Электронно-лучевое вакуумное покрытие или электронно-лучевое физическое осаждение из паровой фазы (EBPVD) — это процесс, используемый для нанесения тонких пленок или покрытий на различные поверхности. Он включает в себя использование электронного луча для нагрева и испарения материала покрытия (например, металла или керамики) в камере высокого вакуума. Затем испаренный материал конденсируется на целевой подложке, образуя тонкое, однородное покрытие.
Ключевые компоненты:
- Источник электронного луча: сфокусированный электронный луч нагревает материал покрытия.
- Материал покрытия: Обычно металлы или керамика, помещенные в тигель или поддон.
- Вакуумная камера: поддерживает среду с низким давлением, что имеет решающее значение для предотвращения загрязнения и позволяет испаряемому материалу перемещаться по прямым линиям.
- Подложка: покрываемый объект, расположенный таким образом, чтобы собирать испаряющийся материал.
Преимущества:
- Покрытия высокой чистоты: Вакуумная среда сводит к минимуму загрязнение.
- Точный контроль: толщина и однородность покрытия можно точно контролировать.
- Широкая совместимость с материалами: подходит для металлов, оксидов и других материалов.
- Сильная адгезия: процесс обеспечивает отличное сцепление между покрытием и подложкой.
Приложения:
- Оптика: Антибликовые и защитные покрытия на линзах и зеркалах.
- Полупроводники: тонкие металлические слои для электроники.
- Аэрокосмическая промышленность: защитные покрытия для лопаток турбин.
- Медицинские изделия: биосовместимые покрытия для имплантатов.
–Эта статья опубликована by производитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуa
Время публикации: 25-сен-2024

