Sekoahelo sa vacuum se sebediswa haholo dikarolong tsa dikoloi, disebedisweng tsa ho seha, dibopeho, di-elektroniki, di-hardware tsa mekhabiso, le diindasteri tse ding ho ntlafatsa tshebetso ya bokahodimo le thepa ya tshebetso. Nakong ya tshebetso ya ho seha, filimi e tshesane e bewa hodima bokahodimo ba substrate tlasa maemo a vacuum, e leng se etsang sekoahelo se sebetsang se nang le thepa e itseng e kang ho thatafala ho hoholo, ho hanyetsa ho tsofala, ho hanyetsa ho bola, kgohlano e tlase, kapa ponahalo ya mokhabiso.
Potso e tloaelehileng ke hore na ho koahela ka vacuum ka bohona ho tla ama thatafalo ea thepa ea substrate. Karabo ha se kamehla e leng joalo. Lits'ebetsong tse ngata, morero oa mantlha oa ho koahela ka vacuum ke ho fetola litšobotsi tsa bokaholimo ba sesebelisoa sa mosebetsi ho fapana le ho fetola litšobotsi tsa mechini tse ngata tsa substrate. Leha ho le joalo, phello ea 'nete e itšetlehile ka theknoloji ea ho koahela, mocheso oa ts'ebetso, thepa ea substrate, meralo ea ho koahela le liparamente tsa ts'ebetso.
1. Ho Koahela ka Vacuum ho Fetola Haholo Litšobotsi tsa Bokaholimo
Mekhoa ea ho koahela ka vacuum e kang PVD (Physical Vapor Deposition), PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), le mekhoa e meng ea ho boloka vacuum e etsa filimi e tšesaane e sebetsang holim'a substrate.
Ho fapana le kalafo ea mocheso o mongata, e ka fetolang sebopeho sa tšepe le thepa ea mechini haholo ho pholletsa le botenya ba eona, ho koahela ka vacuum hangata ho ama feela lera la bokaholimo. Botenya ba ho koahela hangata bo ho micrometer kapa sub-micrometer, ho latela ts'ebetso ea ts'ebeliso le ho beha.
Mohlala, dikoahelo tse thata tsa PVD tse kang TiN, TiCN, CrN, TiAlN, le AlTiN di ka fana ka bothata bo boholo ba bokahodimo le ho hanyetsa ho tsofala ho feta substrate e ka tlase. Leha ho le jwalo, sena ha se bolele hore bothata ba substrate yohle bo fetotswe ka tekanyo e tshwanang.
Ka hona, ha ho hlahlojoa phello ea ho roala ka vacuum holim'a thatafalo, ho bohlokoa ho khetholla pakeng tsa thatafalo ea substrate le thatafalo ea ho roala.
2. Na Sekoahelo sa PVD se ka Eketsa Bothata ba Sebaka?
Lits'ebetsong tse ngata, sekoahelo sa PVD se sebelisoa ka ho khetheha ho ntlafatsa thatafalo ea bokaholimo.
Liaparo tse thata tse kentsweng ke ditshebetso tse kang mouoane wa arc ya cathodic le ho qhalana ha magnetron di ka bopa ditsamaiso tsa ho roala tse teteaneng, tse kgomarelang ka matla tse nang le bothata bo phahameng le kganyetso e ntle ya ho robeha.
Bakeng sa disebediswa tsa ho seha, mohlala, seaparo se thata sa PVD se ka fokotsa ho senyeha ha matla, ho senyeha ha sekhomaretsi, le kgohlano sebopehong sa sesebediswa le mosebetsi. Seaparo se sebetsa e le lera le sireletsang bokaholimo ha substrate e fana ka matla a hlokahalang le tshehetso ya mechine.
Ka hona, tshebetso ya ho qetela ha e laolwe feela ke ho thatafala ha seaparo ka bosona, empa hape le ke motsoako wa:
Ho thatafala ha ho roala + ho khomarela ha ho roala + botenya ba ho roala + ho thatafala ha substrate + sebopeho sa ho roala/substrate + meralo ea ho roala.
Ho roala ho thata haholo ha ho tiise tshebetso e ntle ka bohona haeba substrate e le bonolo haholo kapa haeba ho kgomarela ha roala ho sa lekana.
3. Na Mocheso oa ho Koahela o tla Ama ho Tiea ha Substrate?
Ena ke e 'ngoe ea lintlha tsa bohlokoa ka ho fetisisa ha ho hlahlojoa hore na ho koaheloa ha vacuum ho ka ama thatafalo ea substrate.
Mekhoa e fapaneng ea PVD le PECVD e sebetsa ka har'a maemo a fapaneng a mocheso. Nakong ea ho kenngoa ha eona, substrate e pepesehela matla a mocheso a hlahisoang ke plasma, li-ion bombardment, mehloli ea mouoane, kapa maemo a mang a ts'ebetso.
Bakeng sa thepa e amehang habonolo ke mocheso, mocheso o feteletseng oa substrate kapa ho pepesehela mocheso nako e telele ho ka ama sebopeho sa mantlha sa micro le thepa ea mechini.
Mohlala, litšepe tse itseng tsa lisebelisoa tse thatafetseng li fumana thepa ea tsona ea mechini ka mekhoa e itseng ea ho tima le ho tjhesa. Haeba mocheso oa ho roala o feta mocheso o loketseng oa ho tjhesa, ho na le monyetla oa litlamorao tsa ho tjhesa, tse ka fokotsang ho thatafala ha substrate.
Ka hona, bakeng sa litšepe tse thatafetseng le li-substrate tse ling tse utloang mocheso, mokhoa oa ho roala o lokela ho etsoa ho latela boemo ba kalafo ea mocheso ea thepa le mocheso o lumelletsoeng oa ts'ebetso.
4. Ho Hlasela ha Ion le Phetoho ea Bokaholimo
Mekhoeng e mengata ea PVD, substrate e kenngoa ka li-ion pele le nakong ea ho e kenya.
Ho tjhesa ha ione kapa ho hlwekisa plasma ho ka tlosa ditshila tse hodima bokahodimo le ho kenya tshebetsong bokahodimo ba substrate, ho ntlafatsa kgomarelo ya ho roala. Nakong ya ho bewa, ho phatloha ha di-ion tse laolwang ho ka boela ha ama ho tiya ha filimi, kgatello e setseng, sebopeho sa micro, le kgomarelo ya ho roala.
Leha ho le jwalo, matla a mangata a ion kapa diparamente tse sa lokelang tsa tshebetso di ka baka ditlamorao tse sa rateheng tse kang ho futhumatsa substrate ho feteletseng, tshenyo ya bokahodimo, kapa kgatello e eketsehileng ya masala.
Ka hona, diparamente tse kang motlakase o leeme, motlakase wa arc, matla a ho ntsha metsi, kgatello ya ho sebetsa, mocheso wa substrate, le sekgahla sa ho bewa ha metsi di hloka ho laolwa hantle ho ya ka thepa ya substrate le sistimi ya ho roala.
5. Ho Tiea ha Sekoahelo ho Fapana le ho Tiea ha Substrate
Ho se utlwisisehe ho tlwaelehileng ke hore sesebediswa sa mosebetsi se ba "thata" haholo hobane feela lesela le thata le kentswe hodima sona.
Ha e le hantle, ho koahela ka vacuum ka kakaretso ho baka lera le thata la bokaholimo, athe boima ba karolo e ka tlase bo lula bo laoloa haholo ke boemo ba eona ba pele ba thepa le kalafo ea mocheso.
Mohlala, sesebelisoa sa ho seha carbide se ka ba le substrate e thata haholo le seaparo sa PVD se thata le ho feta. Seaparo sena se ntlafatsa ho hanyetsa ho tsofala ha bokaholimo le ts'ebetso ea tribological, ha substrate ea carbide e fana ka matla le ho tiea ha sebopeho.
Ka ho tšoanang, bakeng sa likarolo tsa tšepe tse thatafetseng, sekoahelo sa PVD se ka fana ka bokaholimo bo thata le bo sa tsofaleng ntle le ho fetola ka botlalo boima ba tšepe e ka tlas'a eona, ha feela mocheso oa ho boloka o lula ka har'a fensetere e loketseng ea ts'ebetso.
6. Mokhoa oa ho Thibela ho Koaheloa ke Vacuum ho se Ame ho Tiea ha Substrate
Ho boloka thepa ea mantlha ea mechini ea substrate, mokhoa oa ho roala o lokela ho ntlafatsoa ho latela thepa le ts'ebeliso.
Taba ea pele, thepa ea substrate le boemo ba kalafo ea mocheso li lokela ho tiisoa pele ho penteloa. Mekhahlelo e fapaneng ea tšepe ea lisebelisoa, tšepe e sa ruseng, carbide, li-alloy tsa aluminium le thepa e 'ngoe li na le meeli e fapaneng ea mocheso.
Sa bobedi, mocheso wa ho roala o lokela ho laolwa ka hara sebaka se loketseng. Bakeng sa thepa e nang le mocheso o tlase, ho ka kgethwa PVD ya mocheso o tlase kapa mokgwa o mong o loketseng wa ho kenya.
Taba ea boraro, liparamente tsa ts'ebetso tse kang motlakase oa leeme, matla a ion, bongata ba plasma, sekhahla sa ho beha, khatello ea ts'ebetso, le nako ea ts'ebetso li lokela ho ntlafatsoa ho fihlela ts'ebetso e hlokahalang ea ho roala ntle le litlamorao tse feteletseng tsa mocheso kapa libomo tsa ion.
Qetellong, likarolo tse koahetsoeng li lokela ho hlahlojoa ka liteko tse loketseng, ho kenyeletsoa le liteko tsa ho thatafala ha microhardness, liteko tsa ho khomarela ka ho koahela, liteko tsa ho tsofala, tekanyo ea ho rarahana ha bokaholimo, le tlhahlobo ea metallographic, ho latela ts'ebeliso.
7. Qetello
Kahoo, na ho koahela ka vacuum ho ama thatafalo ea thepa?
Ka kakaretso, ho koahela ka vacuum ke ts'ebetso ea boenjiniere ba bokaholimo 'me e etselitsoe ho fetola litšobotsi tsa bokaholimo ba thepa ho fapana le ho fetola boima ba eona bo boholo haholo. Liaparo tse thata tsa PVD li ka ntlafatsa haholo boima ba bokaholimo, ho hanyetsa ho tsofala, boitšoaro ba khohlano, ho hanyetsa ho bola, le bophelo ba ts'ebeletso ha li ntse li boloka litšobotsi tsa mechini tsa substrate.
Leha ho le jwalo, thatafalo ya pele ya substrate e ka ameha haeba tshebetso ya ho roala e hlahisa ho pepesehela mocheso o feteletseng kapa ho phatloha ha ion ho sa lokelang, haholo-holo bakeng sa ditshipi tse phekolwang mocheso le thepa e meng e amehang mochesong.
Ka hona, ho hlokahala ho khetha theknoloji e loketseng ea ho boloka vacuum, thepa ea ho koahela, mocheso oa substrate, maemo a ho phatloha ha li-ion, le liparamente tsa ts'ebetso.
Ka fensetere ea ts'ebetso e nepahetseng le tlhophiso ea lisebelisoa, sekoahelo sa vacuum se ka fihlella motsoako o lakatsehang oa ho thatafala ha bokaholimo, ho khomarela ho matla ha sekoahelo, ho hanyetsa ho tsofala ho hoholo, le litšobotsi tse tsitsitseng tsa substrate, ho fana ka tharollo e sebetsang ea boenjiniere ba bokaholimo bakeng sa lits'ebetso tse hlokang boiteko ba indasteri.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke moetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuumLetsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Loetse-22-2026