ପୃଷ୍ଠ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ମୋଟରଗାଡ଼ି ଉପାଦାନ, କଟିଂ ଉପକରଣ, ଛାଞ୍ଚ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ, ସାଜସଜ୍ଜା ହାର୍ଡୱେର୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଶିଳ୍ପରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିସ୍ଥିତିରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା, ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ଘର୍ଷଣ କିମ୍ବା ଏକ ସାଜସଜ୍ଜା ଦୃଶ୍ୟ ଭଳି ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଗୁଣ ସହିତ ଏକ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଆବରଣ ଗଠନ କରେ।
ଏକ ସାଧାରଣ ପ୍ରଶ୍ନ ହେଉଛି ଯେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ନିଜେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀର କଠିନତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ କି ନାହିଁ। ଏହାର ଉତ୍ତର ଜରୁରୀ ନୁହେଁ। ଅଧିକାଂଶ ପ୍ରୟୋଗରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣର ପ୍ରାଥମିକ ଉଦ୍ଦେଶ୍ୟ ହେଉଛି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ର ବଲ୍କ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବା ପରିବର୍ତ୍ତେ ୱର୍କପିସ୍ର ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବା। ତଥାପି, ପ୍ରକୃତ ପ୍ରଭାବ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା, ପ୍ରକ୍ରିୟା ତାପମାତ୍ରା, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ, ଆବରଣ ସ୍ଥାପତ୍ୟ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟର ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ।
୧. ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ମୁଖ୍ୟତଃ ପୃଷ୍ଠର ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରେ।
PVD (ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା), PECVD (ପ୍ଲାଜମା-ଉନ୍ନତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା), ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଭଳି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ପତଳା କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଫିଲ୍ମ ଗଠନ କରେ।
ବଲ୍କ ହିଟ୍ ଟ୍ରିଟ୍ମେଣ୍ଟ ପରି ନୁହେଁ, ଯାହା ଏକ ସାମଗ୍ରୀର ଧାତୁ ଗଠନ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ଏହାର ଘନତା ମଧ୍ୟରେ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିପାରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ସାଧାରଣତଃ କେବଳ ପୃଷ୍ଠ ସ୍ତରକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ଆବରଣ ଘନତା ସାଧାରଣତଃ ମାଇକ୍ରୋମିଟର କିମ୍ବା ସବ୍-ମାଇକ୍ରୋମିଟର ପରିସର ମଧ୍ୟରେ ଥାଏ, ଯାହା ପ୍ରୟୋଗ ଏବଂ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ।
ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, TiN, TiCN, CrN, TiAlN, ଏବଂ AlTiN ପରି କଠିନ PVD ଆବରଣଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଅପେକ୍ଷା ଯଥେଷ୍ଟ ଅଧିକ ପୃଷ୍ଠ କଠିନତା ଏବଂ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ। ତଥାପି, ଏହାର ଅର୍ଥ ନୁହେଁ ଯେ ସମଗ୍ର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ର କଠିନତା ସମାନ ପରିମାଣରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରାଯାଇଛି।
ତେଣୁ, କଠୋରତା ଉପରେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣର ପ୍ରଭାବ ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ କରିବା ସମୟରେ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କଠୋରତା ଏବଂ ଆବରଣ କଠୋରତା ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ କରିବା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
୨. ପିଭିଡି ଆବରଣ ପୃଷ୍ଠର କଠିନତା ବୃଦ୍ଧି କରିପାରିବ କି?
ଅନେକ ପ୍ରୟୋଗରେ, ପୃଷ୍ଠ କଠିନତା ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ PVD ଆବରଣ ବିଶେଷ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଏବଂ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଭଳି ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦ୍ୱାରା ଜମା ହୋଇଥିବା କଠିନ ଆବରଣ ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ସହିତ ଘନ, ଦୃଢ଼ ଭାବରେ ଲାଗି ରହିଥିବା ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ଗଠନ କରିପାରିବ।
ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, କଟିଂ ଉପକରଣ ପାଇଁ, ଏକ କଠିନ PVD ଆବରଣ ଉପକରଣ-କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ର ଇଣ୍ଟରଫେସରେ ଘୃଣ୍ୟ ପରିଧାନ, ଆଠାଜଳ ପରିଧାନ ଏବଂ ଘର୍ଷଣକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ। ଆବରଣ ଏକ ସୁରକ୍ଷାାତ୍ମକ ପୃଷ୍ଠ ସ୍ତର ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ ଯେତେବେଳେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଆବଶ୍ୟକୀୟ କଠିନତା ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସହାୟତା ପ୍ରଦାନ କରେ।
ତେଣୁ ଚୂଡ଼ାନ୍ତ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା କେବଳ ଆବରଣର କଠୋରତା ଦ୍ୱାରା ନୁହେଁ, ବରଂ ଏହାର ମିଶ୍ରଣ ଦ୍ୱାରା ମଧ୍ୟ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ:
ଆବରଣ କଠିନତା + ଆବରଣ ଆବଦ୍ଧତା + ଆବରଣ ଘନତା + ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କଠିନତା + ଆବରଣ/ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଇଣ୍ଟରଫେସ୍ + ଆବରଣ ସ୍ଥାପତ୍ୟ।
ଯଦି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଅତ୍ୟଧିକ ନରମ ହୁଏ କିମ୍ବା ଆବରଣର ଆବଦ୍ଧତା ପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ନ ହୁଏ, ତେବେ ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ କଠିନ ଆବରଣ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଭାବରେ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାର ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ଦିଏ ନାହିଁ।
3. ଆବରଣ ତାପମାତ୍ରା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କଠିନତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ କି?
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କଠୋରତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିପାରେ କି ନାହିଁ ତାହା ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ କରିବା ସମୟରେ ଏହା ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ କାରଣ ମଧ୍ୟରୁ ଗୋଟିଏ।
ବିଭିନ୍ନ PVD ଏବଂ PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ ବିଭିନ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ପରିସର ମଧ୍ୟରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରନ୍ତି। ଜମା ସମୟରେ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପ୍ଲାଜ୍ମା, ଆୟନ ବୋମାମାଡ଼, ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ କିମ୍ବା ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅବସ୍ଥା ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ ତାପଜ ଶକ୍ତିର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୁଏ।
ଯେଉଁ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକ ତାପଜ ସଂସ୍ପର୍ଶ ପ୍ରତି ସମ୍ବେଦନଶୀଳ, ସେମାନଙ୍କ ପାଇଁ ଅତ୍ୟଧିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା କିମ୍ବା ଦୀର୍ଘ ସମୟ ଧରି ତାପଜ ସଂସ୍ପର୍ଶରେ ଆସିବା ସମ୍ଭାବ୍ୟ ଭାବରେ ମୂଳ ମାଇକ୍ରୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିପାରେ।
ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, କିଛି କଠିନ ଉପକରଣ ଇସ୍ପାତ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ କ୍ୱଞ୍ଚିଂ ଏବଂ ଟେମ୍ପରିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ସେମାନଙ୍କର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ ହାସଲ କରନ୍ତି। ଯଦି ଆବରଣ ତାପମାତ୍ରା ଉପଯୁକ୍ତ ଟେମ୍ପରିଂ ତାପମାତ୍ରାଠାରୁ ଯଥେଷ୍ଟ ଅଧିକ ହୁଏ, ତେବେ ଟେମ୍ପରିଂ ପ୍ରଭାବ ହେବାର ସମ୍ଭାବନା ଥାଏ, ଯାହା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କଠୋରତାକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରେ।
ତେଣୁ, କଠିନ ଇସ୍ପାତ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ତାପ-ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପାଇଁ, ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସାମଗ୍ରୀର ତାପ-ଚିକିତ୍ସା ଅବସ୍ଥା ଏବଂ ଅନୁମତିପ୍ରାପ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ତାପମାତ୍ରା ଅନୁସାରେ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯିବା ଉଚିତ।
୪. ଆୟନ ବୋମାମାଡ଼ ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ପରିବର୍ତ୍ତନ
ଅନେକ PVD ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଜମା କରିବା ପୂର୍ବରୁ ଏବଂ ସମୟରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଆୟନ ବୋମାମାଡ଼ର ଶିକାର ହୋଇଥାଏ।
ଆୟନ ଏଚିଂ କିମ୍ବା ପ୍ଲାଜମା ସଫା କରିବା ଦ୍ୱାରା ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦୂଷଣ ଦୂର ହୋଇପାରେ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ସକ୍ରିୟ କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଆବରଣ ଆବଦ୍ଧତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ। ଜମା ସମୟରେ, ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ଆୟନ ବୋମା ପକାଇବା ଫିଲ୍ମ ଘନତା, ଅବଶିଷ୍ଟ ଚାପ, ମାଇକ୍ରୋଷ୍ଟ୍ରକଚର ଏବଂ ଆବରଣ ଆବଦ୍ଧତାକୁ ମଧ୍ୟ ପ୍ରଭାବିତ କରିପାରିବ।
ତଥାପି, ଅତ୍ୟଧିକ ଆୟନ ଶକ୍ତି କିମ୍ବା ଅନୁପଯୁକ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ ଅତ୍ୟଧିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଗରମ କରିବା, ପୃଷ୍ଠ କ୍ଷତି, କିମ୍ବା ବର୍ଦ୍ଧିତ ଅବଶିଷ୍ଟ ଚାପ ଭଳି ଅନାବଶ୍ୟକ ପ୍ରଭାବ ପକାଇପାରେ।
ତେଣୁ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଆବରଣ ପ୍ରଣାଳୀ ଅନୁସାରେ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍, ଆର୍କ କରେଣ୍ଟ, ଡିସଚାର୍ଜ ପାୱାର, କାମ ଚାପ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଜମା ହାର ଭଳି ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ।
5. ଆବରଣ କଠିନତା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କଠିନତାଠାରୁ ଭିନ୍ନ।
ଏକ ସାଧାରଣ ଭୁଲ ଧାରଣା ହେଉଛି ଯେ ଏକ ସ୍କିନ "କଠିନ" ହୋଇଯାଏ କାରଣ ଏହାର ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ କଠିନ ଆବରଣ ଜମା ହୋଇଯାଏ।
ବାସ୍ତବରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ସାଧାରଣତଃ ଏକ କଠିନ ପୃଷ୍ଠ ସ୍ତର ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯେତେବେଳେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ର ବଲ୍କ କଠୋରତା ଏହାର ମୂଳ ସାମଗ୍ରୀ ଅବସ୍ଥା ଏବଂ ତାପ ଚିକିତ୍ସା ଦ୍ୱାରା ମୁଖ୍ୟତଃ ନିର୍ଣ୍ଣୟ ହୋଇଥାଏ।
ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଏକ କାର୍ବାଇଡ୍ କଟିଂ ଉପକରଣରେ ଏକ ଅପେକ୍ଷାକୃତ କଠିନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏବଂ ଆହୁରି କଠିନ PVD ଆବରଣ ଥାଇପାରେ। ଆବରଣ ପୃଷ୍ଠ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ଟ୍ରାଇବୋଲୋଜିକାଲ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ, ଯେତେବେଳେ କାର୍ବାଇଡ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଗଠନାତ୍ମକ ଶକ୍ତି ଏବଂ କଠିନତା ପ୍ରଦାନ କରେ।
ସେହିପରି, କଠିନ ଇସ୍ପାତ ଉପାଦାନ ପାଇଁ, PVD ଆବରଣ ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ଇସ୍ପାତର କଠୋରତାକୁ ମୌଳିକ ଭାବରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ ନକରି ଏକ କଠିନ ଏବଂ ଅଧିକ ପରିଧାନ-ପ୍ରତିରୋଧୀ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ, ଯଦି ଜମା ତାପମାତ୍ରା ଉପଯୁକ୍ତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ୱିଣ୍ଡୋ ମଧ୍ୟରେ ରହିଥାଏ।
୬. ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣକୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କଠିନତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବାରୁ କିପରି ରୋକାଯିବ
ସବଷ୍ଟ୍ରେଟର ମୂଳ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣ ବଜାୟ ରଖିବା ପାଇଁ, ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ ଅନୁସାରେ ଉନ୍ନତ କରାଯିବା ଉଚିତ।
ପ୍ରଥମେ, ଆବରଣ ପୂର୍ବରୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ତାପ-ଚିକିତ୍ସା ଅବସ୍ଥା ନିଶ୍ଚିତ କରାଯିବା ଉଚିତ। ବିଭିନ୍ନ ଗ୍ରେଡ୍ ର ଉପକରଣ ଷ୍ଟିଲ୍, ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍, କାର୍ବାଇଡ୍, ଆଲୁମିନିୟମ୍ ମିଶ୍ରଧାତୁ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ଭିନ୍ନ ଭିନ୍ନ ତାପ ସୀମା ଅଛି।
ଦ୍ୱିତୀୟତଃ, ଆବରଣ ତାପମାତ୍ରା ଏକ ଉପଯୁକ୍ତ ପରିସର ମଧ୍ୟରେ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ହେବା ଉଚିତ। ତାପ-ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ, ଏକ ନିମ୍ନ-ତାପମାନ PVD କିମ୍ବା ଅନ୍ୟ ଉପଯୁକ୍ତ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚୟନ କରାଯାଇପାରେ।
ତୃତୀୟତଃ, ଅତ୍ୟଧିକ ତାପଜ କିମ୍ବା ଆୟନ ବୋମା ପ୍ରଭାବ ବିନା ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଆବରଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ବାଇଆସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍, ଆୟନ୍ ଶକ୍ତି, ପ୍ଲାଜ୍ମା ଘନତା, ଜମା ହାର, କାର୍ଯ୍ୟ ଚାପ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟ ଭଳି ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ଅନୁକୂଳିତ କରାଯିବା ଉଚିତ।
ଶେଷରେ, ପ୍ରୟୋଗ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି ଉପଯୁକ୍ତ ପରୀକ୍ଷଣ ମାଧ୍ୟମରେ ଆବୃତ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକର ମୂଲ୍ୟାଙ୍କନ କରାଯିବା ଉଚିତ, ଯେଉଁଥିରେ ମାଇକ୍ରୋହାର୍ଡନେସ୍ ପରୀକ୍ଷଣ, ଆବରଣ ଆଡ଼େସନ ପରୀକ୍ଷଣ, ପରିଧାନ ପରୀକ୍ଷଣ, ପୃଷ୍ଠ ରୁକ୍ଷତା ମାପ ଏବଂ ଧାତୁଗ୍ରାଫିକ୍ ବିଶ୍ଳେଷଣ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
୭. ନିଷ୍କର୍ଷ
ତେବେ, କ’ଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀର କଠୋରତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ?
ସାଧାରଣତଃ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ମୁଖ୍ୟତଃ ଏକ ପୃଷ୍ଠ ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ଏହା ଏକ ସାମଗ୍ରୀର ବଲ୍କ କଠୋରତାକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବା ପରିବର୍ତ୍ତେ ଏହାର ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। କଠିନ PVD ଆବରଣ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟର ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ବଜାୟ ରଖି ପୃଷ୍ଠ କଠୋରତା, ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, ଘର୍ଷଣ ଆଚରଣ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ସେବା ଜୀବନକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ।
ତଥାପି, ଯଦି ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅତ୍ୟଧିକ ତାପଜ ଏକ୍ସପୋଜର କିମ୍ବା ଅନୁପଯୁକ୍ତ ଆୟନ ବୋମା ପକାଇଥାଏ, ବିଶେଷକରି ତାପ-ଚିକିତ୍ସା କରାଯାଇଥିବା ଷ୍ଟିଲ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ତାପମାତ୍ରା-ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ, ତେବେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟର ମୂଳ କଠୋରତା ସମ୍ଭାବ୍ୟ ଭାବରେ ପ୍ରଭାବିତ ହୋଇପାରେ।
ତେଣୁ, ଉପଯୁକ୍ତ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଜମା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା, ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା, ଆୟନ୍ ବୋମା ମାଡ଼ ଅବସ୍ଥା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟର ଚୟନ କରିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜରୁରୀ।
ସଠିକ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ୱିଣ୍ଡୋ ଏବଂ ଉପକରଣ ବିନ୍ୟାସ ସହିତ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉଚ୍ଚ ପୃଷ୍ଠ କଠୋରତା, ଦୃଢ଼ ଆବରଣ ଆବଦ୍ଧତା, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ ସ୍ଥିର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକର ଇଚ୍ଛିତ ମିଶ୍ରଣ ହାସଲ କରିପାରିବ, ଯାହା ଚାହିଦାପୂର୍ଣ୍ଣ ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଏକ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ପୃଷ୍ଠ-ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରେ।
-ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା ଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତାଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ସେପ୍ଟେମ୍ବର-୨୨-୨୦୨୬