Дэлхийн үйлдвэрлэл нүүрстөрөгч бага ялгаруулах, байгаль орчинд ээлтэй, өндөр үр ашигтай үйлдвэрлэл рүү шилжих шилжилтээ хурдасгаж байгаа тул вакуум бүрхүүлийн технологи нь ногоон гадаргуугийн өнгөлгөөний гол шийдэл болж гарч ирсэн. Материалын өндөр ашиглалт, бохир усны урсгал тэг, эрчим хүчний бага зарцуулалтаараа онцлогтой вакуум бүрхүүл нь будах, электролиз хийх зэрэг уламжлалт нойтон процессын тогтвортой хувилбар болж байна. Энэ нь зөвхөн үйл ажиллагааны болон гоёл чимэглэлийн шаардлагыг хангаад зогсохгүй байгаль орчинд ихээхэн ашиг тустай.
№1 Дотоод цэвэршүүлэх үйл явц
Вакуум бүрхүүлгэдэг нь өндөр вакуум нөхцөлд металл эсвэл функциональ материалыг атом эсвэл молекул хэлбэрээр суурь дээр хуримтлуулж, нимгэн хальсан давхарга үүсгэдэг Физик уурын тунадасжилт (PVD) эсвэл Химийн уурын тунадасжилт (CVD) процессыг хэлнэ. Шингэн химийн бодис, электролит, дулааны хатууралтын үе шат байхгүй тул энэ процесс нь цэвэрхэн байдаг. Байгаль орчны гол шинж чанаруудад дараахь зүйлс орно.
Бохир ус зайлуулахгүй: Цахилгаан бүрэх эсвэл шүршигч будгаар будахаас ялгаатай нь вакуум бүрэх нь хүчил/шүлтлэг ванн, электролит эсвэл усаар зайлахыг шаарддаггүй тул хүнд металл, COD болон гадаргуугийн идэвхт бодисыг зайлуулахаас зайлсхийдэг.
VOC ялгаруулалт байхгүй: Бүрхүүлийн материалыг органик уусгагчгүйгээр дулааны ууршилт, цацалт эсвэл ионы бөмбөгдөлтөөр дамжуулдаг тул дэгдэмхий органик нэгдлүүд (VOC) ялгардаггүй бөгөөд энэ нь уламжлалт бүрэх шугамын агаарын бохирдлын гол эх үүсвэрийг арилгадаг.
Хатуу хог хаягдал хамгийн бага: Үүссэн цорын ганц хатуу үлдэгдэл нь бага хэмжээний дахин боловсруулах боломжтой материал болон хуурай цэвэрлэгээний тоос бөгөөд лаг эсвэл хэт шүршигч хаягдал үүсэхгүй.
№2 Материалын хэрэглээ өндөр, нөөцийн хаягдал бага
Магнетрон цацалт болон дулааны ууршилт зэрэг PVD-ийн түгээмэл хэрэглэгддэг аргуудад материалыг хийн хэлбэрээр тунадасжуулж, тунадасжилтын үр ашгийг 30%-70% хүртэл хүргэдэг бөгөөд энэ нь шүршигч бүрхүүлийн ердийн 10%-30%-ийн хязгаараас хамаагүй өндөр юм. Бай геометр, чадлын нягтрал болон тунадасжилтын замыг цаашид оновчтой болгох нь материалын үр ашгийг дээшлүүлж, түүхий эдийн алдагдлыг бууруулж чадна.
Үнэт болон ховор материалын (жишээ нь, Au, Pt, ITO, Cr) хувьд вакуум бүрхүүл нь нарийн тунадасжуулалт, материалыг үр дүнтэй дахин боловсруулах боломжийг олгодог бөгөөд электроник, оптик болон хагас дамжуулагчийн салбарт эдийн засгийн болон байгаль орчны үнэ цэнийг хоёуланг нь санал болгодог.
Цахилгаанаар бүрэх болон будах №3 тогтвортой хувилбар
Вакуум бүрхүүл нь одоо металл, керамик, гялгар эсвэл царцсан эффект зэрэг олон төрлийн гоёл чимэглэлийн өнгөлгөөг хийх боломжийг олгодог. Энэ нь зургаан валенттай хром, никель болон бусад хортой бодис агуулсан байгаль орчинд аюултай гадаргуугийн боловсруулалтыг орлох боломжтой болсон. Хуванцар, керамик болон металл суурь дээр хэрэглэхэд аюулгүй, байгаль орчинд ээлтэй гоёл чимэглэлийн бүрхүүлийг дэмждэг.
Жишээлбэл, PVD хром орлуулах нь Европ, АНУ, Японд аль хэдийн салбарын чиг хандлага болсон. Үүний зэрэгцээ, шүршигч будах шаардлагагүй болгодог өндөр тусгалтай вакуум бүрхүүлийг автомашины гэрэлтүүлэг болон дотор эд ангиудад нэвтрүүлж, "бохирдолгүй"-ээс "бохирдлыг орлуулах" руу шилжсэн.
№4 нь нүүрстөрөгч бага ялгаруулах үйлдвэрлэл болон нүүрстөрөгчийн ул мөрийг бууруулахтай нийцдэг
Нүүрстөрөгчийн саармагжилт болон амьдралын мөчлөгийн ялгаралтад улам бүр анхаарал хандуулж байгаатай холбогдуулан вакуум бүрэх төхөөрөмжийг эрчим хүчний үр ашгийг дээшлүүлэх зорилгоор зохион бүтээж байгаа бөгөөд үүнд хяналттай халаалт, бүсчилсэн вакуум шахах, эрчим хүч сэргээх системүүд багтаж байна. Плазмын эрчим хүчний ашиглалт болон цахилгаан хангамжийн оновчлолын чиглэлээр тасралтгүй дэвшил гарч байгаа нь нүүрстөрөгчийн ул мөрийг бууруулахад цаашид дэмжлэг үзүүлж байна.
Түүнчлэн, вакуумд хадгалсан зарим хальс нь эрчим хүчний хэмнэлтэд шууд хувь нэмэр оруулдаг. Бага цахилгаан шил, оптик ойлгогч, хэт улаан туяаны дулаан тусгаарлагч бүрхүүл зэрэг хэрэглээ нь үнэ цэнийн сүлжээнд эрчим хүчний үр ашгийг дээшлүүлж, тогтвортой үйлдвэрлэлд гүйцэтгэх үүргийг нь бэхжүүлдэг.
Вакуум бүрхүүл нь зөвхөн өндөр хүчин чадалтай гадаргуугийн инженерчлэлийн шийдэл биш бөгөөд энэ нь ногоон үйлдвэрлэлийн ирээдүйн тулгын чулуун технологи юм. Тэг ялгаруулалт, өндөр үр ашиг, процессыг орлуулах чадвар зэрэг шинж чанарууд нь байгаль орчны зохицуулалтыг чангатгаж буй эрин үед урт хугацааны экологийн давуу талыг өгдөг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмжүйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 7-р сарын 23