Iyadoo wax soo saarka caalamiga ah uu dardar gelinayo u dhaqaaqitaankiisa ku aaddan wax soo saarka kaarboon-yar, deegaanka u fiican, iyo hufnaanta sare leh, Tiknoolajiyadda Dahaarka Faakuumka ayaa soo baxday xal muhiim ah oo loogu talagalay dhammaystirka dusha sare ee cagaaran. Iyada oo lagu garto isticmaalka sare ee agabka, daadinta biyaha wasakhda ah oo aan lahayn, iyo isticmaalka tamarta oo hooseeya, dahaarka faakuumka wuxuu u muuqdaa beddel waara oo loogu talagalay hababka qoyan ee dhaqameed sida rinjiyeynta iyo koronto-samaynta. Ma aha oo kaliya inay buuxiso shuruudaha shaqada iyo qurxinta labadaba laakiin sidoo kale waxay bixisaa faa'iidooyin deegaan oo muhiim ah.
Lambarka 1aad Habka Nadiifinta Gudaha
Dahaarka faakuumkaWaxaa loola jeedaa hababka Dhigista Uumiga Jirka (PVD) ama Dhigista Uumiga Kiimikada (CVD), halkaas oo walxaha birta ama kuwa shaqeynaya lagu shubo substrate qaab atom ama molecules ah xaaladaha faakiyuumka sare, taasoo sameysanaysa lakab khafiif ah. Hawshu waa mid dabiici ah oo nadiif ah sababtoo ah maqnaanshaha kiimikooyinka dareeraha ah, elektaroolityada, iyo tallaabooyinka daaweynta kulaylka. Astaamaha muhiimka ah ee deegaanka waxaa ka mid ah:
Ma jiro dheecaan biyaha wasakhda ah: Si ka duwan rinjiyeynta elektaroonigga ah ama buufinta, dahaarka faakuumka kuma lug laha qubeyska aashitada/alkaline, elektrolytyada, ama biyo raacinta, sidaas darteedna ka fogaanshaha daadinta biraha culus, COD, iyo surfactants.
Ma jiraan wax qiiqa VOC ah: Maadaama walxaha dahaarka lagu wareejiyo uumi-baxa kulaylka, buufinta, ama bamgareynta ion iyada oo aan lahayn dareereyaal dabiici ah, ma jiraan wax isku-dhafan oo dabiici ah oo isbeddela (VOCs) oo la sii daayo, taasoo meesha ka saaraysa isha ugu weyn ee wasakhowga hawada ee khadadka dahaarka dhaqameed.
Qashinka adag ee ugu yar: Hadhaaga adag ee kaliya ee la soo saaro waa xaddi yar oo walxo bartilmaameed ah oo dib loo soo celin karo iyo boodhka nadiifinta qalalan, iyada oo aan la dhalin wax wasakh ah ama qashin badan oo lagu buufiyo.
No.2 Isticmaalka Agabka Sare, Qashinka Kheyraadka Yar
Farsamooyinka caadiga ah ee PVD sida Magneton Sputtering iyo Heerkulka Uumi-baxa, agabka waxaa lagu shubaa qaab gaas ah, taasoo gaarta waxtarka dhigista oo ah 30% ilaa 70% - taasoo si weyn uga sarreysa heerka 10% ilaa 30% ee caadiga ah ee dahaarka buufinta. Hagaajinta dheeraadka ah ee joomatari bartilmaameedka ah, cufnaanta awoodda, iyo wadada dhigista waxay kor u qaadi kartaa hufnaanta agabka waxayna yareyn kartaa khasaaraha alaabta ceeriin ah.
Alaabada qaaliga ah iyo kuwa naadirka ah (tusaale ahaan, Au, Pt, ITO, Cr), dahaarka faakuumka wuxuu u oggolaanayaa dhigista saxda ah iyo dib-u-warshadaynta walxaha wax ku oolka ah, taasoo bixinaysa qiimo dhaqaale iyo deegaan labadaba warshadaha elektaroonigga ah, indhaha, iyo semiconductor-ka.
Lambarka 3aad Beddelka Waara ee Elektroplating iyo Rinjiga
Dahaarka faakuumka hadda wuxuu suurtogal ka dhigayaa noocyo badan oo kala duwan oo ah dhammaystirka qurxinta, oo ay ku jiraan saamaynta birta, dhoobada u eg, dhalaalaya, ama matte. Waxay noqotay beddel macquul ah oo loogu talagalay daawaynta dusha sare ee deegaanka ee khatarta ku ah deegaanka oo ay ku jiraan chromium, nickel hexavalent, iyo walxo kale oo sun ah. Iyada oo lagu dabaqi karo walxaha balaastikada, dhoobada, iyo birta, waxay taageertaa dahaarka qurxinta ee badbaadada leh iyo kuwa cagaaran.
Tusaale ahaan, beddelka chrome-ka PVD ayaa durbaba ah isbeddel warshadeed oo ka jira Yurub, Mareykanka, iyo Japan. Dhanka kale, dahaarka faakuumka ee sare u iftiimiya oo meesha ka saaraya baahida rinjiyeynta buufinta ayaa laga qaatay nalalka baabuurta iyo qaybaha gudaha - iyadoo la ogaaday in laga beddelay "aan wasakh ahayn" una beddelay "beddelka wasakhowga."
Lambarka 4aad wuxuu la jaan qaadayaa wax soo saarka Kaarboon-yar iyo yaraynta raadadka Kaarboon-yar
Iyadoo la kordhinayo xoogga saarista dhexdhexaadnimada kaarboonka iyo qiiqa wareegga nolosha, qalabka dahaarka faakuumka ayaa loo qaabeeyey hufnaanta tamarta - oo leh kuleylin la xakameeyey, bamgareyn faakuum ah oo ku yaal aagga, iyo nidaamyada soo kabashada tamarta. Horumarka socda ee isticmaalka tamarta balaasmaha iyo hagaajinta sahayda korontada ayaa sii taageeraya yaraynta raadadka kaarboonka.
Intaa waxaa dheer, filimaan gaar ah oo faakiyuum ah ayaa si toos ah uga qayb qaata keydinta tamarta ee hoose. Codsiyada sida muraayadda Low-E, muraayadaha indhaha, iyo dahaarka kuleyliyaha infrared-ka ayaa gacan ka geysta hagaajinta hufnaanta tamarta ee silsiladda qiimaha, iyagoo xoojinaya doorkooda wax soo saarka waara.
Dahaarka faakuumka waa wax ka badan xal injineernimo dusha sare ah oo waxqabad sare leh—waa tignoolajiyad asaasi ah mustaqbalka wax soo saarka cagaaran. Sifooyinkeeda ah qiiqa eber, hufnaan sare, iyo awoodda beddelka habka ayaa siinaya faa'iido deegaan oo muddo dheer ah xilli ay adag tahay xeerarka deegaanka.
—Maqaalkan waxaa daabacayqalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Luulyo-23-2025