba seaparo ha bo lekanyetswe ke paramethara e le nngwe, empa ke ho hokahana ho nepahetseng ha tikoloho ya vacuum, bongata ba plasma, mocheso wa substrate, motlakase wa leeme, phallo ya kgase, boemo ba sepheo, sekgahla sa ho bewa, matla a ion le motsamao wa fixture. Bakeng sa bahlahisi ba disebediswa tsa ho bea vacuum le bafani ba ditshebeletso tsa ho bea, ho utlwisisa le ho laola difensetere tsena tsa bohlokwa tsa tshebetso ke motheo wa ho fihlella tlhahiso e tsitsitseng, e ka phetwang le e tsoetseng pele ya indasteri.
Mokhoa oa Indasteri: Ho tloha ho Koahelo e Lebisitsoeng ho Thata ho ea ho Boenjiniere ba Bokaholimo bo Lebisitsoeng ho Ts'ebetso
Mothating oa pele oa lits'ebetso tsa ho koahela ka thata, ts'ebetso ea ho koahela e ne e atisa ho hlahlojoa haholo-holo ka thata. Filimi e thata ka kakaretso e ne e nkoa e le filimi e betere. Leha ho le joalo, ha maemo a ts'ebeliso a ntse a rarahana haholoanyane, mohopolo ona o le mong oa tlhahlobo ha o sa lekana. Ho seheng ka lebelo le phahameng, sekoahelo se tlameha ho hanela oxidation le ho petsoha ha mocheso. Lits'ebetsong tsa hlobo tse nepahetseng, se tlameha ho fokotsa khohlano le ho thibela ho tsofala ha sekhomaretsi. Lits'ebetsong tsa elektroniki le lisebelisoa tse nyane, se tlameha ho boloka bohale ba moeli le ho qoba khatello e feteletseng ea ka hare. Lits'ebetsong tsa ts'ebetso ea likoloi le mekhabiso, botsitso ba sekoahelo, boreleli ba bokaholimo le botsitso ba 'mala oa sehlopha li bohlokoa ka ho lekana.
Phetoho ena e bolela hore theknoloji ea ho roala e thata e kene mohatong o ntlafalitsoeng haholoanyane. Ho roala ha se feela lera le sireletsang, empa hape ke sebopeho se sebetsang pakeng tsa substrate le tikoloho ea mosebetsi. Tshebetso ea eona e itšetlehile ka sebopeho sa microstructure, sebopeho sa mohato, khatello e setseng, ho hokahana ha sebopeho le sebopeho sa bokaholimo. Ka hona, phephetso ea mantlha ea ho thehoa ha ho roala e thata ha e sa le feela "mokhoa oa ho beha filimi e thata", empa ke "mokhoa oa ho beha sebopeho se nepahetseng sa filimi ka har'a fensetere ea ts'ebetso e tsitsitseng le e laoloang".
Phephetso ea Ts'ebetso: Tekanyo Pakeng tsa ho Tiea, Ho Khomarela le Khatello ea Masala
Ho thehoa ha liphahlo tse thata ho kenyelletsa ho leka-lekana ho sa khaotseng pakeng tsa ho thatafala, ho tiea, ho khomarela le khatello ea ka hare. Mohlala, ho eketsa matla a libomo tsa li-ion ho ka matlafatsa sebopeho sa filimi le ho ntlafatsa ho thatafala, empa matla a li-ion a feteletseng a ka hlahisa khatello e phahameng ea khatello, ho fokotsa ho khomarela kapa esita le ho baka ho petsoha ha lesela. Ho eketsa khatello ea karolo ea naetrojene ho ka khothalletsa ho thehoa ha nitride, empa karolelano e sa tsitsang ea khase e ka lebisa chefong ea sepheo, ho feto-fetoha ha sekhahla sa ho beoa le ho se tsitse ha karolo. Ho phahamisa mocheso oa substrate ho ka ntlafatsa ho tsamaea ha athomo le kristale, empa mocheso o feteletseng o ka fetola likarolo tse nepahetseng, oa nolofatsa substrate kapa oa ama ho nepahala ha litekanyo.
Bakeng sa dikoahelo tse thata tse thehilweng khaboneng tse kang DLC le ta-C, fensetere ya tshebetso e ba bonolo le ho feta. Karolelano e phahameng ya tlamo ya khabone ya sp³ e bohlokwa bakeng sa ho fumana thata e phahameng, empa hangata e hloka taolo e nepahetseng ya matla a ion le maemo a plasma. Haeba matla a ion a le tlase haholo, filimi e ka fetoha jwalo ka graphite mme ya lahlehelwa ke thata. Haeba matla a ion a le hodimo haholo, filimi e ka bokella kgatello e feteletseng ya kgatello mme ya ba le bothata ba ho kgomarela ho fokolang. Ka hona, ho bewa ha dikoahelo tsa ta-C kapa tsa DLC tse sebetsang hantle ha ho hloke feela mohlodi o tsitsitseng wa plasma, empa hape le taolo e ntle hodima leeme la substrate, mocheso wa ho bewa, matla a carbon ion le moralo wa interlayer.
Bakeng sa dikoahelo tse thehilweng ho nitride tse kang AlTiN, AlCrN le TiAlSiN, senotlolo se ho laola karolelano ya karolo ya tshepe, tekanyo ya karabelo ya naetrojene, bongata ba ho koaheloa le sebopeho sa mekhahlelo e mengata. Dikahare tse nepahetseng tsa Al di ka ntlafatsa ho hanyetsa oxidation, ha dielemente tsa Ti, Cr kapa Si di thusa ho lokisa ho thatafala, ho tiya le botsitso ba mocheso. Leha ho le jwalo, haeba motswako o kheloha fensetereng ya tshebetso e entsweng, koahelo e ka fetoha e robehang, e nang le masoba kapa e sa tsitsang mochesong o phahameng. Ke ka lebaka leo ditsamaiso tsa sejwalejwale tsa ho koaheloa tse thata haholo di itshetlehang haholo hodima taolo e nepahetseng ya matla, taolo e tsitsitseng ya phallo ya kgase le kabo ya plasma e ka phetwang.
Tlhokahalo ea Lisebelisoa: Plasma e Tsitsitseng, Taolo e Nepahetseng le ho Hlahisoa ho Pheta-phetoang
Ho fumana liphahlo tse thata tsa boleng bo holimo, lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum li tlameha ho fana ka tikoloho e tsitsitseng le e laolehang haholo ea ho beoa. Tlhokahalo ea pele ke sistimi ea vacuum e hloekileng le e tšepahalang. Khatello e tlase ea motheo e thusa ho fokotsa oksijene, mongobo le litšila tse ling tse setseng, tse amang ka ho toba bohloeki ba ho roala le ho khomarela sebopeho. Nakong ea ho beoa, khatello e tsitsitseng ea ts'ebetso le eona ea bohlokoa bakeng sa ho boloka ho tšoana ha plasma le ho laola tsela e mahareng ea mahala ea likaroloana. Phetoho efe kapa efe khatellong ea vacuum e ka baka liphetoho ho teteaneng ha filimi, ho ba thata ha bokaholimo le sekhahla sa ho beoa.
Tlhokahalo ea bobeli ea bohlokoa ke taolo e nepahetseng ea plasma. Ebang ho sebelisoa cathodic arc ion plating, magnetron sputtering, filtered arc deposition kapa theknoloji ea hybrid coating, matla le bongata ba likaroloana tse tjhajwang li na le tšusumetso e tobileng sebopehong sa coating. Mohloli o tsitsitseng oa plasma o ka ntlafatsa sekhahla sa ionization, oa ntlafatsa coating compactness le ho netefatsa hore ho na le kamano e matla pakeng tsa filimi le substrate. Bakeng sa coating e thata haholo, haholo-holo tse hlokang nanocomposite e teteaneng kapa meaho e mengata, botsitso ba plasma bo amana ka ho toba le ho thatafala ha coating, ho tiea le bophelo ba tšebeletso.
Motlakase oa leeme ke fensetere e 'ngoe ea bohlokoa ea ts'ebetso. Leeme la substrate le laola matla a libomo tsa ion 'me le ama ho tiea ha filimi, khatello e setseng le ho khomarela. Leeme le laoloang hantle le ka kenya tšebetsong bokaholimo ba substrate, la ntlafatsa nucleation le ho theha sebopeho se teteaneng sa ho roala. Leha ho le joalo, leeme le feteletseng le ka baka ho chesa haholo, ho bokellana ha khatello kapa tšenyo ea moeli, haholo-holo bakeng sa lisebelisoa tse nepahetseng le likarolo tse nyane. Ka hona, lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa ho roala li tlameha ho tšehetsa taolo ea leeme e nepahetseng, e tsitsitseng le e ka hlophisoang nakong eohle ea ho hloekisa, ho kenngoa ha lera la phetoho le ho kenngoa ha lera le ka sehloohong.
Taolo ea mocheso le eona ea bohlokoa ka ho lekana. Ho thehoa ha sekoahelo se thata haholo hangata ho hloka mocheso o lekaneng oa substrate ho ntlafatsa kristale ea filimi le ho khomarela. Ka nako e ts'oanang, li-substrate tse ngata, tse kang lisebelisoa tsa carbide tse nepahetseng, hlobo, likarolo tsa tšepe e sa ruseng kapa likarolo tsa elektroniki, li na le meeli e tiileng ea mocheso. Sena se hloka lisebelisoa tsa sekoahelo ho fana ka mocheso o ts'oanang, maikutlo a nepahetseng a mocheso le taolo e sebetsang ea mocheso nakong ea potoloho e telele ea tlhahiso. Bakeng sa lits'ebetso tsa DLC kapa ta-C tse mocheso o tlase, botsitso ba mocheso bo ba bohlokoa le ho feta hobane filimi e tlameha ho boloka boima bo phahameng ntle le ho senya substrate.
Phallo ea khase le taolo ea sepakapaka se arabelang le tsona ke tsa bohlokoa fensetereng ea ts'ebetso. Litsamaisong tsa ho koahela ka nitride le carbonitride, karolelano ea argon, naetrojene, acetylene kapa likhase tse ling tse arabelang li khetholla sebopeho sa filimi le sebopeho sa mohato. Liphetoho tse nyane phallong ea khase li ka lebisa liphapang tse kholo tsa ho thatafala, 'mala, khatello ea maikutlo le ho hanyetsa ho tsofala. Ka hona, balaoli ba phallo ea boima bo nepahetseng haholo, taolo e tsitsitseng ea khatello le diresepe tse tšepahalang tsa ts'ebetso lia hlokahala bakeng sa tlhahiso ea ho koahela e ka phetoang.
Bakeng sa dikoahelo tse thata tse thehilweng ho arc ea cathodic, taolo ya dikarolwana ke ntlha e nngwe e etsang qeto. Mehlodi ya arc e tsebahala ka sekgahla sa yona se phahameng sa ionization le ho kgomarela filimi ka matla, empa marothodi le dikarolwana tse kgolo di ka ama boreledi ba ho roala le boleng bo nepahetseng ba bokahodimo. Ditshebedisong tse kang di-micro-drill, di-mold tse nepahetseng, dikarolo tsa optical kapa dikoahelo tse sebetsang tsa mokhabiso, dikarolwana tse feteletseng di ka fetoha mehlodi ya diphoso. Ka hona, ho sefa ha makenete, moralo o ntlafaditsweng wa mohlodi wa arc, kgoholeho ya sepheo e laolwang le meaho e loketseng ya tshireletso di bohlokwa bakeng sa ho ntlafatsa boleng ba bokahodimo ba ho roala.
Moralo oa thepa ha oa lokela ho hlokomolohuoa. Liaparo tse thata haholo hangata li sebelisoa ho lisebelisoa tse rarahaneng kapa likarolo tse nang le mathoko a ho seha, li-groove, masoba le libaka tse kobehileng. Haeba moralo oa thepa o sa utloahale, litlamorao tsa moriti, botenya bo sa lekanang le tšireletso e mpe ea mathoko li ka hlaha. Ho potoloha ha li-axis tse ngata, kabo ea mojaro e tšoanang le ho kopana ha motlakase ho tsitsitseng lia hlokahala bakeng sa ho netefatsa botsitso ba ho roala ho pholletsa le sehlopha sohle. Tlhahisong ea bongata, sistimi ea thepa e etsa qeto ka kotloloho hore na lisebelisoa li ka leka-lekanya bokhoni bo phahameng ba ho roala le boleng bo tšoanang ba ho roala.
Kakaretso ea Boleng: Taolo ea Lifensetere ea Ts'ebetso e Hlalosa Tlholisano ea ho Koahela
Tlholisano ea theknoloji ea ho roala e matla haholo qetellong e itšetlehile ka bokhoni ba ho laola fensetere ea ts'ebetso. Ho roala ho sebetsang hantle ha ho hlahisoe ke paramethara e le 'ngoe e matla, empa ke ho bapisa ka nepo kalafo ea pele ho substrate, ho hloekisa plasma, moralo oa lera la phetoho, matla a ho beha, sepakapaka sa khase, botenya ba ho roala, taolo ea khatello ea maikutlo le ts'ebetso ea ho pholisa. Ho kheloha leha e le hofe mohatong o le mong ho ka fokotsa ho khomarela ho roala, ho eketsa ho robeha, ho ama boreleli ba bokaholimo kapa ho khutsufatsa bophelo ba ts'ebeletso.
Bakeng sa basebelisi ba ho qetela, ho roala ho tiileng ho matla ho bolela bophelo bo bolelele ba lisebelisoa, khohlano e tlase, ho nepahala ho ntlafetseng ha mechini, litšitiso tse fokolang tsa tlhahiso le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso ka kakaretso. Bakeng sa bafani ba litšebeletso tsa ho roala, lifensetere tse tsitsitseng tsa ts'ebetso li bolela botsitso bo betere ba sehlopha, ho feto-fetoha ho fokolang ha boleng le tlholisano e matla lits'ebetsong tsa maemo a holimo. Bakeng sa bahlahisi ba lisebelisoa, bokhoni ba ho fana ka sethala se felletseng le se laoloang sa ho roala ke senotlolo sa ho thusa bareki ho tloha nts'etsopele ea sampole ho ea tlhahisong e kholo ea indasteri.
Ha tlhahiso e tsoetseng pele e ntse e tsoela pele ho ntlafala, li-superhard coatings li tla hlokahala ho sebetsa tlas'a maemo a thata haholoanyane. Mokhahlelo o latelang oa tlholisano o ke ke oa hlola o lekanyetsoa ho thatafalo ea ho roala feela. E tla shebana le ts'ebetso e felletseng ea filimi, taolo e nepahetseng ea ts'ebetso le bokhoni ba tlhahiso ea bongata bo ka phetoang. Ka hona, lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum li tlameha ho fetoha sethala se kopaneng sa boenjiniere ba bokaholimo se kopanyang vacuum e hloekileng, plasma e tsitsitseng, taolo e nepahetseng ea leeme, taolo e tsoetseng pele ea mocheso, meralo e tenyetsehang ea ho roala le ho pheta-pheta ha ts'ebetso ka bohlale.
Moelelong ona, fensetere ea bohlokoa ea ts'ebetso bakeng sa ho thehoa ha sekoahelo se thata ha se feela mefuta ea liparamente tsa tekheniki. Ke moeli oa mantlha o khethollang ts'ebetso ea sekoahelo, botsitso ba tlhahiso le boleng ba 'maraka. Mang kapa mang ea ka tsebang fensetere ena o tla khona ho fana ka litharollo tse tšepahalang haholoanyane tsa sekoahelo se thata bakeng sa lisebelisoa tsa ho seha, hlobo, likarolo tsa likoloi, tlhahiso ea lisebelisoa tsa elektroniki le lits'ebetso tse ling tsa indasteri tse phahameng.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe kemoetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuumLetsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Mots'eanong-12-2026